本发明专利技术涉及一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，包括敲击杆，敲击杆的一端装配有用于引弧的触发碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆通过轴承座转动安装在敲击安装座上，敲击安装座上设置有用于调节转动杆进行转动的转动调节组件。本发明专利技术提供的方案，可有效解决敲击杆在敲击过程中松动、敲击不到位和粘靶的问题，且触发碳头不易脱落，避免触发碳头过快损耗，降低故障率，有效保证镀膜的稳定进行。
【技术实现步骤摘要】
一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置
本专利技术涉及溅射镀膜设备领域，具体涉及一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置。
技术介绍
纯离子镀膜技术（PureIonCoating–PIC）作为新的一种制备Ta-C涂层的技术，目前已广泛应用于军工、航空航天、机加工、汽车、3C消费电子、半导体等领域。通过PIC技术制备的涂层具有极高的硬度、耐磨和耐腐蚀性能。PIC设备作为新型镀膜设备，在设计上仍有较多需要优化的地方，如敲击杆装置，现有的敲击杆装置在使用过程中往往会出现敲击杆松动、触发碳头脱落、触发碳头过快损耗、动力传动不顺、敲击不到位等问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其至少可以克服上述一种缺陷。一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：包括敲击杆，敲击杆的一端装配有用于引弧的触发碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆通过轴承座转动安装在敲击安装座上，敲击安装座上设置有用于调节转动杆进行转动的转动调节组件。进一步的方案为：敲击杆远离转动杆的端部设置有装配孔，装配孔的孔深方向与敲击杆的杆长方向、转动杆的杆长方向均呈垂直状布置，触发碳头插设状装配在装配孔内，触发碳头的局部延伸至装配孔一端的外部用于敲击碳靶，装配孔的另一端设置有用于抵靠触发碳头的抵靠部。敲击杆远离转动杆的端部装配有碳头安装块，碳头安装块上设置有所述的装配孔，装配孔为通孔，所述的抵靠部为碳头安装块上设置的碳头抵靠块的构成，碳头抵靠块的外表面和触发碳头相贴合抵靠。碳头安装块沿敲击杆的杆长方向活动可调节式装配在敲击杆上，碳头抵靠块和碳头安装块可拆卸式装配。进一步的方案为：转动杆的旁侧设置有用于检测转动杆转动状态的检测组件，检测组件将检测的信号输送到调控组件进行分析处理，调控组件依据分析处理的结果调控转动调节组件的运行状态。转动杆上设置有标记处，检测组件检测标记处的位置信号。转动杆的杆中部安装在轴承座上，转动杆的另一端设置有传感片，标记处为传感片周边设置的缺口构成。检测组件由传感片外周设置的A、B传感器组成，A、B传感器装配在敲击安装座上设置的传感器支架上。转动调节组件包括转动杆上设置的A齿轮和敲击安装座上设置的旋转气缸，旋转气缸的动力输出转轴上设置有B齿轮，A、B齿轮传动啮合连接，调控组件调控旋转气缸的运行状态。控制组件包括PC端、正转速度控制器和反转速度控制器，PC端接收A、B传感器检测的信号进行分析处理，正转速度控制器和反转速度控制器通过调控通气状态调整旋转气缸的动力输出转轴进行正、反转，PC端发送指令调控正、反转速度控制器的通气状态。转动杆的一端设置有A螺纹杆段，敲击杆通过螺纹防松结构装配在A螺纹杆段处。敲击杆的端部设置有螺纹安装孔，敲击杆通过螺纹安装孔装配在A螺纹杆段上，触发碳头敲击碳靶时，碳靶作用于触发碳头的反作用力使得螺纹安装孔具有拧紧的趋势。转动杆通过A、B轴承和A、B油封转动装配在轴承座上，A轴承、B轴承、A油封、B油封沿着转动杆的长度方向依次布置，A、B轴承之间的转动杆身上设置有A垫片，A、B油封之间的转动杆身上设置有B垫片，轴承座包括轴承座本体和轴承座本体端部设置的轴承座盖。A齿轮介于传感片和轴承座之间。本专利技术提供的上述方案，具有如下优点：1、解决了敲击杆在敲击过程中松动的问题；本专利技术通过反向螺纹杆段和敲击杆连接，敲击杆在敲击过程中，会越敲越紧，不会造成敲击松动的情况，保证引弧顺利进行。2、新结构触发碳头不易脱落；本专利技术使用碳头固定块来装配触发碳头，由于触发碳头后面有整体阻隔，不会造成受力不均情况而形成的脱落。3、避免触发碳头过快损耗。本专利技术通过正转速度控制器、反转速度控制器来调节敲击的力度，保持触发碳头与碳靶碰撞时力度适中，可以有效避免碳头过快损耗。4、通过齿轮组和旋转气缸结构传动，结构简单，故障率低。5、有效解决敲击不到位和粘靶问题。使用检测组件来检测敲击杆的敲击位和敲击回位，可以避免敲击过程中触发碳头和碳靶的长时间粘接造成的烧靶问题，保证镀膜的稳定进行。附图说明图1为本专利技术中敲击杆处于敲击回位时的结构示意图；图2为敲击杆处于敲击位时的结构示意图；图3为本专利技术中转动杆和轴承座的装配结构图；图4为敲击杆110的结构示意图。110-敲击杆、111-螺纹安装孔、120-碳头安装块、130-碳头抵靠块、140-触发碳头、200-转动杆、201-A螺纹杆段、202-B螺纹杆段、210-传感片、211-V形缺口、221-A传感器、222-B传感器、223-传感器支架、230-轴承座、231-轴承座本体、232-轴承座盖、233-A轴承、234-B轴承、235-A油封、236-B油封、237-A垫片、238-B垫片、241-A齿轮、242-B齿轮、243-正向速度控制器、244-反向速度控制器、245-旋转气缸、250-敲击安装座、260-PC端、270-碳靶。具体实施方式为了使本专利技术的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本专利技术进行具体明。应当理解，以下文字仅仅用以描述本专利技术的一种或几种具体的实施方式，并不对本专利技术具体请求的保护范围进行严格限定。如图1、2、3、4所示，一种用于PIC镀膜设备的敲击杆110装置，包括敲击杆110，敲击杆110的一端装配有用于引弧的触发碳头140，敲击杆110的另一端装配在转动杆200的一端，敲击杆110和转动杆200呈夹角状布置，具体可垂直布置，转动杆200通过轴承座230转动安装在敲击安装座250上，敲击安装座250上设置有用于调节转动杆200进行转动的转动调节组件。敲击杆110远离转动杆200的端部设置有装配孔，装配孔的孔深方向与敲击杆110的杆长方向、转动杆200的杆长方向均呈垂直状布置，触发碳头140插设状装配在装配孔内，触发碳头140的局部延伸至装配孔一端的外部用于敲击碳靶270，装配孔的另一端设置有用于抵靠触发碳头140的抵靠部。敲击杆110远离转动杆200的端部装配有碳头安装块，碳头安装块上设置有所述的装配孔，装配孔为通孔，所述的抵靠部为碳头安装块上设置的碳头抵靠块130的构成，碳头抵靠块130的外表面和触发碳头140相贴合抵靠。碳头安装块120沿敲击杆110的杆长方向活动可调节式装配在敲击杆110上，碳头抵靠块130和碳头安装块120可以通过螺栓可拆卸式装配。进一步的方案为：转动杆200的旁侧设置有用于检测转动杆200转动状态的检测组件，检测组件将检测的信号输送到调控组件进行分析处理，调控组件依据分析处理的结果调控转动调节组件的运行状态。转动杆200上设置有标记处，检测组件检测标记处的位置信号。转动杆200的杆中部安装在轴承座230上，转动杆200的另一端设置有传感片210，标记处为传感片210周边设置的缺口构成，缺口为V形缺口211。检测组件由传感片210外周设置的A、B传感器2本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：包括敲击杆，敲击杆的一端装配有用于引弧的触发碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆通过轴承座转动安装在敲击安装座上，敲击安装座上设置有用于调节转动杆进行转动的转动调节组件。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：包括敲击杆，敲击杆的一端装配有用于引弧的触发碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆通过轴承座转动安装在敲击安装座上，敲击安装座上设置有用于调节转动杆进行转动的转动调节组件。
2.根据权利要求1所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：敲击杆远离转动杆的端部设置有装配孔，装配孔的孔深方向与敲击杆的杆长方向、转动杆的杆长方向均呈垂直状布置，触发碳头插设状装配在装配孔内，触发碳头的局部延伸至装配孔一端的外部用于敲击碳靶，装配孔的另一端设置有用于抵靠触发碳头的抵靠部。
3.根据权利要求2所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：敲击杆远离转动杆的端部装配有碳头安装块，碳头安装块上设置有所述的装配孔，装配孔为通孔，所述的抵靠部为碳头安装块上设置的碳头抵靠块的构成，碳头抵靠块的外表面和触发碳头相贴合抵靠。
4.根据权利要求1所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：转动杆的旁侧设置有用于检测转动杆转动状态的检测组件，检测组件将检测的信号输送到调控组件进行分析处理，调控组件依据分析处理的结果调控转动调节组件的运行状态。
5.根据权利要求4所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：转动杆上设置有标记处，检测组件检测标记处的位置信号。
6.根据权利要求5所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：转动杆的杆中部安装在轴承座上，转动杆的另一端设置有传感片，标记处为传感片周边设置的缺口构成。
7.根据权利要求6所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：检测组件由传感片外周设置的A、B传感器组成，A、B传感器装配在敲击安装座上设置的传感器支架上。
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【专利技术属性】
技术研发人员：张心凤，夏正卫，刘洋，陈玉梅，范洪跃，
申请(专利权)人：安徽纯源镀膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34
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