一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，包括敲击杆，敲击杆的一端装配有用于引弧的触发碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆通过轴承座转动安装在敲击安装座上，敲击安装座上设置有用于调节转动杆进行转动的转动调节组件。本发明专利技术提供的方案，可有效解决敲击杆在敲击过程中松动、敲击不到位和粘靶的问题，且触发碳头不易脱落，避免触发碳头过快损耗，降低故障率，有效保证镀膜的稳定进行。

【技术实现步骤摘要】
一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置
本专利技术涉及溅射镀膜设备领域，具体涉及一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置。
技术介绍
纯离子镀膜技术（PureIonCoating–PIC）作为新的一种制备Ta-C涂层的技术，目前已广泛应用于军工、航空航天、机加工、汽车、3C消费电子、半导体等领域。通过PIC技术制备的涂层具有极高的硬度、耐磨和耐腐蚀性能。PIC设备作为新型镀膜设备，在设计上仍有较多需要优化的地方，如敲击杆装置，现有的敲击杆装置在使用过程中往往会出现敲击杆松动、触发碳头脱落、触发碳头过快损耗、动力传动不顺、敲击不到位等问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其至少可以克服上述一种缺陷。一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：包括敲击杆，敲击杆的一端装配有用于引弧的触发碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆通过轴承座转动安装在敲击安装座上，敲击安装座上设置有用于调节转动杆进行转动的转动调节组件。进一步的方案为：敲击杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：包括敲击杆，敲击杆的一端装配有用于引弧的触发碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆通过轴承座转动安装在敲击安装座上，敲击安装座上设置有用于调节转动杆进行转动的转动调节组件。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：包括敲击杆，敲击杆的一端装配有用于引弧的触发碳头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆通过轴承座转动安装在敲击安装座上，敲击安装座上设置有用于调节转动杆进行转动的转动调节组件。


2.根据权利要求1所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：敲击杆远离转动杆的端部设置有装配孔，装配孔的孔深方向与敲击杆的杆长方向、转动杆的杆长方向均呈垂直状布置，触发碳头插设状装配在装配孔内，触发碳头的局部延伸至装配孔一端的外部用于敲击碳靶，装配孔的另一端设置有用于抵靠触发碳头的抵靠部。


3.根据权利要求2所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：敲击杆远离转动杆的端部装配有碳头安装块，碳头安装块上设置有所述的装配孔，装配孔为通孔，所述的抵靠部为碳头安装块上设置的碳头抵靠块的构成，碳头抵靠块的外表面和触发碳头相贴合抵靠。


4.根据权利要求1所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：转动杆的旁侧设置有用于检测转动杆转动状态的检测组件，检测组件将检测的信号输送到调控组件进行分析处理，调控组件依据分析处理的结果调控转动调节组件的运行状态。


5.根据权利要求4所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：转动杆上设置有标记处，检测组件检测标记处的位置信号。


6.根据权利要求5所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：转动杆的杆中部安装在轴承座上，转动杆的另一端设置有传感片，标记处为传感片周边设置的缺口构成。


7.根据权利要求6所述的用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，其特征在于：检测组件由传感片外周设置的A、B传感器组成，A、B传感器装配在敲击安装座上设置的传感器支架上。

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【专利技术属性】
技术研发人员：张心凤，夏正卫，刘洋，陈玉梅，范洪跃，
申请(专利权)人：安徽纯源镀膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34