【技术实现步骤摘要】
具有温度均衡性检测功能的淬火炉
本技术涉及温度均衡性检测领域，具体是具有温度均衡性检测功能的淬火炉。
技术介绍
热处理装置在使用之前，需要做温度均衡性检测(简称TUS检测)。淬火炉是一种热处理装置，其主要用于半导体固溶的热处理工作。现有技术中，采用现有技术的手段对淬火炉进行温度均衡性检测时，由于测温部件的设置位置相对于淬火炉的内腔并不理想，使得现有技术的手段只能够获得其内腔的有限范围内的温度参数，而难以获得其内腔的全部范围内的温度参数。
技术实现思路
为解决现有技术中，采用现有技术的手段对淬火炉进行温度均衡性检测时，由于测温部件的设置位置相对于淬火炉的内腔并不理想，使得现有技术的手段只能够获得其内腔的有限范围内的温度参数，而难以获得其内腔的全部范围内的温度参数的技术问题，本技术提供具有温度均衡性检测功能的淬火炉。根据本技术的一个方面，提供具有温度均衡性检测功能的淬火炉，包括测温组件，所述测温组件设置在所述淬火炉的内腔中；以所述内腔的任一点为中心，在经过所述中心的其中一条直线上，设置至少一个趋向...
【技术保护点】
1.具有温度均衡性检测功能的淬火炉，其特征在于，包括测温组件，所述测温组件设置在所述淬火炉的内腔中；/n以所述内腔的任一点为中心，在经过所述中心的其中一条直线上，设置至少一个趋向所述淬火炉的内壁的所述测温组件；/n多个所述测温组件相对于所述中心呈包围状。/n
【技术特征摘要】
1.具有温度均衡性检测功能的淬火炉，其特征在于，包括测温组件，所述测温组件设置在所述淬火炉的内腔中；
以所述内腔的任一点为中心，在经过所述中心的其中一条直线上，设置至少一个趋向所述淬火炉的内壁的所述测温组件；
多个所述测温组件相对于所述中心呈包围状。
2.根据权利要求1所述的淬火炉，其特征在于，所述内腔的任一点包括所述内腔的中心点。
3.根据权利要求2所述的淬火炉，其特征在于，在经过所述中心的其中一条对角线上，设置相对于所述中心呈发散状的至少1个所述测温组件。
4.根据权利要求2所述的淬火炉，其特征在于，在经过所述中心的其中一个平面上，设置相对于所述中心呈发散状的至少1个所述测温组件。
5.根据权利要求2所述的淬火炉，其特征在于，在所述内腔中，2个相互平行的平面分别与经过所述中心的其中一条直线垂直，2个所述平面的垂足分别与所述中心的间距相同；
在2个所述平面上，分别设置数量相等的所述测温组件；
在2个所述平面的任一个平面上，其中一个所述测温组件设置在所述垂足上，其余所述测温组件分别与所述垂足的间距相同；
或者，在2个所述平面的任一个平面上，所有的所述测温组件分别与所述垂足的间距相...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵叶斌，陆剑锋，
申请(专利权)人：无锡元基精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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