透紫外玻璃制造技术

本发明专利技术提供一种透紫外玻璃，其组分以重量百分比表示，含有：SiO2：55～70％；B2O3：2～18％；ZnO：1～20％；La2O3+Y2O3+Gd2O3：4～30％；Ta2O5+Nb2O5+TiO2+ZrO2：0.5～20％；Li2O+Na2O+K2O：3～15％，其中(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/B2O3为0.3～6.0。通过合理的组分设计，本发明专利技术获得的玻璃具有较高的紫外透过率和优异的化学稳定性。具有较高的紫外透过率和优异的化学稳定性。

【技术实现步骤摘要】
透紫外玻璃


[0001]本专利技术涉及一种透紫外玻璃，尤其是涉及一种化学稳定性优异的透紫外玻璃。

技术介绍

[0002]近年来，320～400nm波段的紫外光在防伪验钞、食品包装、金属探测、血液分析、紫外封装、紫外光刻和紫外曝光系统等领域广泛应用。随着半导体制造领域的快速发展，紫外封装、紫外光刻以及紫外曝光系统对精度的要求越来越高。以紫外光刻机物镜系统为例，需要数枚甚至十数枚不同折射率与阿贝数的大口径镜片进行组合，以实现高精度的效果。因此，光电信息领域对紫外透过率较高的玻璃的需求增长迅速。
[0003]玻璃在生产和使用过程中会受到环境中各种液体(如酸、碱、水等)的侵蚀，因此玻璃对这些侵蚀的抵抗能力，即玻璃的化学稳定性对于仪器的使用精度和寿命至关重要。CN106977096A公开了一种紫外波段透过率较高的玻璃，但其含有质量百分比为60～70％的磷酸和13～15％的硼酸，玻璃的化学稳定性较差。

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的技术问题是提供一种化学稳定性优异的透紫外玻璃。
[0005]本专利技术解决技术问题所采用的技术方案是：
[0006](1)透紫外玻璃，其组分以重量百分比表示，含有：SiO2：55～70％；B2O3：2～18％；ZnO：1～20％；La2O3+Y2O3+Gd2O3：4～30％；Ta2O5+Nb2O5+TiO2+ZrO2：0.5～20％；Li2O+Na2O+K2O：3～15％，其中(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/B2O3为0.3～6.0。/>[0007](2)根据(1)所述的透紫外玻璃，其组分以重量百分比表示，还含有：BaO+SrO+CaO+MgO：0～15％；和/或Al2O3：0～5％；和/或F：0～3％；和/或澄清剂：0～1％，所述澄清剂为Sb2O3、SnO、SnO2、CeO2、Cl、Br中的一种或多种。
[0008](3)透紫外玻璃，含有SiO2、B2O3、ZnO和碱金属氧化物作为必要组分，其组分按重量百分比表示，含有4～30％的La2O3+Y2O3+Gd2O3，其中(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/B2O3为0.3～6.0，所述透紫外玻璃的折射率n
d
为1.51～1.58，阿贝数v
d
为55～65，τ
365nm
为99.0％以上。
[0009](4)根据(3)所述的透紫外玻璃，其组分按重量百分比表示，含有：SiO2：55～70％；和/或B2O3：2～18％；和/或ZnO：1～20％；和/或Ta2O5+Nb2O5+TiO2+ZrO2：0.5～20％；和/或Li2O+Na2O+K2O：3～15％；和/或BaO+SrO+CaO+MgO：0～15％；和/或Al2O3：0～5％；和/或F：0～3％；和/或澄清剂：0～1％，所述澄清剂为Sb2O3、SnO、SnO2、CeO2、Cl、Br中的一种或多种。
[0010](5)根据(1)～(4)任一所述的透紫外玻璃，其组分以重量百分比表示，满足以下6种情形中的一种以上：
[0011]1)(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/(Ta2O5+Nb2O5+TiO2+ZrO2)为1.0～13.0，优选(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/(Ta2O5+Nb2O5+TiO2+ZrO2)为2.0～10.0，更优选(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/(Ta2O5+Nb2O5+TiO2+ZrO2)为3.0～7.0；
[0012]2)La2O3/Nb2O5为3.5～15.0，优选La2O3/Nb2O5为5.0～14.0，更优选La2O3/Nb2O5为
7.0～13.5；
[0013]3)(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/SiO2为0.07～0.35，优选(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/SiO2为0.08～0.3，更优选(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/SiO2为0.1～0.25；
[0014]4)(B2O3+Al2O3)/SiO2为0.05～0.4，优选(B2O3+Al2O3)/SiO2为0.08～0.35，更优选(B2O3+Al2O3)/SiO2为0.1～0.3；
[0015]5)(BaO+SrO+CaO+MgO)/SiO2为0.01～0.25，优选(BaO+SrO+CaO+MgO)/SiO2为0.02～0.2，更优选(BaO+SrO+CaO+MgO)/SiO2为0.02～0.1；
[0016]6)(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/B2O3为0.4～5.0，优选(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/B2O3为0.5～3.0。
[0017](6)根据(1)～(4)任一所述的透紫外玻璃，其组分以重量百分比表示，含有：SiO2：56～68％，优选SiO2：57～67％；和/或B2O3：4～16％，优选B2O3：5～15％；和/或ZnO：2～16％，优选ZnO：3～12％；和/或La2O3+Y2O3+Gd2O3：5～20％，优选La2O3+Y2O3+Gd2O3：7～15％；和/或Ta2O5+Nb2O5+TiO2+ZrO2：1～15％，优选Ta2O5+Nb2O5+TiO2+ZrO2：2～10％；和/或Li2O+Na2O+K2O：5～14％，优选Li2O+Na2O+K2O：6～13％；和/或BaO+SrO+CaO+MgO：1～15％，优选BaO+SrO+CaO+MgO：1.5～10％，更优选BaO+SrO+CaO+MgO：1.5～8％；和/或Al2O3：0～4％，优选Al2O3：0～3％；和/或F：0～2％，优选F：0～1％；和/或澄清剂：0～0.8％，优选澄清剂：0～0.5％，所述澄清剂为Sb2O3、SnO、SnO2、CeO2、Cl、Br中的一种或多种。
[0018](7)根据(1)～(4)任一所述的透紫外玻璃，其组分以重量百分比表示，含有：La2O3：4～25％，优选La2O3：6～20％，更优选La2O3：7～14％；和/或Gd2O3：0～8％，优选Gd2O3：0～7％，更优选Gd2O3：0～5％；和/或Y2O3：0～10％，优选Y2O3：0～8％，更优选Y2O3：0～5％；和/或Na2O：2～15％，优选Na2O：4～14％，更优选Na2O：5～13％；和/或K2O：0～8％，优选K2O：1～6％，更优选K2O：2～5％；和/或Li2O：0～5％，优选Li2O：0～4％，更优选Li2O：0～3％。
[0019](8)根据(1)～(4)任一所述的透紫外玻璃的折射率n
d
为1.51～1.58，优选为1.52～1.57，更优选为1.53～1.56，和/或阿贝数v
d
为55～65，优选为56～63，更优选为57～60。
[0020](9)根据(1)～(4)任一所述的透紫外玻璃的τ
365nm
为99.0％以上，优选为99.2％以上，更优选为99.4％以上，进一步优选为99.5％以上，和/或Δτ
365nm
为5.0％本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.透紫外玻璃，其特征在于，其组分以重量百分比表示，含有：SiO2：55～70％；B2O3：2～18％；ZnO：1～20％；La2O3+Y2O3+Gd2O3：4～30％；Ta2O5+Nb2O5+TiO2+ZrO2：0.5～20％；Li2O+Na2O+K2O：3～15％，其中(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/B2O3为0.3～6.0。2.根据权利要求1所述的透紫外玻璃，其特征在于，其组分以重量百分比表示，还含有：BaO+SrO+CaO+MgO：0～15％；和/或Al2O3：0～5％；和/或F：0～3％；和/或澄清剂：0～1％，所述澄清剂为Sb2O3、SnO、SnO2、CeO2、Cl、Br中的一种或多种。3.透紫外玻璃，其特征在于，含有SiO2、B2O3、ZnO和碱金属氧化物作为必要组分，其组分按重量百分比表示，含有4～30％的La2O3+Y2O3+Gd2O3，其中(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/B2O3为0.3～6.0，所述透紫外玻璃的折射率n
d
为1.51～1.58，阿贝数v
d
为55～65，τ
365nm
为99.0％以上。4.根据权利要求3所述的透紫外玻璃，其特征在于，其组分按重量百分比表示，含有：SiO2：55～70％；和/或B2O3：2～18％；和/或ZnO：1～20％；和/或Ta2O5+Nb2O5+TiO2+ZrO2：0.5～20％；和/或Li2O+Na2O+K2O：3～15％；和/或BaO+SrO+CaO+MgO：0～15％；和/或Al2O3：0～5％；和/或F：0～3％；和/或澄清剂：0～1％，所述澄清剂为Sb2O3、SnO、SnO2、CeO2、Cl、Br中的一种或多种。5.根据权利要求1～4任一权利要求所述的透紫外玻璃，其特征在于，其组分以重量百分比表示，满足以下6种情形中的一种以上：1)(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/(Ta2O5+Nb2O5+TiO2+ZrO2)为1.0～13.0，优选(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/(Ta2O5+Nb2O5+TiO2+ZrO2)为2.0～10.0，更优选(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/(Ta2O5+Nb2O5+TiO2+ZrO2)为3.0～7.0；2)La2O3/Nb2O5为3.5～15.0，优选La2O3/Nb2O5为5.0～14.0，更优选La2O3/Nb2O5为7.0～13.5；3)(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/SiO2为0.07～0.35，优选(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/SiO2为0.08～0.3，更优选(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/SiO2为0.1～0.25；4)(B2O3+Al2O3)/SiO2为0.05～0.4，优选(B2O3+Al2O3)/SiO2为0.08～0.35，更优选(B2O3+Al2O3)/SiO2为0.1～0.3；5)(BaO+SrO+CaO+MgO)/SiO2为0.01～0.25，优选(BaO+SrO+CaO+MgO)/SiO2为0.02～0.2，更优选(BaO+SrO+CaO+MgO)/SiO2为0.02～0.1；6)(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/B2O3为0.4～5.0，优选(La2O3+Y2O3+Gd2O3)/B2O3为0.5～3.0。6.根据权利要求1～4任一权利要求所述的透紫外玻璃，其特征在于，其组分以重量百分比表示，含有：SiO2：56～68％，优选SiO2：57～67％；和/或B2O3：4～16％，优选B2O3：5～15％；和/或ZnO：2～16％，优选ZnO：3～12％；和/或La2O3+Y2O3+Gd2O3：5～...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛露路，郝良振，马赫，匡波，
申请(专利权)人：成都光明光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：