一种半导体材料研磨抛光设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体材料研磨抛光设备，包括两个底座，两个所述底座上均设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有支撑架，所述底座上设有用于震动支撑架的震动机构，所述支撑架上通过转轴转动连接有转桶，所述支撑架右侧壁设有第一电机，所述第一电机的输出轴贯穿支撑架并与转轴固定连接，所述转桶内转动连接有两根安装杆，两根所述安装杆上均设有多根打磨杆，多根所述打磨杆上均设有条形腔，所述条形腔内设有用于连接打磨杆与安装杆的卡接机构，所述抛转桶内固定连接有倾斜设置的分隔板，所述分隔板左右两侧均固定连接有与抛转桶内壁固定连接的滤网。本实用新型专利技术结构合理，其可以自动分离抛光后的半导体材料，方便更换用来研磨抛光的材料。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料研磨抛光设备
本技术涉及半导体材料
，尤其涉及一种半导体材料研磨抛光设备。
技术介绍
半导体材料是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间，电阻率约在1mΩ·cm～1GΩ·cm范围内)、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。现有的半导体材料研磨抛光设备在对半导体材料研磨抛光后，需要手动将半导体材料从研磨抛光的物料里分离出来，操作复杂，浪费人力资源，同时用来研磨抛光的材料磨损后更换困难。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体材料研磨抛光设备，其可以自动分离抛光后的半导体材料，方便更换用来研磨抛光的材料。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种半导体材料研磨抛光设备，包括两个底座，两个所述底座上均设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有支撑架，所述底座上设有用于震动支撑架的震动机构，所述支撑架上通过转轴转动连接有转桶，所述支撑架右侧壁设有第一电机，所述第一电机的输出轴贯穿支撑架并与转轴固定连接，所述转桶内转动连接有两根安装杆，两根所述安装杆上均设有多根打磨杆，多根所述打磨杆上均设有条形腔，所述条形腔内设有用于连接打磨杆与安装杆的卡接机构，所述转桶内固定连接有倾斜设置的分隔板，所述分隔板左右两侧均固定连接有与转桶内壁固定连接的滤网，所述分隔板上设有控制滤网的使用的控制机构。优选地，所述震动机构包括设置在右侧底座右侧壁的第二电机，两个所述底座间转动连接有与第二电机的输出轴末端固定连接的转杆，所述转杆上固定连接有凸轮，两个所述支撑架内侧壁处固定连接有T形杆，所述T形杆的下底面设有与凸轮相接触的转轮。优选地，所述卡接机构包括滑动连接在条形腔内的两块限位板，左侧所述限位板的右侧壁与右侧限位板的左侧壁之间通过弹簧弹性连接，左侧所述限位板的左侧壁与右侧限位板的右侧壁处均固定连接有贯穿条形腔并延伸至打磨杆外的按压杆，所述条形腔上侧设有与条形腔连通的T形通道，所述安装杆上设有卡接槽，所述限位板上固定连接有贯穿T形通道并延伸至卡接槽内的L形卡接杆。优选地，所述控制机构包括设置在分隔板内的两个安装槽，两个所述安装槽均固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩末端固定连接有挡板。优选地，所述转桶上设有两个进出料一体口，两个所述进出料一体口上下对称设置。优选地，所述转桶上设有检修门，所述检修门上设有把手。本技术与现有技术相比，其有益效果为：1、通过设置震动机构与控制结构，实现研磨抛光材料与半导体材料的自动分离。2、通过设置卡接机构，实现快速更换磨损严重或损坏的打磨杆，节省时间，提升工作效率。附图说明图1为本技术提出的一种半导体材料研磨抛光设备的主视结构示意图；图2为本技术提出的一种半导体材料研磨抛光设备的主视示意图；图3为本技术提出的一种半导体材料研磨抛光设备的A处结构放大示意图；图4为本技术提出的一种半导体材料研磨抛光设备的B处结构放大示意图。图中：1转桶、2分隔板、3第一电机、4进出料一体口、5安装杆、6打磨杆、7电动伸缩杆、8挡板、9滤网、10支撑架、11T形杆、12凸轮、13第二电机、14底座、15滑槽、16转杆、17检修门、18安装槽、19T形通道、20L形卡接杆、21按压杆、22限位板、23弹簧。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施的限制。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。参照图1-4，一种半导体材料研磨抛光设备，包括两个底座14，两个底座14上均设有滑槽15，滑槽15内滑动连接有支撑架10，底座14上设有用于震动支撑架10的震动机构，支撑架10上通过转轴转动连接有转桶1，转桶1上设有两个进出料一体口4，两个进出料一体口4上下对称设置，转桶1上设有检修门17，检修门17上设有把手，支撑架10右侧壁设有第一电机3，第一电机3的输出轴贯穿支撑架10并与转轴固定连接，转桶1内转动连接有两根安装杆5，两根安装杆5上均设有多根打磨杆6，多根打磨杆6上均设有条形腔，条形腔内设有用于连接打磨杆6与安装杆5的卡接机构，转桶1内固定连接有倾斜设置的分隔板2，分隔板2左右两侧均固定连接有与转桶1内壁固定连接的滤网9，分隔板2上设有控制滤网9的使用的控制机构。震动机构包括设置在右侧底座14右侧壁的第二电机13，两个底座14间转动连接有与第二电机13的输出轴末端固定连接的转杆16，转杆16上固定连接有凸轮12，两个支撑架10内侧壁处固定连接有T形杆11，T形杆11的下底面设有与凸轮12相接触的转轮。卡接机构包括滑动连接在条形腔内的两块限位板22，左侧限位板22的右侧壁与右侧限位板22的左侧壁之间通过弹簧23弹性连接，左侧限位板22的左侧壁与右侧限位板22的右侧壁处均固定连接有贯穿条形腔并延伸至打磨杆6外的按压杆21，条形腔上侧设有与条形腔连通的T形通道19，安装杆5上设有卡接槽，限位板22上固定连接有贯穿T形通道19并延伸至卡接槽内的L形卡接杆20，通过设置卡接机构，实现快速更换磨损严重或损坏的打磨杆6，节省时间，提升工作效率。控制机构包括设置在分隔板2内的两个安装槽18，两个安装槽18均固定连接有电动伸缩杆7，电动伸缩杆7的伸缩末端固定连接有挡板8，通过设置震动机构与控制结构，实现研磨抛光材料与半导体材料的自动分离。本技术使用时，首先启动两根电动伸缩杆7，使挡板8将滤网9堵住，然后从上方的进出料一体口4处向转桶1内放入抛光砂，然后再放入需要研磨抛光的半导体材料，放好后将进出料一体口4封住，启动第一电机3，第一电机3带动转桶1转动，半导体材料在抛光砂与打磨杆6的共同作用下被研磨抛光好，然后在有半导体材料的那一侧进出料一体口4转到下方时，关闭第一电机3，启动下侧的电动伸缩杆7，电动伸缩杆7收缩，使下侧的挡板8移动到安装槽18内，然后启动第二电机13，第二电机13转动带动凸轮12转动，凸轮12转动带动转桶1上下震动，抛光砂被滤网9从上侧过滤到下侧，上侧只剩下研磨抛光后的半导体材料，然后启动下侧电动伸缩杆7，使挡板8将滤网9堵住，然后启动第一电机3，转动转桶1，将有半导体材料的那一侧转动到下侧，然后打开有半导体材料的那一侧的进出料一体口4将半导体材料从转桶1内移出即可，抛光砂可以留在转桶1内循环使用，当需本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体材料研磨抛光设备，包括两个底座(14)，其特征在于，两个所述底座(14)上均设有滑槽(15)，所述滑槽(15)内滑动连接有支撑架(10)，所述底座(14)上设有用于震动支撑架(10)的震动机构，所述支撑架(10)上通过转轴转动连接有转桶(1)，所述支撑架(10)右侧壁设有第一电机(3)，所述第一电机(3)的输出轴贯穿支撑架(10)并与转轴固定连接，所述转桶(1)内转动连接有两根安装杆(5)，两根所述安装杆(5)上均设有多根打磨杆(6)，多根所述打磨杆(6)上均设有条形腔，所述条形腔内设有用于连接打磨杆(6)与安装杆(5)的卡接机构，所述转桶(1)内固定连接有倾斜设置的分隔板(2)，所述分隔板(2)左右两侧均固定连接有与转桶(1)内壁固定连接的滤网(9)，所述分隔板(2)上设有控制滤网(9)的使用的控制机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体材料研磨抛光设备，包括两个底座(14)，其特征在于，两个所述底座(14)上均设有滑槽(15)，所述滑槽(15)内滑动连接有支撑架(10)，所述底座(14)上设有用于震动支撑架(10)的震动机构，所述支撑架(10)上通过转轴转动连接有转桶(1)，所述支撑架(10)右侧壁设有第一电机(3)，所述第一电机(3)的输出轴贯穿支撑架(10)并与转轴固定连接，所述转桶(1)内转动连接有两根安装杆(5)，两根所述安装杆(5)上均设有多根打磨杆(6)，多根所述打磨杆(6)上均设有条形腔，所述条形腔内设有用于连接打磨杆(6)与安装杆(5)的卡接机构，所述转桶(1)内固定连接有倾斜设置的分隔板(2)，所述分隔板(2)左右两侧均固定连接有与转桶(1)内壁固定连接的滤网(9)，所述分隔板(2)上设有控制滤网(9)的使用的控制机构。


2.根据权利要求1所述的一种半导体材料研磨抛光设备，其特征在于，所述震动机构包括设置在右侧底座(14)右侧壁的第二电机(13)，两个所述底座(14)间转动连接有与第二电机(13)的输出轴末端固定连接的转杆(16)，所述转杆(16)上固定连接有凸轮(12)，两个所述支撑架(10)内侧壁处固定连接有T形杆(11)，所述T形杆(11)的下底面设有与凸轮(12)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，
申请(专利权)人：王刚，
类型：新型
国别省市：安徽;34