高架搬运车以及高架搬运车系统技术方案

一种高架搬运车及高架搬运车系统，能够通过使横向机构沿所希望的方向滑动移动来容易调整物品的移载位置。高架搬运车(100)具有：行驶车轮(21)，其在轨道(R)上滚动，该轨道包含第一轨道(R1)和第二轨道(R2)；和主体部(10)，其配置于轨道的下方且与行驶车轮连结，上述高架搬运车(100)具备：方向转换机构(34)，其在维持了主体部相对于轨道的朝向的状态下切换行驶车轮(21)在第一轨道上滚动的第一状态和在第二轨道上滚动的第二状态；物品保持部(13)，其能够保持物品(M)；升降驱动部(14)，其使物品保持部升降；横向机构(11)，其使升降驱动部沿水平的一直线方向滑动移动；第一旋转驱动部(15)，其相对于主体部将横向机构绕第一垂直轴(AX1)旋转驱动。(AX1)旋转驱动。(AX1)旋转驱动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高架搬运车以及高架搬运车系统


[0001]本专利技术涉及高架搬运车以及高架搬运车系统。

技术介绍

[0002]在半导体制造工厂等中，例如使用对收容半导体晶片的FOUP、或收容中间掩膜的中间掩膜Pod等物品进行搬运的高架搬运车系统。作为在该高架搬运车系统中使用的高架搬运车，公知有如下结构，即具有：行驶车轮，其在轨道上滚动，该轨道包含沿第一方向延伸的第一轨道和沿与第一方向不同的第二方向延伸的第二轨道；和主体部，其配置于轨道的下方且与行驶车轮连结(例如，参照专利文献1)。在该高架搬运车中，主体部具备：方向转换机构，其在维持了主体部相对于轨道的朝向的状态下，切换行驶车轮在第一轨道上滚动的第一状态、和在第二轨道上滚动的第二状态；物品保持部，其能够保持物品；升降驱动部，其使物品保持部升降；以及横向机构，其使升降驱动部沿水平面上的一直线方向滑动移动。
[0003]专利文献1:国际公开第2018/037762号
[0004]在专利文献1中记载的高架搬运车中，是在维持了主体部相对于轨道的朝向的状态下切换主体部的行驶方向的结构，因此即便利用第一轨道和第二轨道切换行驶方向而主体部的朝向也维持不变的状态。因此，产生若利用横向机构的滑动移动的方向与主体部的行驶方向一致，则无法使物品保持部向行驶方向以外的方向(例如与行驶方向正交的方向)移动，且无法调整物品的移载位置的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供能够通过使横向机构沿所希望的方向滑动移动，来容易地调整物品的移载位置的高架搬运车以及高架搬运车系统。
[0006]本专利技术的态样的高架搬运车具有：行驶车轮，其在轨道上滚动，该轨道包含沿第一方向延伸的第一轨道和沿与第一方向不同的第二方向延伸的第二轨道；和主体部，其配置于轨道的下方且与行驶车轮连结，上述高架搬运车的特征在于，具备：方向转换机构，其在维持了主体部相对于轨道的朝向的状态下，切换行驶车轮在第一轨道上滚动的第一状态、和在第二轨道上滚动的第二状态；物品保持部，其能够保持物品；升降驱动部，其使物品保持部升降；横向机构，其使升降驱动部沿水平的一直线方向滑动移动；以及第一旋转驱动部，其相对于主体部将横向机构绕第一垂直轴旋转驱动。
[0007]另外，也可以具备相对于横向机构将物品保持部或升降驱动部绕第二垂直轴旋转驱动的第二旋转驱动部。另外，也可以第二旋转驱动部使物品保持部或升降驱动部以一直线方向为基准，绕第二垂直轴在至少180度的范围内旋转。另外，也可以轨道是第一方向与第二方向正交的网格状轨道，横向机构使升降驱动部沿一直线方向中的一个方向单向滑动，第一旋转驱动部使横向机构从横向机构的单向滑动的方向对准第一方向或第二方向的状态开始绕第一垂直轴在270度的范围内旋转。
[0008]另外，也可以具备在所述高架搬运车为了向移载目的地进行物品的移载而朝向移
载位置进行移动期间，驱动第一旋转驱动部而使横向机构绕第一垂直轴旋转的控制部。另外，也可以控制部以在主体部已经停止于移载位置时，横向机构滑动移动的一直线方向与移载目的地在俯视下重叠的方式设定横向机构的旋转位置。
[0009]本专利技术的方式的高架搬运车系统具备：轨道，其包含沿第一方向延伸的第一轨道和沿与第一方向不同的第二方向延伸的第二轨道，和高架搬运车，其沿着轨道行驶，上述高架搬运车系统的特征在于，高架搬运车是上述的高架搬运车。
[0010]根据上述的高架搬运车以及高架搬运车系统，横向机构能够相对于主体部绕第一垂直轴旋转，因此即便主体部的行驶方向是第一轨道或第二轨道中的任一者也能够使横向机构沿所希望的方向滑动移动。其结果为，即便在利用横向机构的滑动移动的方向与主体部的行驶方向一致时，也能够使物品保持部沿与行驶方向正交的方向等行驶方向以外的方向移动，而能够容易地调整物品的移载位置。
[0011]另外，在具备相对于横向机构将物品保持部或升降驱动部绕第二垂直轴旋转驱动的第二旋转驱动部的结构中，能够利用升降驱动部改变保持的物品的朝向，且在在移载目的地中指定物品的朝向的情况下也能够应对。另外，在第二旋转驱动部使物品保持部或升降驱动部以一直线方向为基准，绕第二垂直轴在至少180度的范围内旋转的结构中，能够使保持于物品保持部的物品绕第二垂直轴朝向相反方向。另外，在如下结构中，即在轨道是第一方向与第二方向正交的网格状轨道，横向机构使升降驱动部沿一直线方向中的一个方向单向滑动，第一旋转驱动部使横向机构从横向机构的单向滑动的方向对准第一方向或第二方向的状态开始绕第一垂直轴在270度的范围内旋转中，在横向机构是单向滑动的情况下，能够使物品保持部从停止于网格状轨道的主体部相对于第一方向和第二方向中的任一方向也滑动移动。
[0012]另外，在所述高架搬运车为了向移载目的地进行物品的移载而朝向移载位置进行移动期间，驱动第一旋转驱动部而使横向机构绕第一垂直轴旋转的控制部的结构中，在主体部的行驶中使横向机构旋转，因此能够缩短物品的移载所需要的时间。另外，在控制部以在主体部已经停止于移载位置时，横向机构滑动移动的一直线方向与移载目的地在俯视下重叠的方式设定横向机构的旋转位置的结构中，能够在主体部到达移载位置之后迅速进行物品的移载动作。
附图说明
[0013]图1是表示第一实施方式的高架搬运车的一个例子的侧视图。
[0014]图2是图1所示的高架搬运车的立体图。
[0015]图3是表示本实施方式的高架搬运车系统的一个例子的立体图。
[0016]图4是示意性地表示从上方观察主体部看到的状态的图。
[0017]图5的(A)和图5的(B)是表示主体部的行驶方向与横向机构的滑动移动方向的关系的一个例子的俯视图。
[0018]图6的(A)和图6的(B)是表示主体部的行驶方向与横向机构的滑动移动方向的关系的其他的例子的俯视图。
[0019]图7的(A)和图7的(B)是表示横向机构的滑动移动的方向与物品的朝向的关系的一个例子的俯视图。
[0020]图8的(A)和图8的(B)是表示横向机构的滑动移动的方向与物品的朝向的关系的其他的例子的俯视图。
[0021]图9的(A)和图9的(B)是表示横向机构的滑动移动的方向与物品的朝向的关系的其他的例子的俯视图。
[0022]图10的(A)和图10的(B)是表示横向机构的滑动移动的方向与物品的朝向的关系的其他的例子的俯视图。
[0023]图11是表示横向机构的滑动移动的方向与物品的朝向的关系的其他的例子的俯视图。
[0024]图12是表示第二实施方式的高架搬运车的一个例子的侧视图。
[0025]图13的(A)和图13的(B)是表示在主体部的行驶时使横向机构旋转的一个例子的俯视图。
具体实施方式
[0026]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。但是，本专利技术并不限定于以下说明的方式。另外，在附图中为了对实施方式进行说明，通过将一部分放大或突出来记载等方式适当地变更比例尺来显示。在以下的各图中，使用XYZ坐标系来对图中的方向进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种高架搬运车，具有：行驶车轮，其在轨道上滚动，该轨道包含沿第一方向延伸的第一轨道和沿与所述第一方向不同的第二方向延伸的第二轨道；和主体部，其配置于所述轨道的下方且与所述行驶车轮连结，所述高架搬运车的特征在于，具备：方向转换机构，其在维持了所述主体部相对于所述轨道的朝向的状态下，切换所述行驶车轮在所述第一轨道上滚动的第一状态、与在所述第二轨道上滚动的第二状态；物品保持部，其能够保持物品；升降驱动部，其使所述物品保持部升降；横向机构，其使所述升降驱动部沿水平的一直线方向滑动移动；以及第一旋转驱动部，其相对于所述主体部将所述横向机构绕第一垂直轴旋转驱动。2.根据权利要求1所述的高架搬运车，其特征在于，具备相对于所述横向机构将所述物品保持部或所述升降驱动部绕第二垂直轴旋转驱动的第二旋转驱动部。3.根据权利要求2所述的高架搬运车，其特征在于，所述第二旋转驱动部使所述物品保持部或所述升降驱动部以所述一直线方向为基准，绕所述第二垂直轴在至少180度的范围内旋转。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的高架搬运车，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：小合玄己，伊藤靖久，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：