基于硅基微环的游标效应光纤干涉传感器解调装置及方法制造方法及图纸

一种基于硅基微环的游标效应光纤干涉传感器解调装置及方法，宽带光源出射的激光通过光纤进入环形器，环形器与干涉型光纤传感器和光纤放大器的输入端通过光纤相连，光纤放大器的输出端通过光栅耦合器与硅光芯片相连，所述的硅光芯片为SOI基底上设置有结构相同的第一直波导和第二直波导，第一直波导和第二直波导之间设置有环形波导，环形波导与第一直波导和第二直波导之间留有间隙，环形波导上设置有加热电极。本发明专利技术采用硅光芯片对光纤干涉传感器解调，使解调装置微型化，光纤干涉传感器反射的光信号进入硅光芯片与硅光芯片的光谱进行叠加产生游标效应，提高了解调灵敏度，增大了测量范围。测量范围。测量范围。

【技术实现步骤摘要】
基于硅基微环的游标效应光纤干涉传感器解调装置及方法


[0001]本专利技术属于光纤解调
，具体涉及到基于硅基微环的游标效应光纤干涉传感器解调装置及方法。

技术介绍

[0002]光纤传感器因其结构简单、体积小、重量轻、抗电磁干扰和高灵敏度等优点，广泛应用于温度、折射率、压力、应变等外界物理量的测量。其中光纤温度、应变传感器在过去的二十年中得到了广泛的研究，在航天航空、工业生产、安全监测等领域都具有广阔的应用前景。
[0003]常见的光纤温度、应变传感器一般基于光纤光栅或光纤干涉仪结构，其中基于光纤光栅结构的温度、应变传感器灵敏度通常较低，一般分别在pm/℃和 pm/με量级；而基于法布里
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珀罗干涉仪、马赫
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曾德尔干涉仪和光纤赛格纳克干涉仪等结构的度、应变传感器，其温度灵敏度可以达到亚nm/℃甚至nm/℃量级，而应变灵敏度通常在pm/με量级。近年来，某些特殊应用领域对光纤温度、应变传感器灵敏度提出了更高要求，研究人员开始将游标效应作为一种增敏手段进一步应用于光学检测中。r/>[0004]光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于硅基微环的游标效应光纤干涉传感器解调装置，其特征在于：宽带光源出射的激光通过光纤进入环形器，环形器与干涉型光纤传感器和光纤放大器的输入端通过光纤相连，光纤放大器的输出端通过光栅耦合器与硅光芯片相连，所述的硅光芯片为SOI基底上设置有结构相同的第一直波导和第二直波导，第一直波导和第二直波导之间设置有环形波导，环形波导与第一直波导和第二直波导之间留有间隙，环形波导上设置有加热电极。2.根据权利要求1所述的基于硅基微环的游标效应光纤干涉传感器解调装置，其特征在于：所述的光纤放大器为掺铒光纤放大器。3.根据权利要求1所述的基于硅基微环的游标效应光纤干涉传感器解调装置，其特征在于：所述的第一直波导的宽度为400～500nm、厚度为220nm，所述的环形波导的半径为3～40μm、厚度为220nm。4.根据权利要求1所述的基于硅基微环的游标效应光纤干涉传感器解调装置，其特征在于：所述的环形波导与第一直波导和第二直波导之间的间隙宽度为100nm。5.根据权利要求1所述的基于硅基微环的游标效应光纤干涉传感器解调装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王若晖，李敏轩，乔学光，
申请(专利权)人：西北大学，
类型：发明
国别省市：