基于石英管封装PDMS腔和空气腔的高精度温度传感器制造技术

本发明专利技术提供了基于石英管封装PDMS腔和空气腔的高精度温度传感器，涉及光纤传感器技术领域，包括传感头、宽谱光源、光纤环形器和光谱仪。宽谱光源发出的入射光经过光纤环形器进入传感头，然后依次经过传感头里界面M1、M2和M3反射，反射光经光纤环形器后被光谱仪接收，传感头中采用光纤熔接和胶粘石英管的方式制备光纤微腔。其传感器产生增强型游标效应的方法为，空气腔和PDMS腔均为法布里

【技术实现步骤摘要】
基于石英管封装PDMS腔和空气腔的高精度温度传感器


[0001]本专利技术涉及光纤传感器
，具体涉及基于石英管封装PDMS腔和空气腔的高精度温度传感器。

技术介绍

[0002]温度作为国际单位制七个基本物理量之一，在国民经济、国防建设和科学研究等领域中温度的准确测量具有举足轻重的作用。随着温度传感应用需求的提高，传统的温度传感器已经无法满足高精度的测量要求。光纤温度传感器具有尺寸小、测量精度高、灵敏度高、抗电磁干扰强、电绝缘性好、温度范围大等诸多优点，在温度测量方面有着自身独特的优势。
[0003]但目前市场上的光纤温度传感器如专利CN201810738431.6制造过程复杂、采用镀膜的方式制作光纤微腔，镀膜需要昂贵的专门镀膜设备，如专利CN201810996463.6采用马赫
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曾德干涉原理，探测透射光，为非尖端结构，相对于尖端结构安装不便，如专利CN2201810971799.7进行温度检测时，灵敏度放大倍率小，灵敏度低，不能满足实际需求。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的问题是，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于石英管封装PDMS腔和空气腔的高精度温度传感头，其特征在于，沿光纤传播路径上依次设有：第一单模光纤(301)、第一空芯光纤(303)、第二空芯光纤(304)、第二单模光纤(302)，所述第一空芯光纤(303)内设有PDMS腔(306)，所述第二空芯光纤(304)内设有空气腔。2.根据权利要求1所述的传感头，其特征是，所述第一单模光纤(301)、所述第一空芯光纤(303)、所述第二空芯光纤(304)、所述第二单模光纤(302)外包裹有石英管(305)。3.根据权利要求1所述的基于石英管封装PDMS腔和空气腔的高精度温度传感头，其特征是，所述第一单模光纤(301)和所述第二单模光纤(302)的外径均为125微米，纤芯直径为10微米，所述第一空芯光纤(303)和所述第二空芯光纤(304)的外径为125微米，内径为50
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70微米，所述石英管(305)外径为300微米，内径为150微米。4.根据权利要求1所述的基于石英管封装PDMS腔和空气腔的高精度温度传感头，其特征是，所述第二单模光纤(302)替代为多模光纤或无芯光纤或熊猫光纤。5.根据权利要求1所述的基于石英管封装PDMS腔和空气腔的高精度温度传感头的制备方法包括：步骤一：将所述第一单模光纤与所述第一空芯光纤熔接，然后切割所述第一空芯光纤；步骤二：将液态PDMS填满所述第一空芯光纤，加热PDMS；步骤三：将所述第二单模光纤和第二空芯光纤熔接，切割第二空芯光纤；步骤四；将所述第一空芯光纤与第二空芯光纤在石英管内对接，向石英管狭缝内注入UV胶(307)，再用紫外光照射。6.基于石英管封装PDMS腔和空气腔的高精度温度传感器，其特征在于，包括权利要求1所述的传感头(3)、宽谱光源(1)、光纤环形器(2)和光谱仪(4)，所述第一单模光纤(301)与PDMS腔(306)间的界面为M1，所述PDMS腔(306)与空气腔间的界面为M2，所述空气腔与第二单模光纤(302)间的界面为M3，所述宽谱光源(1)发出的入射光经光纤环形器(2)进入所述传感头(3)，然后依次经过所述界面M1、M2和M3反射，反射光经光纤环形器(2)后被光谱仪(4)接收。7.根据权利要求5所述的基于石...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨玉强，王骥，刘洺辛，
申请(专利权)人：广东海洋大学，
类型：发明
国别省市：