【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉
本技术涉及氧化炉
,具体为一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉。
技术介绍
半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料,是未来信息科技发展的主要原材料之一,现有的半导体材料在生产地过程中,常常需要用氧化炉进行高温氧化,但现有的氧化炉移动不便,在需要氧化炉进行移动时,往往会耗费大量的人力物力,不利于生产的正常进行。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本技术提供了一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉,解决了现有装置结构不完善的问题。(二)技术方案为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉,包括底板,所述底板底部的四角均通过支撑杆固定连接有万向轮,所述底板底部的中部固定连接有垂直板,所述垂直板正面的底部通过转轴转动连接有主轮体,所述主轮体正面的中部固定连接有传动底杆,所述底板底部左侧的中部固定连接有固定板,所述固定板的正面转动连接有传动顶杆, ...
【技术保护点】
1.一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)底部的四角均通过支撑杆固定连接有万向轮(2),所述底板(1)底部的中部固定连接有垂直板(3),所述垂直板(3)正面的底部通过转轴转动连接有主轮体(4),所述主轮体(4)正面的中部固定连接有传动底杆(5),所述底板(1)底部左侧的中部固定连接有固定板(7),所述固定板(7)的正面转动连接有传动顶杆(8),所述传动顶杆(8)的外侧通过传送带(9)传动连接在传动底杆(5)的外侧,所述传动顶杆(8)的正面固定连接有方形块(10),所述底板(1)底部左侧的正面通过连接块固定连接有双轴电机(11), ...
【技术特征摘要】
1.一种半导体材料生产加工用便于移动的氧化炉,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)底部的四角均通过支撑杆固定连接有万向轮(2),所述底板(1)底部的中部固定连接有垂直板(3),所述垂直板(3)正面的底部通过转轴转动连接有主轮体(4),所述主轮体(4)正面的中部固定连接有传动底杆(5),所述底板(1)底部左侧的中部固定连接有固定板(7),所述固定板(7)的正面转动连接有传动顶杆(8),所述传动顶杆(8)的外侧通过传送带(9)传动连接在传动底杆(5)的外侧,所述传动顶杆(8)的正面固定连接有方形块(10),所述底板(1)底部左侧的正面通过连接块固定连接有双轴电机(11),所述双轴电机(11)背面输出轴的背面固定连接有伸缩杆(12),所述伸缩杆(12)的背面开设有方形槽(13),所述双轴电机(11)正面输出轴的正面固定连接有风机(14),所述风机(14)的顶部通过连接块固定连接在底板(1)的底部,所述底板(1)顶部中部的四角均通过支撑腿固定连接有氧化炉本体(15),所述氧化炉本体(15)内侧的底部固定...
【专利技术属性】
技术研发人员:毕丽锋,全海彪,
申请(专利权)人:湖南众合气体有限公司,
类型:新型
国别省市:湖南;43
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。