三氯氢硅生产的湿法除尘系统技术方案

本发明专利技术公开了一种三氯氢硅生产的湿法除尘系统，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统包括洗涤器、气液分离器、喷淋塔、喷淋管和循环泵，洗涤器具有间隔布置的第一开口和第二开口，含尘气体适于通过第一开口进入洗涤器内，气液分离器具有排气口和排液口，气液分离器与第二开口连通，喷淋塔具有进气口、进液口和出液口，进气口与排气口连通，进液口与排液口连通，喷淋管的一端伸入洗涤器内，喷淋管的另一端与出液口连通，喷淋管在洗涤器内的喷射方向与含尘气体在洗涤器内的流动方向相反，循环泵设在喷淋管上，循环泵用于驱动喷淋塔内的液体通过喷淋管流入洗涤器内。本发明专利技术实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统除除尘效果好，不易堵塞。不易堵塞。不易堵塞。

【技术实现步骤摘要】
三氯氢硅生产的湿法除尘系统


[0001]本专利技术涉及三氯氢硅合成气的除尘
，具体地，涉及一种三氯氢硅生产的湿法除尘系统。

技术介绍

[0002]多晶硅作为制造集成电路衬底、太阳能电池等产品的主要原料，是发展信息产业和新能源产业的重要基石，多晶硅的生产需要消耗三氯氢硅，但三氯氢硅的生产会产生含尘的合成气，严重污染环境。
[0003]相关技术中的除尘系统包括干式除尘和湿法除尘，干式除尘包括式过滤器或陶瓷过滤器，除尘效率较低，微小颗粒不能被拦截，湿法除尘包括湿法除尘淋洗塔或筛板塔，存在冷凝器和管道易堵塞的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
[0005]为此，本专利技术的实施例提出一种三氯氢硅生产的湿法除尘系统，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统除尘效果高，不易堵塞。
[0006]根据本专利技术实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统包括：洗涤器，所述洗涤器具有间隔布置的第一开口和第二开口，含尘气体适于通过所述第一开口进入所述洗涤器内；气液分离器，所述气液分离器具有排气口和排液口，所述气液分离器与所述第二开口连通；喷淋塔，所述喷淋塔具有进气口、进液口和出液口，所述进气口与所述排气口连通，所述进液口与所述排液口连通；喷淋管，所述喷淋管的一端伸入所述洗涤器内，所述喷淋管的另一端与所述出液口连通，所述喷淋管在所述洗涤器内的喷射方向与含尘气体在所述洗涤器内的流动方向相反；循环泵，所述循环泵设在所述喷淋管上，所述循环泵用于驱动所述喷淋塔内的液体通过所述喷淋管流入所述洗涤器内。
[0007]根据本专利技术实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，通过设置喷淋管在洗涤器内的喷射方向与含尘气体在洗涤器内的流动方向相反，可以使含尘气体与喷淋管喷出的液体接触更充分，提高除尘效率和除尘效果，避免部件(例如喷淋管和喷淋塔)堵塞。
[0008]在一些实施例中，所述喷淋管包括供液管和喷嘴，所述供液管的一端伸入所述洗涤器内并与位于所述洗涤器内的所述喷嘴连接，所述供液管的另一端与所述出液口连通，所述喷嘴为锥形管或螺旋管。
[0009]在一些实施例中，所述喷嘴喷淋的作用面积与所述洗涤器的横截面积相等。
[0010]在一些实施例中，所述出液口邻近所述喷淋塔的底部。
[0011]在一些实施例中，所述喷淋塔的顶部具有出气口，所述喷淋塔的侧壁具有第一回流口，所述第一回流口位于所述进气口的上方，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统还包括冷凝器、供气管和回流管，所述供气管的一端与所述出气口连通，所述供气管的另一端与所述冷凝器的一端相连，所述回流管的一端与所述第一回流口连通，所述回流管的另一端与
所述冷凝器的另一端相连。
[0012]在一些实施例中，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统还包括精馏装置，所述精馏装置与所述冷凝器的另一端相连。
[0013]在一些实施例中，所述喷淋塔的侧壁还具有第二回流口，所述三氯氢硅生产的湿法除尘系统还包括支管，所述支管的一端与所述第二回流口连通，所述支管的另一端与所述喷淋管连通，所述第二回流口位于所述进气口上方。
[0014]在一些实施例中，所述第二回流口位于所述进气口与所述第一回流口之间。
[0015]在一些实施例中，所述喷淋塔的底部具有容渣槽，所述喷淋塔内设有第一填料层和第二填料层，所述第一填料层位于所述第一回流口与所述第二回流口之间，所述第二填料层位于所述进气口与所述第二回流口之间。
附图说明
[0016]图1是根据本专利技术实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统的示意图。
[0017]附图标记：
[0018]三氯氢硅生产的湿法除尘系统1；
[0019]洗涤器10；气液分离器20；喷淋塔30；第一填料层301；第二填料层302；容渣槽303；
[0020]喷淋管40；喷嘴401；供液管402；支管403；循环泵50；
[0021]冷凝器60；供气管601；回流管602；
[0022]精馏装置70。
具体实施方式
[0023]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0024]如图1所示，根据本专利技术实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统1包括洗涤器10、气液分离器20、喷淋塔30、喷淋管40和循环泵50。
[0025]洗涤器10具有间隔布置的第一开口和第二开口，含尘气体适于通过第一开口进入洗涤器10内。气液分离器20具有排气口和排液口，气液分离器20与第二开口连通，喷淋塔30具有进气口、进液口和出液口，进气口与排气口连通，进液口与排液口连通。
[0026]具体地，含尘气体通过第一开口流入洗涤器10中，经洗涤器10洗涤后形成气液混合物，气液混合物从第二开口流入气液分离器20中，气液分离器20可以将气液混合物分离成气体和液体，气体经进气口与排气口的连通流入喷淋塔30内，液体经进液口与排液口的连通流入喷淋塔30内。
[0027]喷淋管40的一端伸入洗涤器10内，喷淋管40的另一端与出液口连通，喷淋管40在洗涤器10内的喷射方向与含尘气体在洗涤器10内的流动方向相反。循环泵50设在喷淋管40上，循环泵50用于驱动喷淋塔30内的液体通过喷淋管40流入洗涤器10内。
[0028]可以理解的是，喷淋管40喷射出的液体可以与含尘气体接触，含尘气体内的粉尘或固体颗粒可以溶入液体中，从而完成对含尘气体的净化，且通过使喷淋管40的另一端与出液口相连，可以形成供液循环，实现三氯氢硅生产的湿法除尘系统1的稳定运行。
[0029]根据本专利技术实施例的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，通过设置喷淋管在洗涤器内
的喷射方向与含尘气体在洗涤器内的流动方向相反，可以使含尘气体与喷淋管喷出的液体接触更充分，提高除尘效率和除尘效果，避免部件(例如喷淋管和喷淋塔)堵塞。
[0030]在一些实施例中，如图1所示，喷淋管40包括供液管402和喷嘴401，供液管402的一端伸入洗涤器10内并与位于洗涤器10内的喷嘴401连接，供液管402的另一端与出液口连通。喷嘴401为锥形管或螺旋管。由此，喷嘴可以根据含尘气体的含尘量或固体颗粒的大小调节喷射效率或喷射密度，提高除尘效率，且将喷嘴设置成锥形管或螺旋管等大口径结构件，可以降低喷嘴堵塞的概率，提高三氯氢硅生产的湿法除尘系统的可靠性。
[0031]在一些实施例中，喷嘴401喷淋的作用面积与洗涤器10的横截面积相等。由此，喷嘴喷出的液体可以与洗涤器内通入的含尘气体充分接触，避免部分含尘气体净化不充分。
[0032]进一步地，喷嘴401可以为多个，多个喷嘴401可以在第一开口到第二开口的方向上(如图1所示的上下方向)间隔布置，从而进一步提高除尘可靠性。
[0033]在一些实施例中，如图1所示，出液口邻近喷淋塔30的底部。可以理解的是，喷淋塔30内的液体通过出液口流入喷淋管40中，出液口本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，包括：洗涤器，所述洗涤器具有间隔布置的第一开口和第二开口，含尘气体适于通过所述第一开口进入所述洗涤器内；气液分离器，所述气液分离器具有排气口和排液口，所述气液分离器与所述第二开口连通；喷淋塔，所述喷淋塔具有进气口、进液口和出液口，所述进气口与所述排气口连通，所述进液口与所述排液口连通；喷淋管，所述喷淋管的一端伸入所述洗涤器内，所述喷淋管的另一端与所述出液口连通，所述喷淋管在所述洗涤器内的喷射方向与含尘气体在所述洗涤器内的流动方向相反；循环泵，所述循环泵设在所述喷淋管上，所述循环泵用于驱动所述喷淋塔内的液体通过所述喷淋管流入所述洗涤器内。2.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述喷淋管包括供液管和喷嘴，所述供液管的一端伸入所述洗涤器内并与位于所述洗涤器内的所述喷嘴连接，所述供液管的另一端与所述出液口连通，所述喷嘴为锥形管或螺旋管。3.根据权利要求2所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述喷嘴喷淋的作用面积与所述洗涤器的横截面积相等。4.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产的湿法除尘系统，其特征在于，所述出液口邻近所述喷淋塔的底部。5.根据权利要求1
‑
4中任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：董丽萍，蒋国瑜，张升学，杨永亮，严大洲，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：