一种薄膜压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开一种薄膜压力传感器，包括第一导电片、第二导电片、以及设置于所述第一导电片与第二导电片之间的隔离层，所述第一导电片包括第一基材以及连接于所述第一基材上的第一箔片，所述第一箔片形成第一电极；所述第二导电片包括第二基材以及连接于所述第二基材上的第二箔片，所述第二箔片形成第二电极；所述隔离层设置于所述第一箔片与第二箔片之间并在所述第一箔片与第二箔片之间形成空腔，本实用新型专利技术薄膜压力传感器采用箔片作为导电线路，相较于现有银浆线路的压力传感器结构，没有银浆印刷对环境的污染，同时导电性能更好、抗氧化性更佳、使用寿命更长。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜压力传感器
本技术涉及传感器
，特别是涉及一种薄膜压力传感器。
技术介绍
压力传感器通常由具有电极的衬底和导电薄膜构成，初始时电极与导电薄膜相间隔，两者之间形成变形空腔。使用时，导电薄膜受压产生变形与电极接触导通，随着导电薄膜与电极接触面积的增加，两者之间的电流增加，从而改变传感器的输出电阻，得到压力与输出电阻的关系。随着压力传感器的发展，其应用越来越广，如作为薄膜开关等广泛应用于智能家居、白色家电、医疗陪护等领域，这也对产品的品质和使用寿命，以及环境保护提出了更高的要求。现有薄膜压力传感器的导电线路为印刷导电银浆线路，其耐磨性和抗氧化性较差，使用寿命较短，尤其是尺寸较长时，其导通电阻较大，为降低导通电阻通常采用印刷更宽更厚的银浆线路，从而消耗更多的银等资源，成本很高；另外相关印刷银浆线路的制程对环境污染较大，不符合节能环保的要求。
技术实现思路
有鉴于此，提供一种导电性好、使用寿命长的薄膜压力传感器。本技术提供一种薄膜压力传感器，包括第一导电片、第二导电片、以及设置于所述第一导电片与第二导电片之间的隔离层，所述第一导电片包括第一基材以及连接于所述第一基材上的第一箔片，所述第一箔片形成第一电极；所述第二导电片包括第二基材以及连接于所述第二基材上的第二箔片，所述第二箔片形成第二电极；所述隔离层设置于所述第一箔片与第二箔片之间并在所述第一箔片与第二箔片之间形成空腔。。进一步地，所述第一箔片与所述第一基材之间设置有第一胶层，所述第一胶层粘接所述第一箔片与所述第一基材。进一步地，所述第一胶层为热固性胶水或热熔胶膜。进一步地，所述第二箔片与所述第二基材之间设置有第二胶层，所述第二胶层粘接所述第二箔片与所述第二基材。进一步地，所述第二胶层为热固性胶水或热熔胶膜。进一步地，所述第一箔片和/或第二箔片上形成有碳油电阻膜。进一步地，所述第一电极与第二电极错开设置，两者之间形成有间隔区。进一步地，所述隔离层为环状，所述隔离层形成有开口连通所述空腔与外界。进一步地，所述隔离层为绝缘性压敏双面胶。进一步地，所述薄膜压力传感器为长条形、圆形、椭圆形、跑道形或者方形。相较于现有技术，本技术薄膜压力传感器采用箔片作为导电线路，相较于现有银浆线路的压力传感器结构，没有银浆印刷对环境的污染，同时导电性能更好、抗氧化性更佳、使用寿命更长。附图说明图1是本技术薄膜压力传感器一实施例的结构示意图。图2为图1所示薄膜压力传感器的爆炸图。图3为图2所示薄膜压力传感器的第一导电片的爆炸图。图4为图2所示薄膜压力传感器的第二导电片的爆炸图。图5是本技术薄膜压力传感器第二实施例的结构示意图。图6为图5所示薄膜压力传感器的爆炸图。图7为图6所示薄膜压力传感器的第一导电片的爆炸图。图8为图6所示薄膜压力传感器的第二导电片的爆炸图。图9是本技术薄膜压力传感器第三实施例的结构示意图。图10为图9所示薄膜压力传感器的爆炸图。图11是本技术薄膜压力传感器第四实施例的结构示意图。图12为图11所示薄膜压力传感器的爆炸图。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中示例性地给出了本技术的一个或多个实施例，以使得本技术所公开的技术方案的理解更为准确、透彻。但是，应当理解的是，本技术可以以多种不同的形式来实现，并不限于以下所描述的实施例。图1-4所示为本技术薄膜压力传感器的一具体实施例，所示薄膜压力传感器整体为长条状多层结构，包括第一导电片10、第二导电片20、以及设置于第一导电片10与第二导电片20之间的隔离层30。如图3所示，第一导电片10包括第一基材12、第一箔片14、以及设置于第一基材12与第一箔片14之间的第一胶层16。其中，第一基材12为长条薄片状结构，优选地为PET、PI、FR4等薄膜柔性材料，回弹力佳，受压可以有一定的形变，且不受压时能快速地恢复形变。第一箔片14同样为长条薄片状结构，整体外形与第一基材12相同。第一箔片14作为第一导电片10的导电线路，优选地为铝箔、铜箔、镀铝或镀铜金属薄片等，具有良好的导电性能。第一箔片14的一侧端外凸形成有第一电极140，用于与外部电路连接。第一胶层16为粘合绝缘胶，优选地如热固性胶水或热熔胶膜等，第一胶层16将第一基材12与第一箔片14粘接为一体的同时在两者之间绝缘，避免短路。第二导电片20与第一电片10结构、外形基本相同，如图4所示，第二导电片20包括第二基材22、第二箔片24、以及设置于第二基材22与第二箔片24之间的第二胶层26。其中，第二基材22为长条薄片状结构，优选地为PET、PI、FR4等薄膜柔性材料制成。第二箔片24同样为长条薄片状结构，整体外形与第二基材22相同。第二箔片24作为第二导电片20的导电线路，优选地为导电性能优良的铝箔、铜箔、镀铝或镀铜金属薄片等。第一箔片24的一侧端外凸形成有第二电极240，用于与外部电路连接。第二胶层26为粘合绝缘胶，优选地如热固性胶水或热熔胶膜等，第二胶层26将第二基材22与第二箔片24粘接为一体的同时在两者之间绝缘，避免短路。如图2所示，隔离层30为绝缘胶，优选地为绝缘性压敏双面胶等。组装时，第一基材12与第二基材22彼此相背、第一箔片14与第二箔片24彼此相向，隔离层30整体呈环形，粘接于第一、第二箔片14、24的外边缘之间并在两者之间绝缘。本实施例图示中，第一箔片14侧端的第一电极140与第二箔片24侧端的第二电极240位于传感器的同一侧端，在位置上相互错开，如分别位于同一侧端的相对两边角处等，两者之间形成一定宽度的间隔区40。第一、第二电极140、240作为本技术薄膜压力传感器的外接电极，在位置上相互错开可以方便接线与外部电路连接。在其它实施例中，第一、第二电极140、240也可以设置于传感器的不同侧端，只要能与外部电路连接即可。本实施例中，对应第一、第二导电片10、20的长条形结构，隔离层30呈长方环状，内部形成长方形空腔32。隔离层30在粘接第一、第二箔片14、24的外边缘的同时，空腔32将第一、第二箔片14、24的中央，也就是传感器的感应区间隔开。较佳地，隔离层30形成有开口34而使其在周向上断开，连通空腔32与外部环境。如此，空腔32作为第一、第二导电片10、20的受压变形空间，始终与外界环境的气压保持一致。本实施例图示中，开口34靠近隔离层30的两侧端设置，应当理解地，根据需要开口34可以形成于隔离层30的任意位置。初始时，第一、第二箔片14、24在隔离层30的间隔作用下，两者完全不接触而处于断路状态，第一、第二电极140、240之间的输出电阻无限大。本技术薄膜压力传感器受压时，第一导电片10或第二导电片20受压变形而内凹，使得第一箔片14或第二箔片24的中央朝向空腔32内移动；当作用于传感本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜压力传感器，包括第一导电片、第二导电片、以及设置于所述第一导电片与第二导电片之间的隔离层，其特征在于：所述第一导电片包括第一基材以及连接于所述第一基材上的第一箔片，所述第一箔片形成第一电极；所述第二导电片包括第二基材以及连接于所述第二基材上的第二箔片，所述第二箔片形成第二电极；所述隔离层设置于所述第一箔片与第二箔片之间并在所述第一箔片与第二箔片之间形成空腔。/n

【技术特征摘要】
1.一种薄膜压力传感器，包括第一导电片、第二导电片、以及设置于所述第一导电片与第二导电片之间的隔离层，其特征在于：所述第一导电片包括第一基材以及连接于所述第一基材上的第一箔片，所述第一箔片形成第一电极；所述第二导电片包括第二基材以及连接于所述第二基材上的第二箔片，所述第二箔片形成第二电极；所述隔离层设置于所述第一箔片与第二箔片之间并在所述第一箔片与第二箔片之间形成空腔。


2.如权利要求1所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述第一箔片与所述第一基材之间设置有第一胶层，所述第一胶层粘接所述第一箔片与所述第一基材。


3.如权利要求2所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述第一胶层为热固性胶水或热熔胶膜。


4.如权利要求1所述的薄膜压力传感器，其特征在于，所述第二箔片与所述第二基材之间设置有第二胶层，所述第二胶层...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗海涛，
申请(专利权)人：深圳市慧力迅科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44