【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】全氟化合物的减排方法专利
本专利
涉及一种减排（abatement）方法。背景用于进行减排的减排装置是已知的并通常用于处理来自例如半导体或平板显示器制造工业中所用的制造加工工具的排出气体物流。在这样的制造过程中，在从加工工具泵送的排出气体物流中存在残留全氟化合物（PFC）和其它化合物。PFC难以从排出气体中除去并且它们释放到环境中是不合意的，因为已知它们具有相对较高的温室活性。已知的减排装置利用燃烧从排出气体物流中除去PFC和其它化合物。通常，排出气体物流是含有PFC和其它化合物的氮气物流。将燃料气体与排出气体物流混合，并将该气体物流混合物输送到被多孔气体燃烧器（foraminousgasburner）的出口表面侧面包围的燃烧室。将燃料气体和空气同时供应到多孔燃烧器以在出口表面实现无焰燃烧，经过多孔燃烧器的空气量力求足以不仅消耗供应到燃烧器的燃料气体，还消耗注入到燃烧室中的气体物流混合物中的所有可燃物。尽管存在用于处理排出气体物流的技术，但它们各自具有它们自身的缺点。因此，希望提供一种改进的用于处理...
【技术保护点】
1.一种方法，其包括：/n与燃烧反应物和稀释剂一起向减排装置的燃烧室供应含全氟化合物的排出物流；/n通过使所述燃烧反应物反应而加热所述燃烧室的燃烧区以实施将所述全氟化合物减排成稳定的副产物，选择所述稀释剂以在所述减排的过程中保持惰性。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181122 GB 1819055.31.一种方法，其包括：
与燃烧反应物和稀释剂一起向减排装置的燃烧室供应含全氟化合物的排出物流；
通过使所述燃烧反应物反应而加热所述燃烧室的燃烧区以实施将所述全氟化合物减排成稳定的副产物，选择所述稀释剂以在所述减排的过程中保持惰性。
2.权利要求1的方法，其中选择所述稀释剂以在所述燃烧区中的所述减排的过程中无变化。
3.权利要求1或2的方法，其中所述加热将所述燃烧区的温度提高到高于1000℃，优选高于1300℃。
4.前述权利要求任一项的方法，其中所述减排装置包括用于将气体物流注入到所述燃烧室中的喷嘴，且所述供应包括向所述喷嘴供应所述排出物流，优选其中所述供应包括向所述喷嘴供应所述燃烧反应物和所述稀释剂。
5.权利要求4的方法，其中所述减排装置包括向所述喷嘴供料的泵，且所述供应包括作为泵吹扫气体供应所述稀释剂。
6.前述权利要求任一项的方法，其中所述减排装置包括用于将气体输送到所述燃烧室的至少部分界定所述燃烧室的多孔套筒，且所述供应包括向所述多孔套筒供应所述燃烧反应物和所述稀释剂。
7.前述权利要求任一项的方法，其包括调节所述稀释剂与所述燃烧反应物的流量比以提供所述排出物流中的至少一种化合物的所选最小破坏率效率。
8.前述权利要求任一项的方法，其中所述燃烧反应物包含燃料和氧化剂。
9.权利要求8的方法，其中所...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·J·西利，F·格雷，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：英国;GB
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