气体感应元件制造技术

本申请提供的气体感应元件，包括：衬底、隔离层、第一组件；所述第一组件包括导电薄膜层、光催化纳米层、第一电极和第二电极，所述第一组件设置于所述隔离层的上表面；第一电极和第二电极均与导电薄膜层至少部分接触；且第一电极和第二电极相间隔设置；光催化剂纳米层与所述导电薄膜层至少部分接触，且光催化纳米层的上表面至少部分区域暴露于环境中；光催化剂纳米层具有用于吸附气体分子的纳米颗粒结构；且光催化剂纳米层为半导体材料。本申请的感应元件有利于提高对气体浓度的检测精度。

【技术实现步骤摘要】
气体感应元件
本申请涉及传感领域，具体而言，涉及气体感应元件。
技术介绍
相关技术中涉及有通过石墨烯作为电极材料制备的气体传感器，这种传感器主要利用石墨烯较好的导电性以及较大的比表面积等特性，在实际中，当石墨烯气体传感器置于相关气体环境时，石墨烯电极材料吸附一定量气体分子后会引起电阻率改变，因此通过检测石墨烯电极电信号的变化可以一定程度上反映气体浓度，但是相关技术中石墨烯气体传感器受其检测原理限制，这种传感器针对气体浓度的检测灵敏度仍存在较大的改进空间。
技术实现思路
本申请提供一种气体感应元件，包括沿气体感应元件高度方向依次设置的衬底、隔离层和第一组件，所述隔离层的下表面与所述衬底的上表面至少部分接触，所述第一组件的下表面与所述隔离层的上表面至少部分接触；所述第一组件包括导电薄膜层、光催化纳米层、第一电极和第二电极；所述第一电极和所述第二电极均与所述导电薄膜层至少部分接触；且所述第一电极和所述第二电极相间隔设置；所述光催化剂纳米层与所述导电薄膜层至少部分接触，且所述光催化纳米层的上表面至少部分区域暴露于环境中；...

【技术保护点】
1.一种气体感应元件(10)，其特征在于，包括沿气体感应元件(10)高度方向依次设置的衬底(101)、隔离层(102)和第一组件；所述隔离层(102)的下表面与所述衬底(101)的上表面至少部分接触；所述第一组件的下表面与所述隔离层(102)的上表面至少部分接触；/n所述第一组件包括导电薄膜层(103)、光催化纳米层(104)、第一电极(11)和第二电极(12)；所述第一电极(11)和所述第二电极(12)均与所述导电薄膜层(103)至少部分接触；且所述第一电极(11)和所述第二电极(12)相间隔设置；所述光催化剂纳米层(104)与所述导电薄膜层(103)至少部分接触，且所述光催化纳米层(104...

【技术特征摘要】
1.一种气体感应元件(10)，其特征在于，包括沿气体感应元件(10)高度方向依次设置的衬底(101)、隔离层(102)和第一组件；所述隔离层(102)的下表面与所述衬底(101)的上表面至少部分接触；所述第一组件的下表面与所述隔离层(102)的上表面至少部分接触；
所述第一组件包括导电薄膜层(103)、光催化纳米层(104)、第一电极(11)和第二电极(12)；所述第一电极(11)和所述第二电极(12)均与所述导电薄膜层(103)至少部分接触；且所述第一电极(11)和所述第二电极(12)相间隔设置；所述光催化剂纳米层(104)与所述导电薄膜层(103)至少部分接触，且所述光催化纳米层(104)的上表面至少部分区域暴露于环境中；
所述光催化剂纳米层(104)具有用于吸附气体分子的纳米颗粒结构；且所述光催化剂纳米层(104)为半导体材料。


2.根据权利要求1所述气体感应元件(10)，其特征在于，所述导电薄膜层(103)至少部分设置于所述隔离层(102)的上表面；
所述第一电极(11)的下表面和所述第二电极(12)的下表面均与所述导电薄膜层(103)至少部分接触；
所述光催化剂纳米层(104)的至少部分位于所述第一电极(11)和所述第二电极(12)之间；且在所述第一电极(11)和所述第二电极(12)之间的间隔区域(150)内，所述光催化剂纳米层(104)覆设于所述导电薄膜层(103)的上表面。


3.根据权利要求2所述的气体感应元件(10)，其特征在于，在所述第一电极(11)和所述第二电极(12)之间的间隔区域(150)，所述光催化剂纳米层(104)与所述第一电极(11)间隔设置，所述光催化剂纳米层(104)与所述第二电极(12)间隔设置。


4.根据权利要求3所述的气体感应元件(10)，其特征在于，所述第一电极(11)和所述第二电极(12)均为自所述导电薄膜层(103)的边...

【专利技术属性】
技术研发人员：万霞，饶欢欢，逯新凯，黄隆重，许伟东，黄宁杰，
申请(专利权)人：浙江三花智能控制股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33