压力传感器及其装配方法组成比例

技术编号:28938708 阅读:23 留言:0更新日期:2021-06-18 21:39
本申请涉及一种压力传感器及其装配方法,该压力传感器包括受压机构,测压机构和传压机构,还包括过压保护机构,所述过压保护机构形成有空腔并且在该空腔中设置有隔膜,所述隔膜与所述空腔的腔壁共同形成至少一个位于导压介质传导路径中的缓冲空间,所述隔膜能够在缓冲空间内导压介质的压力达到或高于预设阈值时发生偏移、低于该预设阈值时自动复位。本发明专利技术提出的压力传感器,在实现外界过压作用与敏感元件隔离的同时,可精确测量压力、压差和流量,尤其是在压力过载时对传感器芯片进行过载保护,并且在过载保护完成后可以免于二次校验,继续使用。

【技术实现步骤摘要】
压力传感器及其装配方法
本专利技术涉及感测装置
,特别是涉及一种压力传感器及其装配方法。
技术介绍
压力传感器是能感受压力信号,并能将压力信号转换成电信号的器件或装置。压力传感器是工业实践中常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。长期以来,过压保护能力一直是困扰着压力传感器生产企业的难题。尤其在高精度压力传感器制造领域,用作敏感元件(例如扩散硅)的材质通常耐压能力有限,当系统故障造成过压时,很可能会损坏敏感元件,或者造成压力传感器的零点误差过大,更有甚者,压力过载会造成仪表的损坏甚至更大损失。目前,此类产品通常采用平膜片或者波形过载膜片作为保护元件。虽然在一定程度上解决了压力过载引起敏感元件的损坏问题,但由于缺乏恢复机制,当产品压力过载后,压力传感器不能完全恢复初始状态,引起零点输出偏移的问题,通常还需要进行仪表的二次校验才能再次正常使用。虽然目前的国家标准中,当系统故障造成过压后,允许进行产品二次校验,但毕竟本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器,包括:/n至少一个受压机构,所述受压机构用于接受外部的待测压力;/n至少一个测压机构,所述测压机构用于感受待测压力并将其转化为电信号;和/n至少一个传压机构,所述传压机构用于将受压机构所接受的待测压力通过导压介质传导至测压机构;/n其特征在于,所述压力传感器还包括过压保护机构,所述过压保护机构形成有空腔并且在该空腔中设置有隔膜,所述隔膜与所述空腔的腔壁共同形成至少一个位于导压介质传导路径中的缓冲空间,所述隔膜能够在缓冲空间内导压介质的压力达到或高于预设阈值时发生偏移、低于该预设阈值时自动复位。/n

【技术特征摘要】
1.一种压力传感器,包括:
至少一个受压机构,所述受压机构用于接受外部的待测压力;
至少一个测压机构,所述测压机构用于感受待测压力并将其转化为电信号;和
至少一个传压机构,所述传压机构用于将受压机构所接受的待测压力通过导压介质传导至测压机构;
其特征在于,所述压力传感器还包括过压保护机构,所述过压保护机构形成有空腔并且在该空腔中设置有隔膜,所述隔膜与所述空腔的腔壁共同形成至少一个位于导压介质传导路径中的缓冲空间,所述隔膜能够在缓冲空间内导压介质的压力达到或高于预设阈值时发生偏移、低于该预设阈值时自动复位。


2.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述隔膜为平膜片或波纹膜片(3),在其膜片延伸面的边缘区域被固定于所述空腔的腔壁,且在其膜片延伸面的中心区域被定位保持于零偏移位置。


3.根据权利要求2所述的压力传感器,其特征在于,所述压力传感器包括第一基座和第二基座(6),所述第一基座和第二基座在彼此相对的内侧分别具有一个凹部,从而在第一基座与第二基座组装的状态下形成所述空腔,两凹部的周面共同构成所述空腔的周向腔壁,两凹部的底面分别构成所述空腔的一个端侧腔壁。


4.根据权利要求3所述的压力传感器,其特征在于,所述隔膜在其膜片延伸面的边缘区域被夹持在第一基座(2)和第二基座(6)之间并由此固定于所述空腔的所述周向腔壁,所述隔膜在其膜片延伸面的中心区域通过从至少一个所述端侧腔壁向所述空腔内部突出的支撑台得以定位。


5.根据权利要求4所述的压力传感器,其特征在于,所述支撑台一体构造于所述第二基座(6)的凹部底面。


6.根据权利要求5所述的压力传感器,其特征在于,所述隔膜将所述空腔分隔为位于第一基座一侧的第一腔室和位于第二基座(6)一侧的第二腔室。


7.根据权利要求6所述的压力传感器,其特征在于,所述受压机构包括设置于第一基座(2)外侧的第一受压膜片(1),在该第一受压膜片与所述第一基座之间形成第一受压腔;所述测压机构(5)包括安装于第二基座(6)中的压敏元件;所述传压机构配置有从第一受压腔通往第一腔室以及从第一腔室通往压敏元件的第一导压介质传导路径,所述第一腔室构成位于该第一导压介质传导路径中的第一缓冲空间(11)。


8.根据权利要求7所述的压力传感器,其特征在于,所述第一导压介质传导路径的从第一受压腔通往第一腔室的区...

【专利技术属性】
技术研发人员:俞永和王徐坚李俊毅郝正宏
申请(专利权)人:上海洛丁森工业自动化设备有限公司浙江洛丁森智能科技有限公司
类型:发明
国别省市:上海;31

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