【技术实现步骤摘要】
一种具有抗核辐照加固的耐高温谐振式石英温度传感器
本专利技术涉及谐振式温度传感器领域，尤其涉及适宜航空、航天、核工业和常规武器行业使用的一种具有抗核辐照加固的耐高温谐振式石英温度传感器。
技术介绍
谐振式石英温度传感器是一种新颖的数字传感器，它一直以高准确度、高稳定、超高分辨率等优良特性而闻名；例如本专利技术人的专利CN100554900“适宜水下检测的精密快响应谐振式石英温度传感器”和CN100555840“石英热敏谐振器”就是属于厚度切变模的谐振式石英温度传感器范畴的。谐振式石英温度传感器的工作机制是“谐振”，其输出信号是频率；它不是依靠传感器分子热运动产生的“电阻”或热电动势特性工作的，因此不仅中、低温热敏特性优异，而且在超低温范围其热敏特性仍然很好。它的主要优点如下：1.由于它的输出信号是频率，因此不必使用A/D变换就可直接输入计算机，并且其输出信号特性几乎不受放大器增益的漂移以及电源电压稳定度的影响；2.温度分辨率高达0.001℃～0.000001℃，可达到目前世界的最高水平；3、准...
【技术保护点】
1.一种具有抗核辐照加固的耐高温谐振式石英温度传感器，由一体化封装部件(1)和热敏石英谐振器(2)构成，其特征在于：/n热敏石英谐振器(2)位于一体化封装部件(1)的内部，一体化封装部件(1)由内外表面溅射有钨铜层的科伐合金管帽(3)和内外表面溅射有钨铜层的科伐合金管座(4)构成；/n内外表面溅射有钨铜层的科伐合金管座(4)由玻璃粉绝缘子(5)、第一管脚(6)、第二管脚(7)构成；/n第一管脚(6)与热敏石英谐振器(2)的第一汇流条电极(8)相连，第二管脚(7)与热敏石英谐振器(2)的第二汇流条电极(9)相连；第一管脚(6)、第二管脚(7)皆由镀镍的科伐合金构成，它们安装在...
【技术特征摘要】
1.一种具有抗核辐照加固的耐高温谐振式石英温度传感器，由一体化封装部件(1)和热敏石英谐振器(2)构成，其特征在于：
热敏石英谐振器(2)位于一体化封装部件(1)的内部，一体化封装部件(1)由内外表面溅射有钨铜层的科伐合金管帽(3)和内外表面溅射有钨铜层的科伐合金管座(4)构成；
内外表面溅射有钨铜层的科伐合金管座(4)由玻璃粉绝缘子(5)、第一管脚(6)、第二管脚(7)构成；
第一管脚(6)与热敏石英谐振器(2)的第一汇流条电极(8)相连，第二管脚(7)与热敏石英谐振器(2)的第二汇流条电极(9)相连；第一管脚(6)、第二管脚(7)皆由镀镍的科伐合金构成，它们安装在玻璃粉绝缘子(5)之中；
利用激光焊接法把内外表面溅射有钨铜层的科伐合金管帽(3)与内外表面溅射有钨铜层的科伐合金管座(4)气密地焊接在一起，构成了一体化封装部件(1)；
热敏石英谐振器(2)由第一枚多层特种合金薄膜振荡激励区、第二枚多层特种合金薄膜振荡激励区(13)、第一支承件(11)、第二支承件(12)、谐振部件(14)、第一汇流条电极(8)、第二汇流条电极(9)构成；
石英晶体片的一端设有第一无电极之石英区，石英晶体片的另一端设有第二无电极区之石英区(15)。
2.根据权利要求1所述的一种具有抗核辐照加固的耐高温谐振式石英温度传感器，其特征在于：热敏石英谐振器(2)沿竖直方向设有两个支承部件，即第一支承件(11)和第二支承件(12)，热敏石英谐振器(2)还设有一枚谐振部件(14)。
3.根据权利要求2所述的一种具有抗核辐照加固的耐高温谐振式石英温度传感器，其特征在于：第一枚多层特种合金薄膜振荡激励区位于谐振部件(14)后表面的中央区域，第一汇流条电极(8)位于谐振部件(14)的第一支承件(11)的后表面，第一枚多层特种合金薄膜振荡激励区和第一汇流条电极(8)由多层特种合金薄膜构成的，并且与位于谐振部件(14)后表面中央区域的多层特种合金薄膜振荡激励区相连，谐振部件(14)后表面的中央区域与第一支承件(11)是一体结构，即是具有相同切型的石英晶体一体化结构片。
4.根据权利要求1所述的一种具有抗核辐照加固的耐高温谐振式石英温度传感器，其特征在于：第二枚多层特种合金薄膜振荡激励区(13)位于谐振部件(14)前表面的中央区域，第二枚多层特种合金薄膜振荡激励区(13)和第二汇流条电极(9)由多层特种合金薄膜构成的；第二汇流条电极(9)位于谐振部件(14)的第二支承件(12)的前表面，并与位于谐振部件(14)前表面的第二枚多层特种...
【专利技术属性】
技术研发人员：林金秋，初奇伟，周佳辉，林江，赵龙，田崇瑞，林春，王强，
申请(专利权)人：常州奇军苑电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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