一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于带电粒子束检测技术领域，涉及一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，包括：薄膜电极、接地紧固环、信号收集电极、三同轴接头和接地电极，薄膜电极通过接地紧固环固定在信号收集电极上，且与信号收集电极紧密贴合，薄膜电极的束流入射面与束流出射面之间绝缘，信号收集电极的信号输出端连接三同轴接头的信号端，接地紧固环通过接地电极连接三同轴接头的接地端。其可以直接在大气环境中使用，无需真空和偏压设备，成本低，体积小，且束流不易泄露，检测结果更加准确。

【技术实现步骤摘要】
一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置
本技术涉及一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，属于带电粒子束检测

技术介绍
法拉第筒是测量带电粒子束流流强的一种基本装置，其目的在于通过拦截带电离子束并收集其电荷，进而实现对束流的流强测量。现有法拉第筒都是在高真空环境下使用的，同时还需要设置偏压装置以抑制二次电子逃逸。现有技术中的法拉第筒通常包括：密封法兰，真空传导装置，偏压环和偏压电源。由于需要较高的真空环境，故现有法拉第筒装置通常结构复杂，体型庞大，制造成本高。同时，偏压电源的引入将引起偏压电流泄露进束流流强，导致测量值不准确，尤其是对于低能强流束，其溅射效应严重，以致偏压环和信号极之间的绝缘陶瓷被污染，泄露电流更大。
技术实现思路
针对上述问题，本技术的目的是提供了一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其可以直接在大气环境中使用，无需真空和偏压设备，成本低，体积小，且束流不易泄露，检测结果更加准确。为实现上述目的，本技术采取以下技术方案：一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，包括：薄膜电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，包括：薄膜电极、接地紧固环、信号收集电极、三同轴接头和接地电极，/n所述薄膜电极通过所述接地紧固环固定在所述信号收集电极上，且与所述信号收集电极紧密贴合，所述薄膜电极的束流入射面与束流出射面之间绝缘，所述信号收集电极的信号输出端连接所述三同轴接头的信号端，所述接地紧固环通过接地电极连接所述三同轴接头的接地端。/n

【技术特征摘要】
1.一种在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，包括：薄膜电极、接地紧固环、信号收集电极、三同轴接头和接地电极，
所述薄膜电极通过所述接地紧固环固定在所述信号收集电极上，且与所述信号收集电极紧密贴合，所述薄膜电极的束流入射面与束流出射面之间绝缘，所述信号收集电极的信号输出端连接所述三同轴接头的信号端，所述接地紧固环通过接地电极连接所述三同轴接头的接地端。


2.如权利要求1所述的在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，所述薄膜电极的束流入射面上镀有导电材料，所述束流出射面为绝缘材料。


3.如权利要求2所述的在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，所述束流出射面上同样镀有导电材料，但所述束流出射面上的导电材料不与所述束流入射面上的导电材料导通。


4.如权利要求1所述的在大气环境下使用的无偏压法拉第筒装置，其特征在于，所述接地电极与所述信号收集电极同轴设置，所述接地电极设置在所述信号收集电极的外侧，且与所述信号...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯永春，毛瑞士，徐治国，胡正国，丁家坚，尹炎，李娟，李维龙，赵铁成，康新才，
申请(专利权)人：中国科学院近代物理研究所，惠州离子科学研究中心，
类型：新型
国别省市：甘肃;62