一种半导体检测用椭偏仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体检测用椭偏仪，包括仪器主体，所述仪器主体的上端固定安装有撑板，所述撑板的前方两方固定安装有滑动扣，所述滑动扣等距排列于撑板的上端，所述撑板上方的右侧活动安装有载物台，所述载物台左侧的中部固定安装有制动器，所述制动器上端的中部固定安装有驱动器，所述驱动器的右侧固定安装有遮挡盖，所述遮挡盖右侧的中部活动安装有伸缩杆，所述制动器的右侧固定安装有阻隔器，所述阻隔器位于仪器主体的上端，所述制动器的前后两方固定安装有防干扰器。该半导体检测用椭偏仪，该半导体检测用椭偏仪采取了双重处理静电的措施，可以对干扰进行有效清除，并且该装置灵活性较高，操作简单。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体检测用椭偏仪
本技术涉及检测用椭偏仪
，具体为一种半导体检测用椭偏仪。
技术介绍
椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器，由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。一般的半导体检测用椭偏仪都没有对半导体进行防护，当一些干扰对半导体产生干扰时，半导体检测用椭偏仪就常常错误判断半导体本体出现问题，这种情况容易导致误判，并且一般半导体检测用椭偏仪操作较复杂，调节性较差。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体检测用椭偏仪，以解决上述
技术介绍
中提出一般的半导体检测用椭偏仪都没有对半导体进行防护，当一些干扰对半导体产生干扰时，半导体检测用椭偏仪就常常错误判断半导体本体出现问题，这种情况容易导致误判，并且一般半导体检测用椭偏仪操作较复杂，调节性较差的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体检测用椭偏仪，包括仪器主体，所述仪器主体的上端固定安装有撑板，所述撑板的前方两方固定安装有滑动扣，所述滑动扣等距排列于撑板的上端，所述撑板上方的右侧活动安装有载物台，所述载物台左侧的中部固定安装有制动器，所述制动器上端的中部固定安装有驱动器，所述驱动器的右侧固定安装有遮挡盖，所述遮挡盖右侧的中部活动安装有伸缩杆，所述制动器的右侧固定安装有阻隔器，所述阻隔器位于仪器主体的上端，所述制动器的前后两方固定安装有防干扰器。优选的，所述防干扰器的上方固定安装有支撑架，所述支撑架上端中部的右侧活动安装有检测系统箱，所述检测系统箱位于仪器主体的上方，所述检测系统箱下端的中部固定安装有衔接器，所述衔接器的下端固定安装有挡板，所述挡板的下端固定安装有协助器。优选的，所述协助器的下端固定安装有扫描口，所述检测系统箱的后方固定安装有后压板，所述仪器主体的左侧固定安装有变频控制器。优选的，所述变频控制器后方的上方固定安装有显示屏，所述显示屏的下方固定安装有示数按键。优选的，所述示数按键等距排列于变频控制器前方，所述示数按键的右侧固定安装有总开关。优选的，所述仪器主体左侧的前方固定安装有接地线，所述接地线位于支撑架下方的前方。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、该半导体检测用椭偏仪，通过安装制动器、驱动器、遮挡盖、伸缩杆和阻隔器，五个部件组合成使载物台进行移动作业的部件，由驱动器带动伸缩杆进行拉伸工作，可以使载物台进行移动，遮挡盖和阻隔器可以对载物台进行阻隔，防止惯性作用是使载物台滑出滑动扣，防干扰器用于解决装置内部及其周围的静电、电磁等干扰，防干扰器本体具有清除静电和电磁的功能，可以有效对干扰进有效行清除，因为半导体经常受静电干扰，所以防干扰器起到了极大的保护作用；2、该半导体检测用椭偏仪，通过安装检测系统箱、衔接器、挡板和协助器结合构成一个检测主体装置，由检测系统箱提供动力和信号，再由衔接器、挡板和协助器进行辅助协调，扫描口，扫描口由衔接器、挡板和协助器进行辅助协调，两个扫描口可以对半导体进行多角度检测；3、该半导体检测用椭偏仪，通过安装变频控制器，变频控制器内部设置有灵活变频的特殊系统，可以有效的对装置进行系统的调节，使得装置运作更加稳定，显示屏、示数按键和总开关，显示屏、示数按键和总开关是变频控制器的辅助操控零件，接地线用于解决静电问题，可以有效导电入土。附图说明图1为本技术立体结构示意图；图2为本技术驱动装置立体结构示意图；图3为本技术检测主体正面结构示意图；图4为本技术变频操控器结构示意图。图中：1、仪器主体；2、撑板；3、滑动扣；4、载物台；5、制动器；6、驱动器；7、遮挡盖；8、伸缩杆；9、阻隔器；10、防干扰器；11、支撑架；12、检测系统箱；13、衔接器；14、挡板；15、协助器；16、扫描口；17、后压板；18、变频控制器；19、显示屏；20、示数按键；21、总开关；22、接地线。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种半导体检测用椭偏仪，包括仪器主体1，仪器主体1的上端固定安装有撑板2，撑板2的前方两方固定安装有滑动扣3，滑动扣3等距排列于撑板2的上端，撑板2上方的右侧活动安装有载物台4，载物台4左侧的中部固定安装有制动器5，制动器5上端的中部固定安装有驱动器6，驱动器6的右侧固定安装有遮挡盖7，遮挡盖7右侧的中部活动安装有伸缩杆8，制动器5的右侧固定安装有阻隔器9，阻隔器9位于仪器主体1的上端，制动器5的前后两方固定安装有防干扰器10。进一步的，防干扰器10的上方固定安装有支撑架11，支撑架11上端中部的右侧活动安装有检测系统箱12，检测系统箱12位于仪器主体1的上方，检测系统箱12下端的中部固定安装有衔接器13，衔接器13的下端固定安装有挡板14，挡板14的下端固定安装有协助器15，通过安装滑动扣3，滑动扣3与载物台4相适配，便于载物台4进行移动作业，制动器5、驱动器6、遮挡盖7、伸缩杆8和阻隔器9，五个部件组合成使载物台4进行移动作业的部件，由驱动器6带动伸缩杆8进行拉伸工作，可以使载物台4进行移动，遮挡盖7和阻隔器9可以对载物台4进行阻隔，防止惯性作用是使载物台4滑出滑动扣3，防干扰器10用于解决装置内部及其周围的静电、电磁等干扰，防干扰器10本体具有清除静电和电磁的功能，可以有效对干扰进有效行清除，因为半导体经常受静电干扰，所以防干扰器10起到了极大的保护作用，检测系统箱12、衔接器13、挡板14和协助器15结合构成一个检测主体装置，由检测系统箱12提供动力和信号，再由衔接器13、挡板14和协助器15进行辅助协调。进一步的，协助器15的下端固定安装有扫描口16，检测系统箱12的后方固定安装有后压板17，仪器主体1的左侧固定安装有变频控制器18，通过安装扫描口16，扫描口16由衔接器13、挡板14和协助器15进行辅助协调，两个扫描口16可以对半导体进行多角度检测。进一步的，变频控制器18后方的上方固定安装有显示屏19，显示屏19的下方固定安装有示数按键20，通过安装变频控制器18，变频控制器18内部设置有灵活变频的特殊系统，可以有效的对装置进行系统的调节，使得装置运作更加稳定。进一步的，示数按键20等距排列于变频控制器18前方，示数按键20的右侧固定安装有总开关21，通过安装显示屏19、示数按键20和总开关21，显示屏19、示数按键20和总开关21是变频控制器18的辅助操控零件。进一步的，仪器主体1左侧的前方固定安装有接地线22，接地线22位于支撑架11下方的前方，通过安本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体检测用椭偏仪，包括仪器主体（1），其特征在于：所述仪器主体（1）的上端固定安装有撑板（2），所述撑板（2）的前方两方固定安装有滑动扣（3），所述滑动扣（3）等距排列于撑板（2）的上端，所述撑板（2）上方的右侧活动安装有载物台（4），所述载物台（4）左侧的中部固定安装有制动器（5），所述制动器（5）上端的中部固定安装有驱动器（6），所述驱动器（6）的右侧固定安装有遮挡盖（7），所述遮挡盖（7）右侧的中部活动安装有伸缩杆（8），所述制动器（5）的右侧固定安装有阻隔器（9），所述阻隔器（9）位于仪器主体（1）的上端，所述制动器（5）的前后两方固定安装有防干扰器（10）。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体检测用椭偏仪，包括仪器主体（1），其特征在于：所述仪器主体（1）的上端固定安装有撑板（2），所述撑板（2）的前方两方固定安装有滑动扣（3），所述滑动扣（3）等距排列于撑板（2）的上端，所述撑板（2）上方的右侧活动安装有载物台（4），所述载物台（4）左侧的中部固定安装有制动器（5），所述制动器（5）上端的中部固定安装有驱动器（6），所述驱动器（6）的右侧固定安装有遮挡盖（7），所述遮挡盖（7）右侧的中部活动安装有伸缩杆（8），所述制动器（5）的右侧固定安装有阻隔器（9），所述阻隔器（9）位于仪器主体（1）的上端，所述制动器（5）的前后两方固定安装有防干扰器（10）。


2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用椭偏仪，其特征在于：所述防干扰器（10）的上方固定安装有支撑架（11），所述支撑架（11）上端中部的右侧活动安装有检测系统箱（12），所述检测系统箱（12）位于仪器主体（1）的上方，所述检测系统箱（12）下端的中部固定安装有衔接器（13），所述衔接器...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐勇宜，于国斌，
申请(专利权)人：于国斌，
类型：新型
国别省市：广东;44