一种适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，属于真空泵的技术领域，所述真空泵包括：真空泵腔体，所述真空泵腔体内设有各级腔体且各级腔体为相互独立的密封空间；与真空泵腔体连通的排气管路；分别连通于各级腔体之间的单向阀，各所述单向阀的气流方向与所述排气管路的气流方向相适配；分别与各级腔体连通的进气支管，各所述进气支管上设有阀门并通过各个阀门的启闭状态组合产生不同的真空度，以达到能对真空泵的真空度在各个级别范围进行精确控制，并提高使用安全性和使用寿命的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵
本技术属于真空泵的
，具体而言，涉及一种适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵。
技术介绍
一般而言，一款真空泵一旦制造出来，其真空度便会固定在一个范围内，无法自动调节，若要调节真空度一般是通过更换真空泵实现，但其成本太高。目前调节真空度采取的常用办法是在真空泵进气口加装一个精密泄压阀，其原理是：打开泄压阀，外界气体进入真空泵，降低真空度，具体结构如图1所示，采用该方案的缺点是：(1)泄压阀一般为手动控制，控制真空度不能精确；(2)外部气体会进入泵体，对真空泵负载大为增加，在增加功耗成本的同时，还会降低真空泵使用寿命；(3)对特殊工艺而言(比如硅烷气体)不允许外部空气直接进入进气口，否则会导致硅烷与空气反应后发生爆炸，只能外接特殊工艺气体来调真空度，工艺成本大大增加；(4)存在安全隐患，若工艺气体为有毒有害气体，若外接精密泄压阀(4)有泄漏的风险，导致安全事故的发生。
技术实现思路
鉴于此，为了解决现有技术存在的上述问题，本技术的目的在于提供一种适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵以达到能对真空泵的真空度在各个级别范围进行精确控制，并提高使用安全性和使用寿命的目的。本技术所采用的技术方案为：一种适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，所述真空泵包括：真空泵腔体，所述真空泵腔体内设有各级腔体且各级腔体为相互独立的密封空间；与真空泵腔体连通的排气管路；分别连通于各级腔体之间的单向阀，各所述单向阀的气流方向与所述排气管路的气流方向相适配；分别与各级腔体连通的进气支管，各所述进气支管上设有阀门并通过各个阀门的启闭状态组合产生不同的真空度。进一步地，所述真空泵腔体内设有多个隔板，通过各个隔板将真空泵腔体分隔成各级腔体。进一步地，各所述单向阀分别设于各个隔板上，并通过各个单向阀将各级腔体单向连通，以防止在需要获取不同真空度需求时，防止其他非必要腔体的气流出现倒灌的现象。进一步地，各所述进气支管连通于同一进气管，该进气管连接有进气源。进一步地，所述阀门采用电磁阀，电磁阀的启闭可由信号执行。进一步地，所述真空泵还包括：控制器，所述控制器分别与各所述电磁阀之间电性连接，在控制器的作用下，实现真空度的全自动精确控制。进一步地，所述真空泵腔体内设有与其同轴且转动设置的主轴，主轴上设有多段转子，且各段转子分别布置在各级腔体内。本技术的有益效果为：1.采用本技术所提供的适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，其通过对真空泵腔体内部进行分隔，对各个分区内的进汽量进行全自动控制，进而能够实现对真空度的各级别范围进行精确控制。2.采用本技术所提供的适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，通过各个阀门的启闭状态组合产生不同的真空度，能够最大程度根据需求调节真空度，减少真空泵的负载，降低功耗成本，同时最大程度降低工艺成本，延长保养周期和使用寿命。3.采用本技术所提供的适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，其能够适用于所有应用和所有特殊工艺，且整个真空泵在运行过程中为全封闭系统，不存在有害气体泄漏的风险，具有安全性高的优点。附图说明图1是现有真空泵解决方案的结构示意图；图2是本技术所提供的适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵的整体结构示意图；附图中标注如下：1-真空泵腔体，2-进气管，3-排气管路，4-泄压阀，5-电动马达，6-控制器，7-主轴，8-隔板，9-单向阀，10-第一电磁阀，11-第二电磁阀，12-第三电磁阀，13-第四电磁阀，14-一级腔体，15-二级腔体，16-三级腔体，17-四级腔体。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术实施例的描述中，需要说明的是，指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义；实施例中的附图用以对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。实施例1在本实施例中具体提供了适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，通过该真空泵旨在能对真空泵的真空度在各个级别范围进行精确控制，并提高使用安全性和使用寿命的目的，如图2所示，所述真空泵的具体设计如下：真空泵系统的主体结构为真空泵腔体1，通过在真空泵腔体1内设有多个隔板8，通过各个隔板8将真空泵腔体1分隔成各级腔体，各个隔板8均采用密封装配的方式设于真空泵腔体1的内部，在实际应用时，可采用焊接的方式将各个隔板8密封焊接于真空泵腔体1的内腔上，且将真空泵腔体1内分为四级腔体17，分别为：一级腔体14、二级腔体15、三级腔体16和四级腔体17。上述真空泵腔体1由中间腔筒体和密封设于中间腔筒体两端的轴承安装板构成，由于对真空泵腔体1的内部进行了多级分隔，在真空泵腔体1内设有与其同轴且转动设置的主轴7，主轴7的两端均转动设于轴承安装板上且主轴7的一端设有驱动其转动的电机马达，在主轴7上设有多段转子且各段转子分别布置在各级腔体内，在设计时，应当确保各段转子分别与一级腔体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，其特征在于，所述真空泵包括：/n真空泵腔体，所述真空泵腔体内设有各级腔体且各级腔体为相互独立的密封空间；/n与真空泵腔体连通的排气管路；/n分别连通于各级腔体之间的单向阀，各所述单向阀的气流方向与所述排气管路的气流方向相适配；/n分别与各级腔体连通的进气支管，各所述进气支管上设有阀门并通过各个阀门的启闭状态组合产生不同的真空度。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，其特征在于，所述真空泵包括：
真空泵腔体，所述真空泵腔体内设有各级腔体且各级腔体为相互独立的密封空间；
与真空泵腔体连通的排气管路；
分别连通于各级腔体之间的单向阀，各所述单向阀的气流方向与所述排气管路的气流方向相适配；
分别与各级腔体连通的进气支管，各所述进气支管上设有阀门并通过各个阀门的启闭状态组合产生不同的真空度。


2.根据权利要求1所述的适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，其特征在于，所述真空泵腔体内设有多个隔板，通过各个隔板将真空泵腔体分隔成各级腔体。


3.根据权利要求2所述的适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，其特征在于，各所述单向阀分别设于各个隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：周恩华，
申请(专利权)人：成都华特邦科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51