温控系统及温控方法技术方案

本发明专利技术涉及热交换技术领域，提供一种温控系统及温控方法。温控系统，包括：制冷系统和循环系统，制冷系统包括第一制冷系统和第二制冷系统，第一制冷系统包括连接形成循环的第一压缩机、第三换热器的放热侧、第一节流件和第一换热器的吸热侧，第二制冷系统包括连接形成第一循环支路的第二压缩机、第四换热器的放热侧、节流装置和第五换热器的吸热侧，第二制冷系统包括形成第二循环支路的第二压缩机、第四换热器的放热侧、节流装置和第三换热器的吸热侧；循环系统包括水箱和设于水箱内的加热器，水箱、负载装置、第一换热器的放热侧与第五换热器的放热侧连接形成循环。本发明专利技术提出的温控系统，系统的结构简单，提高系统的稳定性，温度调控效果好。

【技术实现步骤摘要】
温控系统及温控方法
本专利技术涉及热交换
，尤其涉及温控系统及温控方法。
技术介绍
随着半导体工艺越来越复杂，对温度的要求越来越低，半导体温控系统可通过复叠系统，实现超低温(如-80℃)要求。为了更好的控制温度和节能，根据循环液温度控制要求，将温度区间分为高温段和低温段。高温段时只运行高温级制冷系统，低温段时，需要运行高温级和低温级制冷系统，即复叠系统。相关技术中，复叠系统的结构复杂，系统的运行不够稳定，此问题亟待解决。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种温控系统，系统的结构简单，降低设备能耗，提高系统的稳定性，温度调控效果好。本专利技术还提出一种温控方法。根据本专利技术第一方面实施例的温控系统，包括：制冷系统，包括第一制冷系统和第二制冷系统，所述第一制冷系统包括连接形成循环的第一压缩机、第三换热器的放热侧、第一节流件和第一换热器的吸热侧，所述第二制冷系统包括连接形成第一循环支路的第二压缩机、第四换热器的放热侧、节流装置和第五换热器的吸热侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种温控系统，其特征在于，包括：/n制冷系统，包括第一制冷系统和第二制冷系统，所述第一制冷系统包括连接形成循环的第一压缩机、第三换热器的放热侧、第一节流件和第一换热器的吸热侧，所述第二制冷系统包括连接形成第一循环支路的第二压缩机、第四换热器的放热侧、节流装置和第五换热器的吸热侧，所述第二制冷系统还包括形成第二循环支路的所述第二压缩机、第四换热器的放热侧、节流装置和第三换热器的吸热侧；/n循环系统，包括水箱和设于所述水箱内的加热器，所述水箱、负载装置、所述第一换热器的放热侧与所述第五换热器的放热侧连接形成循环。/n

【技术特征摘要】
1.一种温控系统，其特征在于，包括：
制冷系统，包括第一制冷系统和第二制冷系统，所述第一制冷系统包括连接形成循环的第一压缩机、第三换热器的放热侧、第一节流件和第一换热器的吸热侧，所述第二制冷系统包括连接形成第一循环支路的第二压缩机、第四换热器的放热侧、节流装置和第五换热器的吸热侧，所述第二制冷系统还包括形成第二循环支路的所述第二压缩机、第四换热器的放热侧、节流装置和第三换热器的吸热侧；
循环系统，包括水箱和设于所述水箱内的加热器，所述水箱、负载装置、所述第一换热器的放热侧与所述第五换热器的放热侧连接形成循环。


2.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于，所述第一制冷系统还包括第二换热器，所述第三换热器的放热侧连接于所述第二换热器的放热侧与所述第一换热器的吸热侧之间。


3.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于，所述第四换热器的放热侧与所述第三换热器的吸热侧之间设有第一阀门，所述第四换热器的放热侧与所述第五换热器的吸热侧之间设有第二阀门。


4.根据权利要求3所述的温控系统，其特征在于，所述节流装置包括第二节流件和第三节流件，所述第二节流件设于所述第一阀门与所述第三换热器的吸热侧之间，所述第三节流件设于所述第二阀门与所述第五换热器的吸热侧之间。


5.根据权利要求2所述的温控系统，其特征在于，所述第二换热器的吸热侧与厂务侧连通；和/或，所述第四换热器的吸热侧与厂务侧连通...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文博，胡文达，曹小康，芮守祯，何茂栋，常鑫，耿海东，董春辉，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11