【技术实现步骤摘要】
一种微电子器件除尘装置
本技术属于微电子器件除尘装置
，具体涉及一种微电子器件除尘装置。
技术介绍
微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和，微电子器件属于精密器件，在微电子器件的生产、使用过程中必须保证微电子器件与灰尘隔离、保证洁净的生产环境，但由于机器、人员的活动，导致生产环境不可能完全洁净，因此，微电子器件在生产过程中还是会有particle沾染至器件上，此时需要及时对其进行清洁。现有的微电子器件除尘装置在除尘时不能全方位的清理灰层，存在有死角无法清理的情况，并且灰层长时间堆积后，由于离子风扇风力有限，无法吹干净，即使现有的除尘装置设有刷子，但是刷子无法转动，刷不彻底。针对现有技术的不足，本技术提供了一种微电子器件除尘装置，能有效克服上述存在的缺陷。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种微电子器件除尘装置，旨在解决现有技术中不能全方位的清理灰层，刷子无法转动，清理不够彻底的问题。为实现上述目的，...
【技术保护点】
1.一种微电子器件除尘装置，包括密封盒(1)，其特征在于：所述密封盒(1)的上表面设置有离子发生器(2)，所述离子发生器(2)的输出端固定连接有离子风软管(3)，所述离子风软管(3)的一端贯穿密封盒(1)的上表面并延伸至密封盒(1)的内部，所述离子风软管(3)的一端固定连接有固定管(4)，所述固定管(4)的一端固定连接有固定块(5)，所述固定块(5)外表面的一侧固定连接有底座(6)，所述底座(6)的一侧设置有马达(7)，所述马达(7)的输出端固定连接有主动齿轮(8)，所述固定块(5)外表面的底部套接有刷子(9)，所述刷子(9)的上表面开设有齿轮槽(10)，所述齿轮槽(10)...
【技术特征摘要】
1.一种微电子器件除尘装置，包括密封盒(1)，其特征在于：所述密封盒(1)的上表面设置有离子发生器(2)，所述离子发生器(2)的输出端固定连接有离子风软管(3)，所述离子风软管(3)的一端贯穿密封盒(1)的上表面并延伸至密封盒(1)的内部，所述离子风软管(3)的一端固定连接有固定管(4)，所述固定管(4)的一端固定连接有固定块(5)，所述固定块(5)外表面的一侧固定连接有底座(6)，所述底座(6)的一侧设置有马达(7)，所述马达(7)的输出端固定连接有主动齿轮(8)，所述固定块(5)外表面的底部套接有刷子(9)，所述刷子(9)的上表面开设有齿轮槽(10)，所述齿轮槽(10)与主动齿轮(8)呈啮合连接，所述固定块(5)的下表面开设有通孔，所述通孔的内部固定连接有离子风枪(11)，所述通孔与固定管(4)相导通，所述密封盒(1)的外表面的一侧开设有活动槽(12)，所述密封盒(1)的内侧壁开设有T型槽(13)，所述T型槽(13)的内部活动连接有活动杆(14)，所述活动杆(14)...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵广辉，阮佳程，张若凡，孙传宇，季超，
申请(专利权)人：赵广辉，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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