一种靶材自动切割装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种靶材自动切割装置及其使用方法，所述靶材自动切割装置包括依次连接的上料设备、上料称重设备、切断设备、下料称重设备以及标签打印设备；所述上料设备包括上料架和第一阻位器；所述上料架的表面朝所述上料称重设备的方向向下倾斜；所述第一阻位器设置于与上料称重设备相连接的一端；所述上料称重设备包括支撑架、第一称重器、第二阻位器和滚轴；所述第一称重器穿插设置于所述支撑架中；所述第二阻位器与所述滚轴相互垂直设置于所述支撑架上，所述滚轴的滚动方向与上料方向水平垂直；所述切割装置集自动上料、自动称重、自动切割以及自动打印标签为一体，有效提高了切割效率，减少人工干预，具有较好的工业应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材自动切割装置及其使用方法
本专利技术属于靶材制备
，具体涉及一种靶材自动切割装置及其使用方法。
技术介绍
随着我国科学技术的日益发展，半导体工艺的应用也越来越广泛，因此靶材的需求量也逐渐增加。在靶材生产过程中，重要的一道工序是机加工，主要使用切割机进行加工。目前市场上切割机主要存在以下问题：(1)实际应用型单一；(2)操作程序较为复杂；(3)加工效率低；(4)对加工材料造成损坏。对以上情况，设计开发一种实用高效、一体化操作的靶材自动切割机，成为当前亟待解决的问题。CN208645715U公开了一种靶材切割机，包括框架、冷却组件、Z轴工作组件、Y轴工作组件、真空吸附组件、模具组件、腐蚀组件、打磨组件、机械手组件和切割组件。CN208866596U公开了一种金属靶材自动切割装置，该切割装置包括操作台，操作台的顶端开设有移料槽，移料槽的内侧固定安装有齿轮安装架，齿轮安装架的内侧通过转轴转动连接有齿轮，齿轮的一侧通过转轴转动连接有送料马达，齿轮的顶端啮合连接有排齿板，排齿板的顶端固定连接有操作板，操作台的顶端设置有主切割架和辅切割本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材自动切割装置，其特征在于，所述靶材自动切割装置包括依次连接的上料设备、上料称重设备、切断设备、下料称重设备以及标签打印设备；/n所述上料设备包括上料架和第一阻位器；所述上料架的表面朝所述上料称重设备的方向向下倾斜；所述第一阻位器设置于与上料称重设备相连接的一端；/n所述上料称重设备包括支撑架、第一称重器、第二阻位器和滚轴；所述第一称重器穿插设置于所述支撑架中；所述第二阻位器与所述滚轴相互垂直设置于所述支撑架上，所述滚轴的滚动方向与上料方向水平垂直。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材自动切割装置，其特征在于，所述靶材自动切割装置包括依次连接的上料设备、上料称重设备、切断设备、下料称重设备以及标签打印设备；
所述上料设备包括上料架和第一阻位器；所述上料架的表面朝所述上料称重设备的方向向下倾斜；所述第一阻位器设置于与上料称重设备相连接的一端；
所述上料称重设备包括支撑架、第一称重器、第二阻位器和滚轴；所述第一称重器穿插设置于所述支撑架中；所述第二阻位器与所述滚轴相互垂直设置于所述支撑架上，所述滚轴的滚动方向与上料方向水平垂直。


2.根据权利要求1所述的靶材自动切割装置，其特征在于，所述上料称重设备的称重上限为1吨；
优选地，所述上料称重设备的称重精度精确到百分位。


3.根据权利要求1或2所述的靶材自动切割装置，其特征在于，所述第一称重器为2个；
优选地，所述第一称重器包括圆弧形测量台、连接杆、气压起重器以及底座，所述底座、连接杆以及圆弧形测量台从下到上依次设置，所述气压起重器贯穿设置于所述底座上。


4.根据权利要求1-3任一项所述的靶材自动切割装置，其特征在于，所述第一阻位器至少为2个；
优选地，所述第二阻位器至少为2个。


5.根据权利要求1-4任一项所述的靶材自动切割装置，其特征在于，所述切断设备为高速锯锯床；
优选地，所述切断设...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，边逸军，潘杰，王学泽，吴豪杰，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33