一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置，稀释装置包括第一气管、第二气管、出气管、分流稀释组件、回流管、回收泵，第一气管和第二气管分别连接待混合的两路气体所在容器，第一气管和第二气管合流通入分流稀释组件内，分流稀释组件还连接出气管和回流管，分流稀释组件将混合气体定比分流后分别排往出气管和回流管，出气管上设置浓度计。分流稀释组件包括器壳、进气腔、出气腔、分流管，器壳设置封闭的进气腔、出气腔，器壳中间位置作为壳程，分流管穿过壳程且两头分别连接进气腔、出气腔，进气腔连接第一气管和第二气管，出气腔连接出气管，回流管连接器壳壳程侧壁；分流管包括棉管层，棉管层浸润非极性溶剂。

【技术实现步骤摘要】
一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置
本专利技术涉及电子气体处理
，具体为一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置。
技术介绍
电子气体是指半导体行业所使用的特殊气体，是电子工业的粮食与血液。常见的电子气体有WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等，特气在进行输出时，常常需要进行稀释，而常用的稀释气体有氮气、氩气等。传统的稀释都是从改变流量比例入手，这其中涉及到流路上阀门开度的调整，所以，混合气比例灵敏度一直是个难题，阀门的开度轻微调整，也会对该处流动的气体流动特性产生较大影响，所以，流量的误差很难进一步减小，由此造成稀释比例无法进一步提高的问题；还有就是，几乎所有的稀释都是增加稀释气的量，从而让功能气的浓度降低，稀释气的使用存在较大的浪费，一套特气瓶组中，常常配备多于理论比例值的稀释气体，因为为了调节时的余量考虑，由此造成使用上的浪费以及气瓶占用的增加。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。>为了解决上述技术问本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置，其特征在于：所述稀释装置包括第一气管(21)、第二气管(22)、出气管(23)、分流稀释组件(3)、回流管(41)、回收泵(42)，所述第一气管(21)和第二气管(22)分别连接待混合的两路气体所在容器，第一气管(21)和第二气管(22)合流通入分流稀释组件(3)内，所述分流稀释组件(3)还连接出气管(23)和回流管(41)，所述分流稀释组件(3)将混合气体定比分流后分别排往出气管(23)和回流管(41)，所述出气管(23)上设置浓度计(93)。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置，其特征在于：所述稀释装置包括第一气管(21)、第二气管(22)、出气管(23)、分流稀释组件(3)、回流管(41)、回收泵(42)，所述第一气管(21)和第二气管(22)分别连接待混合的两路气体所在容器，第一气管(21)和第二气管(22)合流通入分流稀释组件(3)内，所述分流稀释组件(3)还连接出气管(23)和回流管(41)，所述分流稀释组件(3)将混合气体定比分流后分别排往出气管(23)和回流管(41)，所述出气管(23)上设置浓度计(93)。


2.根据权利要求1所述的一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置，其特征在于：所述分流稀释组件(3)包括器壳(31)、进气腔(32)、出气腔(33)、分流管(34)，所述器壳(31)设置封闭的进气腔(32)、出气腔(33)，器壳(31)中间位置作为壳程，所述分流管(34)穿过壳程且两头分别连接进气腔(32)、出气腔(33)，所述进气腔(32)连接第一气管(21)和第二气管(22)，所述出气腔(33)连接出气管(23)，所述回流管(41)连接器壳(31)壳程侧壁；
所述分流管(34)包括棉管层(341)，所述棉管层(341)浸润非极性溶剂。


3.根据权利要求2所述的一种基于毛细管结构的气体定量定比稀释装置，其特征在于：所述棉管层(341)所浸润的非极性溶剂为四氯化碳或环己烷。
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【专利技术属性】
技术研发人员：唐蓉，孙珏，薛殿友，
申请(专利权)人：无锡恒大电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32