【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于干燥图案化的OLED制剂的系统和方法相关申请的交叉引用本申请要求在2018年7月23日提交的美国临时专利申请第62/702,270号以及在2019年2月28日提交的美国临时专利申请第62/812,143号的优先权,其全部内容以引用的方式并入于此。
技术介绍
有机发光二极管(OLED)是一种发光二极管(LED),其中发光组件包括有机材料层或有机材料薄膜。显示设备例如电视、计算机和移动电话,越来越多地包含单独控制的小型OLED阵列作为像素。采用喷墨技术可将溶解于或悬浮于载液中的OLED材料沉积在基底上。在类似于将文字打印到纸上的过程中,通过将OLED制剂的液滴精确地滴入所需的图案中,可以将OLED像素“打印”在合适的基底上。然后,经干燥步骤去除沉积液中的载液从而留下OLED材料。在干燥过程中,要精确控制温度、流量和压力,以去除载液而不对像素造成物理扭曲,以免对显示质量产生不利影响。然而,很难在像素级别上精确地控制压力和温度。因而,像素和显示质量可以随显示区变化。由此,需要能精确且均匀地控制如何去除OLED沉积材料上的载液的 ...
【技术保护点】
1.一种干燥室,其包括:/n设置于外壳内的基底支撑件,所述基底支撑件具有支撑表面;/n具有蒸汽透过区域和蒸汽阻挡区域的掩模,所述掩模横跨于所述外壳内的所述基底支撑件的支撑表面且设置成与所述支撑表面相距可调的距离;以及/n连接至所述外壳的气源;以及/n连接至所述外壳的真空源。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180723 US 62/702,270;20190228 US 62/812,1431.一种干燥室,其包括:
设置于外壳内的基底支撑件,所述基底支撑件具有支撑表面;
具有蒸汽透过区域和蒸汽阻挡区域的掩模,所述掩模横跨于所述外壳内的所述基底支撑件的支撑表面且设置成与所述支撑表面相距可调的距离;以及
连接至所述外壳的气源;以及
连接至所述外壳的真空源。
2.根据权利要求1所述的干燥室,其中所述掩模具有延伸穿过所述外壳的掩模支撑件。
3.根据权利要求2所述的干燥室,其中所述掩模支撑件位于所述掩模的两个相对侧。
4.根据权利要求1所述的干燥室,其进一步包括在所述掩模和所述真空源之间的配气元件。
5.根据权利要求4所述的干燥室,其进一步包括外围蒸汽阻挡层,所述外围蒸汽阻挡层包围所述掩模和所述配气元件之间的间隙。
6.根据权利要求4所述的干燥室,其中所述气源在向所述蒸汽阻隔层外部提供气流的位置处与所述外壳偶联。
7.根据权利要求1所述的干燥室,其中所述掩模包括从所述掩模的近端表面向所述支撑表面延伸的壁。
8.根据权利要求1所述的干燥室,其中所述基底支撑件包括温控元件。
9.根据权利要求1所述的干燥室,其中所述掩模包括刚性材料,所述刚性材料设置于所述基底上方且与所述基底隔开。
10.根据权利要求1所述的干燥室,其中每个蒸汽透过区域具有单个开口、多个开口、网孔、筛网或多孔材料。
11.一种用于干...
【专利技术属性】
技术研发人员:康诺F·马迪根,亚历山大·苏康·高,
申请(专利权)人:科迪华公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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