一种自动校正平面的夹板松板机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自动校正平面的夹板松板机构，包括固定底板、对立设在所述固定底板上的TABLE固定基板、TABLE移动基板；所述TABLE固定基板组件和所述TABLE移动基板组件上设置有上盖板；所述上盖板下方设置有浮动支撑组件，所述浮动支撑组件与所述上盖板配合设置。本实用新型专利技术通过上盖板下方设置浮动支撑组件，浮动支撑板在夹板上升过程中，即使支撑板表面与检查面存在一定角度，最终在被测板被夹紧时，支撑板能通过弹簧作用力，使支撑板很好的顶住被测板，从而使被测板表面与上盖板底面贴合，达到被测板表面与取像面的平行，从而满足拍照检查的要求；本实用新型专利技术结构简单，生产成本更低，能够自动夹板松板，消除或减少被测板变形，提高可测率和取像效果。

【技术实现步骤摘要】
一种自动校正平面的夹板松板机构
本技术涉及一种自动校正平面的夹板松板机构。
技术介绍
半导体软板由于板子较薄，通常为0.1-0.3mm，在存放和检查过程中容易变形且存在一定的应力，在光学检测板子时，板子变形造成的物距变化，影响相机取像，从而导致取像失败和误判，因而在实际检查过程中，通过率低，误判率高，对一些高要求的板子甚至无法检查。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种自动校正平面的夹板松板机构，其至少具有结构简单，生产成本更低，能够自动夹板松板，消除或减少被测板变形，提高可测率和取像效果等优点。本技术保护一种自动校正平面的夹板松板机构，包括固定底板、对立设在所述固定底板上的TABLE固定基板、TABLE移动基板；所述TABLE固定基板组件和所述TABLE移动基板组件上设置有上盖板；所述上盖板下方设置有浮动支撑组件，所述浮动支撑组件与所述上盖板配合设置。在一些实施例中，所述浮动支撑组件包括浮动支撑板、弹性件、第一驱动板、第二驱动板、第一驱动气缸以及第二驱动气缸，其中，所述弹性件设置于所述浮动支撑板底部，所述第一驱动板设置于所述TABLE固定基板侧面，一端与所述浮动支撑板连接，另一端与所述第一驱动气缸连接，所述第二驱动板设置于所述第一驱动板侧面，一端与所述浮动支撑板连接，另一端与所述第二驱动气缸连接。在一些实施例中，所述弹性件包括第一弹簧组与第二弹簧组，所述第一弹簧组与所述第二弹簧组对称设置于所述浮动支撑板底部两端。在一些实施例中，所述浮动支撑组件还包括第一限位螺丝与第二限位螺丝，所述第一限位螺丝与所述第二限位螺丝对称设置在所述浮动支撑板两端。实施本技术的一种自动校正平面的夹板松板机构至少具有以下有益效果：本技术通过上盖板下方设置浮动支撑组件，浮动支撑板在夹板上升过程中，即使支撑板表面与检查面存在一定角度，最终在被测板被夹紧时，支撑板能通过弹簧作用力，使支撑板很好的顶住被测板，从而使被测板表面与上盖板底面贴合，达到被测板表面与取像面的平行，从而满足拍照检查的要求；本技术结构简单，生产成本更低，能够自动夹板松板，消除或减少被测板变形，提高可测率和取像效果。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1是本技术一优选实施例的总体立体结构示意图；图2是本技术一优选实施例TABLE固定基板组件的立体结构示意图；图3是本技术另一优选实施例TABLE固定基板组件的立体结构示意图；图4是本技术一优选实施例TABLE移动基板组件的立体结构示意图。本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。另外，在本技术中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中的“和/或”包括三个方案，以A和/或B为例，包括A技术方案、B技术方案，以及A和B同时满足的技术方案；另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。如图1-图4所示，一种自动校正平面的夹板松板机构，用于半导体软板的光学检测，包括固定底板4、对立设在固定底板4上的TABLE固定基板1、TABLE移动基板2；TABLE固定基板1组件和TABLE移动基板2组件上设置有上盖板3；上盖板3下方设置有浮动支撑组件，浮动支撑组件与上盖板3配合设置；具体应用中，将上盖板3安装面校正到与相机检查面平行，夹板时以上盖板3底面为基准，通过浮动支撑组件支撑，将被测板夹紧，因浮动支撑组件具有可调节性，夹紧被测板时，通过调节浮动支撑组件，使得浮动支撑组件与上盖板3紧密贴合，从而达到将变形的被测板夹平行夹平整的效果。在一些实施例中，浮动支撑组件包括浮动支撑板6、弹性件、第一驱动板11、第二驱动板13、第一驱动气缸14以及第二驱动气缸15，其中，弹性件设置于浮动支撑板6底部，第一驱动板11设置于固定基板1侧面，在第一驱动气缸14驱动下由两组线性滑轨控制其作上下运动，第二驱动板13设置于第一驱动板11侧面，在第二驱动气缸15驱动下由两组线性滑轨控制其作上下运动上。浮动支撑板6由第一弹簧组件9和第二弹簧组件10支撑，并由第一限位螺丝5(等高螺丝)和第二限位螺丝8(等高螺丝)进行上下导向和高度限位，第一限位螺丝5(等高螺丝)和第二限位螺丝8(等高螺丝)高度由螺丝选型决定，确保螺丝安装到位后两组螺丝等高，且浮动支撑板6在克服支撑弹簧弹力作用下能向下运动一定的行程，此行程即使在第一驱动气缸14和第二驱动气缸15完全上顶的状态下也仍有向下运动的空间，从而确保作用在上盖板3上的作用力非第一驱动气缸14和第二驱动气缸15的推力，而是克服支撑弹簧的弹力，从而防止上盖板3受力过大而变形，见图2和图3所示。支撑弹簧的选型，长度需满足浮动支撑板6上下运动过程中始终能受到弹簧的作用力，弹力需满足克服浮动支撑板6重力后仍有3-5牛顿的富余，此弹力可通过弹簧常数和弹簧压缩量进行计算而得。在一些实施例中，弹性件包括第一弹簧组9与第二弹簧组10，第一弹簧组9与第二弹簧组10对称设置于浮动支撑板6底部两端。通过第一弹簧组9与第二弹簧组10实现浮动支撑板6的浮动调节，简化了浮动支撑组件的结构，降低制造成本。如图3所示。实施此实施例时，TABLE固定基板1和TABLE移动基板2上分别有第一盖板固定块7与第二盖板固定块12，装机时对第一盖板固定块7与第二盖板固定块12进行打表，使上盖板3安装面与相机取像面平行度达到检查要求，固定上盖板3，升起浮动支撑板6，确认浮动支撑板6能顶到上盖板3底面且可以克服弹簧弹力向下压。如图2和图4所示。可以理解的是，浮动支撑板6对上盖板3的作用力为弹簧作用力减去浮动支撑板6的的重力，对上盖板3作用时，有缓冲作用且不至于因硬挤压导致上盖板3变形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动校正平面的夹板松板机构，其特征在于，包括固定底板、对立设在所述固定底板上的TABLE固定基板、TABLE移动基板；所述TABLE固定基板组件和所述TABLE移动基板组件上设置有上盖板；所述上盖板下方设置有浮动支撑组件，所述浮动支撑组件与所述上盖板配合设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动校正平面的夹板松板机构，其特征在于，包括固定底板、对立设在所述固定底板上的TABLE固定基板、TABLE移动基板；所述TABLE固定基板组件和所述TABLE移动基板组件上设置有上盖板；所述上盖板下方设置有浮动支撑组件，所述浮动支撑组件与所述上盖板配合设置。


2.根据权利要求1所述的自动校正平面的夹板松板机构，其特征在于，所述浮动支撑组件包括浮动支撑板、弹性件、第一驱动板、第二驱动板、第一驱动气缸以及第二驱动气缸，其中，所述弹性件设置于所述浮动支撑板底部，所述第一驱动板设置于所述TABLE固定基板侧面，一...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨勇，
申请(专利权)人：上海矩子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31