一种节能型半导体加工用石英片抛光设备制造技术

一种节能型半导体加工用石英片抛光设备，包括工作台、L形支架、抛光支架、清洁箱和推杆，所述工作台的顶部通过螺栓连接有L形支架，所述L形支架顶部的内侧设置有滑轨A，所述抛光支架通过顶部滑块与滑轨A滑动连接，所述抛光支架内的底部设置有抛光电机，所述抛光电机通过驱动轴连接有抛光轮，所述L形支架的内侧位于抛光支架一侧通过螺栓连接有切割支架，所述切割支架内的一侧设置有切割电机，所述切割电机通过驱动轴连接有切刀，所述L形支架的一侧位于抛光支架的底部设置有抛光台，所述抛光台的顶部设置有抛光槽，所述工作台的表面位于抛光台的两侧设置有滑轨B。本实用新型专利技术功能多样，使用方便，能够对石英片进行抛光切割清洗处理。

【技术实现步骤摘要】
一种节能型半导体加工用石英片抛光设备
本技术涉及石英片加工
，特别涉及一种节能型半导体加工用石英片抛光设备。
技术介绍
石英片，是有石英熔炼并切割而成，其中二氧化硅含量可达99.99％以上，在用于半导体之前，需要对其进行加工处理，包括抛光处理，然而，现有的石英片抛光设备使用时有如下缺点：1.固定石英片与抛光处理时，操作不当易发生损坏，抛光效果不佳，2.无法对抛光后的石英片进行切割清洗处理，导致加工效率过低，加工时间过长。为此，我们提出一种节能型半导体加工用石英片抛光设备。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种节能型半导体加工用石英片抛光设备，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种节能型半导体加工用石英片抛光设备，包括工作台、L形支架、抛光支架、清洁箱和推杆，所述工作台的顶部通过螺栓连接有L形支架，所述L形支架顶部的内侧设置有滑轨A，所述抛光支架通过顶部滑块与滑轨A滑动连接，所述抛光支架内的底部设置有抛光电机，所述抛光电机通过驱动轴连接有抛光轮，所述L形支架的内侧位于抛光支架一侧通过螺栓连接有切割支架，所述切割支架内的一侧设置有切割电机，所述切割电机通过驱动轴连接有切刀，所述L形支架的一侧位于抛光支架的底部设置有抛光台，所述抛光台的顶部设置有抛光槽，所述工作台的表面位于抛光台的两侧设置有滑轨B，且抛光台通过滑块与滑轨B滑动连接，所述L形支架的另一侧设置有清洁箱。进一步地，所述抛光台的一侧设置有推杆。进一步地，所述清洁箱的顶部设置有通风孔，所述清洁箱的一侧设置有密封门。进一步地，所述清洁箱内的顶部设置有烘干风机，所述清洁箱内位于烘干风机底部设置有烘干台，所述烘干台的一侧设置有超声波清洗机。进一步地，所述抛光台的顶部通过预留螺纹孔螺纹连接有螺杆，所述螺杆的端部设置有海绵垫,所述抛光槽内设置有海绵。进一步地，所述超声波清洗机的一侧设置有排水管，且排水管贯穿清洁箱，所述排水管的出水端设置有排水阀。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：1、通过设置的抛光台与螺杆，能够将石英片限位固定，通过设置的海绵与海绵垫，能够减缓石英片在抛光处理时，受到的压力，从而降低石英片抛光处理时的损坏率。2、通过设置的切割电机与切刀，能够将抛光后石英片进行切割处理，去除边角料，通过设置的超声波清洗机与烘干风机，能够对石英片进行清洗烘干处理，去除表面碎屑灰尘。附图说明图1为本实用节能型半导体加工用石英片抛光设备整体结构示意图。图2为本实用节能型半导体加工用石英片抛光设备密封门结构示意图。图3为本实用节能型半导体加工用石英片抛光设备抛光台结构示意图。图中：1、工作台；2、L形支架；3、抛光台；4、抛光支架；5、切割支架；6、清洁箱；7、切割电机；8、滑轨A；9、滑轨B；10、抛光电机；11、切刀；12、螺杆；13、抛光槽；14、海绵垫；15、推杆；16、超声波清洗机；17、烘干风机；18、烘干台；19、排水管；20、排液阀；21、通风孔；22、密封门；23、抛光轮；24、海绵。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。如图1-3所示，一种节能型半导体加工用石英片抛光设备，包括工作台1、L形支架2、抛光支架4、清洁箱6和推杆15，所述工作台1的顶部通过螺栓连接有L形支架2，所述L形支架2顶部的内侧设置有滑轨A8，所述抛光支架4通过顶部滑块与滑轨A8滑动连接，所述抛光支架4内的底部设置有抛光电机10，所述抛光电机10通过驱动轴连接有抛光轮23，所述L形支架2的内侧位于抛光支架4一侧通过螺栓连接有切割支架5，所述切割支架5内的一侧设置有切割电机7，所述切割电机7通过驱动轴连接有切刀11，所述L形支架2的一侧位于抛光支架4的底部设置有抛光台3，所述抛光台3的顶部设置有抛光槽13，所述工作台1的表面位于抛光台3的两侧设置有滑轨B9，且抛光台3通过滑块与滑轨B9滑动连接，所述L形支架2的另一侧设置有清洁箱6。其中，所述抛光台3的一侧设置有推杆15。本实施例中如图2所示，通过推杆15，能够便于推动抛光台3移动进行抛光切割处理。其中，所述清洁箱6的顶部设置有通风孔21，所述清洁箱6的一侧设置有密封门22。本实施例中如图2所示，通过通风孔21，保障烘干风机17内空气的流通，能够正常运行工作，通过密封门22，能够将清洁箱6内部密封，以达到更好的清洗烘干效果，还能避免污染工作环境。其中，所述清洁箱6内的顶部设置有烘干风机17，所述清洁箱6内位于烘干风机17底部设置有烘干台18，所述烘干台18的一侧设置有超声波清洗机16。本实施例中如图1所示，通过烘干台18与烘干风机17，能够将清洗后的石英片进行烘干处理，通过超声波清洗机16，能够将抛光后的石英片进行清洗处理。其中，所述抛光台3的顶部通过预留螺纹孔螺纹连接有螺杆12，所述螺杆12的端部设置有海绵垫14,所述抛光槽13内设置有海绵24。本实施例中如图3所示，通过螺杆12，能够将石英片进行限位固定，确保抛光切割过程中的稳定性，通过海绵垫14，能够减少螺杆12与石英片的摩擦力，从而保护石英片的完整性，通过海绵24，能够减缓石英片在抛光过程中受到的振动与压力，从而降低石英片的损坏率。其中，所述超声波清洗机16的一侧设置有排水管19，且排水管19贯穿清洁箱6，所述排水管19的出水端设置有排水阀20。本实施例中如图1所示，通过排水管19，能够将超声波清洗机16清洗处理后的废水排出，通过排水阀20，能够控制排水管19出水端的开关。需要说明的是，本技术为一种节能型半导体加工用石英片抛光设备，在进行抛光处理时，工人手动将石英片放在抛光台3上，调节石英片的位置，接着拧动螺杆12至端部海绵垫14与石英片相接触，将石英片进行限位固定，然后人工开启抛光电机10，抛光电机10通过驱动轴驱动抛光轮23转动，工人推动推杆15至石英片位于抛光轮23底部，对石英片进行抛光处理，工人通过推动抛光支架4，使石英片表面进一步抛光处理，抛光处理结束后，人工开启切割电机7，切割电机7通过驱动轴驱动切刀11转动，工人接着推动推杆15，切刀11对底部的石英片进行切割处理，切割处理结束后，取下石英片放入超声波清洗机16内，人工开启超声波清洗机16对石英片进行清洗，最后将石英片放在烘干台18上，人工开启烘干风机17，对石英片进行烘干处理，能够缩短石英片的加工时间，从而提高加工效率。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种节能型半导体加工用石英片抛光设备，包括工作台(1)、L形支架(2)、抛光支架(4)、清洁箱(6)和推杆(15)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部通过螺栓连接有L形支架(2)，所述L形支架(2)顶部的内侧设置有滑轨A(8)，所述抛光支架(4)通过顶部滑块与滑轨A(8)滑动连接，所述抛光支架(4)内的底部设置有抛光电机(10)，所述抛光电机(10)通过驱动轴连接有抛光轮(23)，所述L形支架(2)的内侧位于抛光支架(4)一侧通过螺栓连接有切割支架(5)，所述切割支架(5)内的一侧设置有切割电机(7)，所述切割电机(7)通过驱动轴连接有切刀(11)，所述L形支架(2)的一侧位于抛光支架(4)的底部设置有抛光台(3)，所述抛光台(3)的顶部设置有抛光槽(13)，所述工作台(1)的表面位于抛光台(3)的两侧设置有滑轨B(9)，且抛光台(3)通过滑块与滑轨B(9)滑动连接，所述L形支架(2)的另一侧设置有清洁箱(6)。/n

【技术特征摘要】
1.一种节能型半导体加工用石英片抛光设备，包括工作台(1)、L形支架(2)、抛光支架(4)、清洁箱(6)和推杆(15)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部通过螺栓连接有L形支架(2)，所述L形支架(2)顶部的内侧设置有滑轨A(8)，所述抛光支架(4)通过顶部滑块与滑轨A(8)滑动连接，所述抛光支架(4)内的底部设置有抛光电机(10)，所述抛光电机(10)通过驱动轴连接有抛光轮(23)，所述L形支架(2)的内侧位于抛光支架(4)一侧通过螺栓连接有切割支架(5)，所述切割支架(5)内的一侧设置有切割电机(7)，所述切割电机(7)通过驱动轴连接有切刀(11)，所述L形支架(2)的一侧位于抛光支架(4)的底部设置有抛光台(3)，所述抛光台(3)的顶部设置有抛光槽(13)，所述工作台(1)的表面位于抛光台(3)的两侧设置有滑轨B(9)，且抛光台(3)通过滑块与滑轨B(9)滑动连接，所述L形支架(2)的另一侧设置有清洁箱(6)。


2.根据权利要求1所述的一种节能型半导体加工...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔凡波，孔涛，
申请(专利权)人：连云港源都石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32