金属遮罩的制造方法技术

本发明专利技术公开一种金属遮罩的制造方法，包括提供成长基板，其具有导电面。接着，在导电面上形成遮盖图案，其具有至少一开口与接触导电面的绝缘表面。接着，以遮盖图案作为屏蔽，进行第一次电铸，在导电面上形成模具部。模具部填入于开口，并具有接触导电面的导电图案表面。导电图案表面与绝缘表面彼此切齐。在进行第一次电铸之后，移除成长基板，保留遮盖图案与模具部。在移除成长基板之后，对模具部的导电图案表面进行第二次电铸，以在导电图案表面上形成金属图案。之后，从金属图案移除模具部与遮盖图案。图案。图案。

【技术实现步骤摘要】
金属遮罩的制造方法


[0001]本专利技术是有关于一种屏蔽的制造方法，特别是有关于一种利用电铸来制造屏蔽的方法。

技术介绍

[0002]现今有的显示面板已使用精细金属遮罩(Fine Metal Mask，FMM)来制造。以有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示面板为例，目前有的有机发光二极管显示面板是采用蒸镀(evaporation)来制造。在蒸镀的过程中，精细金属遮罩会先放置在玻璃板上，并且紧邻玻璃板，以使蒸镀产生的镀料能依照精细金属遮罩的开口图案而沉积在开口图案所暴露的玻璃板上。
[0003]现有精细金属遮罩具有彼此相对的上表面与下表面以及多个从上表面延伸至下表面的开口，其中这些开口形成开口图案。各个开口的孔壁通常实质上垂直于上表面与下表面。因此，在进行蒸镀期间，从蒸镀源而来的镀料能沿着玻璃板法线而移动至玻璃板，从而沉积在开口图案所暴露的玻璃板上。
[0004]然而，由于各个开口的孔壁实质上垂直于上表面与下表面，因此其他不沿着玻璃板法线而朝向玻璃板移动的镀料很多会被开口周边的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属遮罩的制造方法，其特征在于，包括：提供一成长基板，其中该成长基板具有一导电面，而该导电面具有一法线；在该导电面上形成一遮盖图案，其中该遮盖图案为绝缘体，并具有至少一开口以及接触该导电面的一绝缘表面，该至少一开口从该绝缘表面沿着该法线而延伸；以该遮盖图案作为屏蔽，进行一第一次电铸，以在该导电面上形成一模具部，其中该模具部填入于该至少一开口，并具有接触该导电面的一导电图案表面，其中该导电图案表面与该绝缘表面彼此切齐；在进行该第一次电铸之后，移除该成长基板，并保留该遮盖图案与该模具部；在移除该成长基板之后，对该模具部的该导电图案表面进行一第二次电铸，以在该导电图案表面上形成一金属图案；以及在进行该第二次电铸之后，从该金属图案移除该模具部与该遮盖图案。2.根据权利要求1所述的金属遮罩的制造方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：余俊毅，
申请(专利权)人：达运精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：