一种ITO炉炉顶结构制造技术

技术编号:28764754 阅读:27 留言:0更新日期:2021-06-09 10:45
本实用新型专利技术公开了一种ITO炉炉顶结构,包括第一侧墙、第二侧墙、第一挡火棉毯、第二挡火棉毯、高温棉板、高温挡火板、陶瓷杆件、第一吊片、第二吊片、钩件以及钢框架,第一侧墙和第二侧墙支撑的炉顶结构从上到下依次固定设有第一挡火棉毯和第二挡火棉毯,第二挡火棉毯的下方设有多组高温棉板,高温棉板内陶瓷杆件两端设有第一吊片和第二吊片,钩件吊住第一吊片和第二吊片固定于钢框架上。本实用新型专利技术通过该炉顶结构,此种炉顶结构形式较国、内外压缩棉组块结构,烧结产品密度高且使用寿命长,不需要像压缩棉组块结构那样每炉塞补收缩缝。像压缩棉组块结构那样每炉塞补收缩缝。像压缩棉组块结构那样每炉塞补收缩缝。

【技术实现步骤摘要】
一种ITO炉炉顶结构


[0001]本技术涉及ITO炉
,具体为一种ITO炉炉顶结构。

技术介绍

[0002]ITO炉(氧化铟锡靶材炉)是一款用于“靶材”烧制的富氧升降窑炉设备,在大气与氧气气氛下将“靶材”加热到1600℃,随后保温、冷却。
[0003]ITO的氧化铟锡在平板上具有很好的导电性和透明性,它还可切断对人体有害的电子辐射、紫外线及远红外线,是平板显示器制造的重要原料。ITO靶材不仅用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸、有机发光二极管,还用于太阳能电池和抗静电镀膜、EMI屏蔽的透明传导镀膜等,在全球拥有广泛的市场。
[0004]ITO靶材烧结复杂得多,人们把氧化铟和氧化锡粉末按严格的比例混合后,经过一系列生产工艺加工成板或圆筒形状,再经过1600℃高温气氛烧结,形成黑灰色的陶瓷半导体。通常靶材尺寸越大,溅射到平板上的拼缝就越少,价值也越高。
[0005]但就在尺寸的问题上,国内ITO靶材企业一直鲜有突破,而后端的平板显示制造企业也要仰人鼻息。
[0006]烧结大尺寸ITO靶材,需要有大型的烧结炉。国外可以做宽1200毫米、长近3000毫米的单块靶材,国内只能制造不超过800毫米宽的。在1600℃的烧结炉中,靶材烧结周期需要6至7天。高温气氛烧结需要高浓度氧气参与,这项工艺也不易控制。长时间烧,很容易导致产品不均匀,成品率低。目前,也有部分仿制的设备,但耐火材料不过关,难耐烧结工艺所需的烈火考验,烧结炉总体质量差强人意,同时一部分挥发份会透过炉顶裂缝溢出并燃烧,加剧了炉子的破损,降低炉子的使用寿命。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种ITO炉炉顶结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0008]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种ITO炉炉顶结构,包括第一侧墙、第二侧墙、第一挡火棉毯、第二挡火棉毯、高温棉板、高温挡火板、陶瓷杆件、第一吊片、第二吊片、钩件以及钢框架,所述第一侧墙和第二侧墙支撑的炉顶结构从上到下依次固定设有第一挡火棉毯和第二挡火棉毯,所述第二挡火棉毯的下方设有多组高温棉板,所述高温棉板依次等间距的设于所述第一侧墙和第二侧墙之间,所述高温棉板两两之间设有高温挡火板,所述高温棉板内穿设有陶瓷杆件,所述高温棉板内陶瓷杆件两端设有第一吊片和第二吊片,所述高温棉板上方设有钢框架,所述钩件吊住第一吊片和第二吊片固定于所述钢框架上。
[0009]优选的,所述第一挡火棉毯的温度等级低于第二挡火棉毯的温度等级。
[0010]优选的,所述高温棉板的数量≥5组。
[0011]优选的,所述高温挡火板的数量≥4组。
[0012]优选的,所述高温棉板的四周内穿插有加热棒。
[0013]优选的,所述钢框架两端设有垂直的侧框架,所述侧框架固定于第一侧墙和第二侧墙的外表面。
[0014]优选的,所述第一吊片、第二吊片和陶瓷杆件均由耐高温材质制成。
[0015]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0016]本技术通过第一挡火棉毯、第二挡火棉毯、高温棉板以及高温挡火板之间形成的炉顶结构,此种炉顶结构形式较国、内外压缩棉组块结构,烧结产品密度高且使用寿命长,不需要像压缩棉组块结构那样每炉塞补收缩缝,同时耐高温的组件可有效减少挥发份对炉体的损坏,提高炉子寿命;同时通过吊片和钩件固定在钢框架上,增加了炉顶组件的稳定性。
附图说明
[0017]图1为ITO炉炉顶结构前视图;
[0018]图2为ITO炉炉顶结构侧视图;
[0019]图3为ITO炉炉顶结构俯视图。
[0020]图中:1

第一侧墙;2

第二侧墙;3

第一挡火棉毯;4

第二挡火棉毯;5

高温棉板;6

高温挡火板;7

陶瓷杆件;8

第一吊片;9

第二吊片;10

钩件;11

钢框架;12

加热棒;13

侧框架。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1、图2和图3,本技术提供一种技术方案:一种ITO炉炉顶结构,包括第一侧墙1、第二侧墙2、第一挡火棉毯3、第二挡火棉毯4、高温棉板5、高温挡火板6、陶瓷杆件7、第一吊片8、第二吊片9、钩件10以及钢框架11,第一侧墙1和第二侧墙2支撑的炉顶结构从上到下依次固定设有第一挡火棉毯3和第二挡火棉毯4,第一挡火棉毯3的温度等级低于第二挡火棉毯4的温度等级,第二挡火棉毯4的下方设有5组高温棉板5,高温棉板5的数量具体根据炉膛尺寸来决定,高温棉板5依次等间距的设于第一侧墙1和第二侧墙2之间,高温棉板5两两之间设有高温挡火板6,高温挡火板6的数量为4组,高温棉板5的四周内穿插有加热棒12,通过第一挡火棉毯3、第二挡火棉毯4、高温棉板5以及高温挡火板6之间形成的炉顶结构,此种炉顶结构形式较国、内外压缩棉组块结构,烧结产品密度高且使用寿命长,不需要像压缩棉组块结构那样每炉塞补收缩缝,高温棉板5内穿设有陶瓷杆件7,高温棉板5内陶瓷杆件7两端设有第一吊片8和第二吊片9,高温棉板5上方设有钢框架11,钩件10吊住第一吊片8和第二吊片9固定于钢框架11上,第一吊片8、第二吊片9和陶瓷杆件7均由耐高温材质制成,耐高温的组件可有效减少挥发份对炉体的损坏,提高炉子寿命,钢框架11两端设有垂直的侧框架13,侧框架13固定于第一侧墙1和第二侧墙2的外表面,通过吊片和钩件10固定在钢框架11上,增加了炉顶组件的稳定性,侧框架13与钢框架11为一体式结构,侧框架13固定
在侧墙上,从而稳固了钢框架11及其其他组件。
[0023]使用方法
[0024]炉膛内烧结ITO产品烧结温度在1600℃长时保温且其所在的环境纯度达到4K(99.99%),而炉顶的温度最高达1650℃,对于材料的应用更为重要。本炉顶结构采用吊挂结构,在左右的第一侧墙1和第二侧墙2的材料砌筑好后,炉顶从上到下吊挂并固定从低到高温度等级的第一挡火棉毯3和第二挡火棉毯4,然后从两侧到中间依次吊挂大厚度的高温棉板5并在两两高温棉板5间放置高温挡火板6,大厚度的高温棉板5采用雕刻机雕刻,里面穿入耐高温的陶瓷杆件7、第一吊片8和第二吊片9,钩件10吊住第一吊片8和第二吊片9并固定在钢框架11上。
[0025]国内大型ITO烧结炉制造企业鲜有突破,除了产品本身工艺要求外,1600℃烧结炉应用高温材料的纯度和砌筑方式决定能否本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ITO炉炉顶结构,其特征在于:包括第一侧墙(1)、第二侧墙(2)、第一挡火棉毯(3)、第二挡火棉毯(4)、高温棉板(5)、高温挡火板(6)、陶瓷杆件(7)、第一吊片(8)、第二吊片(9)、钩件(10)以及钢框架(11),所述第一侧墙(1)和第二侧墙(2)支撑的炉顶结构从上到下依次固定设有第一挡火棉毯(3)和第二挡火棉毯(4),所述第二挡火棉毯(4)的下方设有多组高温棉板(5),所述高温棉板(5)依次等间距的设于所述第一侧墙(1)和第二侧墙(2)之间,所述高温棉板(5)两两之间设有高温挡火板(6),所述高温棉板(5)内穿设有陶瓷杆件(7),所述高温棉板(5)内陶瓷杆件(7)两端设有第一吊片(8)和第二吊片(9),所述高温棉板(5)上方设有钢框架(11),所述钩件(10)吊住第一吊片(8)和第二吊片(9)固定于所述钢框架...

【专利技术属性】
技术研发人员:于军
申请(专利权)人:南通富热特窑炉有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1