感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法技术方案

一种感应耦合等离子体分析系统，对被供给了测定对象的试料的等离子体的发光状态进行测定，该感应耦合等离子体分析系统具备：光谱仪，其将被设定于等离子体的测定区域中的发光分解为多个波长分量；检测装置，其对被分解后的光的空间分布进行检测；测定装置，其按每一个与至少试料通过测定区域的时间相比较短的测定单位时间，而对被检测出的空间分布进行测定。定。定。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法


[0001]本专利技术涉及本专利技术涉及感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法。

技术介绍

[0002]在将等离子体用于原子化源或者离子化源的感应耦合等离子体(ICP：Inductively Coupled Plasma)发光分析装置中，将试料供给至等离子体源而进行等离子体化(激发)，并根据对来自等离子体的光进行波长分解而获得的发光光谱而进行试料的分析。
[0003]在日本特开JP2002/5837A中，提出了一种分光分析装置，所述分光分析装置通过光谱仪使来自等离子体的光分光，通过多个CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合器件)光检测器而以与等离子体上的位置对应的方式进行检测，并根据该检测结果而对按等离子体上的每一个位置的发光强度的分布进行检测。

技术实现思路

[0004]然而，在专利文献1的分光分析装置中，存在以下问题，即，无法确定作为本来的分析对象的试料的等离子体中的位置，难以从所获得的发光强度分布中适当地去除噪声(由试料以外的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种感应耦合等离子体分析系统，对被供给了测定对象的试料的等离子体的发光状态进行测定，其特征在于，具备：光谱仪，其将被设定于所述等离子体的测定区域中的发光分解为多个波长分量；检测装置，其对被分解后的光的空间分布进行检测；测定装置，其按每一个与至少所述试料通过所述测定区域的时间相比较短的测定单位时间，而对被检测出的所述空间分布进行测定。2.如权利要求1所述的感应耦合等离子体分析系统，其中，所述测定装置包括按每一个所述测定单位时间拍摄所述空间分布而生成时间序列图像的图像生成单元。3.如权利要求2所述的感应耦合等离子体分析系统，其中，所述测定装置还包括以使所述空间分布与所述时间序列图像的图像坐标对应的方式而求出光强度分布的图像解析单元。4.如权利要求2或3所述的感应耦合等离子体分析系统，其中，所述检测装置由图像增强器构成，所述图像增强器一边放大由所述光谱仪分解后的光，一边将所述空间分布作为二维图像而进行检测，所述图像生成单元由高速摄像头构成，所述高速摄像头能够对实现按每一个针对所述二维图像的所述测定单位时间的拍摄的帧率进行设定。5.如权利要求1～4中任一项所述的感应耦合等离子体分析系统，其中，还具备将所述试料间歇性地供给至所述等离子体的试料等离子体间歇供给装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：寺本庆之，胁坂昭弘，
申请(专利权)人：国立研究开发法人产业技术综合研究所，
类型：发明
国别省市：