【技术实现步骤摘要】
钙钛矿层的形成方法以及包含钙钛矿层的结构的形成方法
[0001]本公开是有关于一种钙钛矿(perovskite)层的形成方法以及包含钙钛矿层的结构的形成方法。
技术介绍
[0002]由于钙钛矿材料为良好的光电材料，因而被广泛地应用在太阳能电池中。一般来说，在将钙钛矿层形成于基板上的过程中，会先将钙钛矿前驱物材料涂布于基板上，然后利用设置于基板下方的加热板对基板进行加热，以使钙钛矿前驱物材料中的溶剂挥发并使钙钛矿前驱物产生反应而形成钙钛矿层。
[0003]然而，当钙钛矿材料大面积量产时，利用加热板自基板的下方提供能量会造成加热温度不均匀的问题，因而导致所形成的钙钛矿层的质量不佳。此外，在太阳能电池的工艺中，欲在钙钛矿层上形成电洞传输层(hole transport layer，HTL)时，由于溅镀工艺会对钙钛矿层造成损害，因此并不容易使用无机层来作为钙钛矿层上的电洞传输层。
[0004]公开内容
[0005]本公开提供一种钙钛矿层的形成方法，其对钙钛矿前驱物材料进行加热与红外光照射来形成钙钛矿层。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种钙钛矿层的形成方法，包括：在基板上涂布钙钛矿前驱物材料；对所述基板进行加热处理；以及对所述钙钛矿前驱物材料进行红外光照射。2.根据权利要求1所述的钙钛矿层的形成方法，其中所述加热处理在所述红外光照射之前进行。3.根据权利要求1所述的钙钛矿层的形成方法，其中所述加热处理与所述红外光照射同时进行。4.根据权利要求1或3所述的钙钛矿层的形成方法，还包括对所述钙钛矿前驱物材料进行紫外光照射，其中所述紫外光照射在所述加热处理的期间进行，且所述红外光照射的结束时间不晚于所述紫外光照射的结束时间。5.根据权利要求4所述的钙钛矿层的形成方法，其中所述紫外光照射使用波长介于320nm至400nm之间的紫外光。6.根据权利要求5所述的钙钛矿层的形成方法，其中所述紫外光照射的时间不超过600秒。7.根据权利要求1所述的钙钛矿层的形成方法，其中所述加热处理的温度介于60℃至150℃之间。8.根据权利要求1或7所述的钙钛矿层的形成方法，其中所述加热处理的时间介于30分钟至1小时之间。9.根据权利要求1所述的钙钛矿层的形成方法，其中所述红外光照射使用波长介于700nm至1400nm之间红外光。10.根据权利要求1或9所述的钙钛矿层的形成方法，其中所述红外光照射的时间介于20秒至30分钟之间。11.根据权利要求1所述的钙钛矿层的形成方法，其中涂布所述钙钛矿前驱物材料的方法包括刮刀涂布法、狭缝式涂布或喷涂。12.一种包含钙钛矿层的结构的形成方法，包括：在基板上形成...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴世雄，童永樑，黄国玮，邱培庭，许弘儒，林家名，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：
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