液刀及清洗方法技术

本公开提供一种液刀及清洗方法。具体地，所述液刀包括：液刀本体，包括注液通道和与所述注液通道连通的狭缝，并被配置为液体经由所述注液通道注入并经所述狭缝流出；以及超声发生器，设置于所述液刀本体上，并被配置为对流经所述狭缝的液体施加超声波，以清洁所述狭缝。通过在液刀本体上设置超声发生器，利用超声波对狭缝进行清洁，从而保障液体经由所述液刀的狭缝形成的水帘的均匀性，进而避免产品不良，提高产品品质及性能。提高产品品质及性能。提高产品品质及性能。

【技术实现步骤摘要】
液刀及清洗方法


[0001]本公开涉及显示
，尤其涉及一种液刀及清洗方法。

技术介绍

[0002]在薄膜晶体管制备工艺中，湿法蚀刻及洗净工艺设备需要通过液刀对基板进行预润湿、清洗作用，旨在使化学溶液、超纯水能够均匀的涂布于基板表面，保证基板表面化学反应、洗净均一性。在设备实际生产过程中，由于液刀刀口位置狭缝(slit)较小，以及刀口微观形貌存在缺陷，容易发生微粒附着或结晶的状况，阻塞刀口，导致水帘在对应位置处出现分叉或流量减小等情况，影响化学反应、洗净的均一性，导致产品出现明暗不均(Mura)或蚀刻不良，最终影响产品品质及性能。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本公开实施例的目的在于提出一种液刀及清洗方法，以解决现有液刀存在的技术问题。
[0004]基于上述目的，第一方面，本公开实施例提供了一种液刀，包括：
[0005]液刀本体，包括注液通道和与所述注液通道连通的狭缝，并被配置为液体经由所述注液通道注入并经所述狭缝流出；以及
[0006]超声发生器，设置于所述液刀本体上，并被配置为对流经所述狭缝本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液刀，其特征在于，包括：液刀本体，包括注液通道和与所述注液通道连通的狭缝，并被配置为液体经由所述注液通道注入并经所述狭缝流出；以及超声发生器，设置于所述液刀本体上，并被配置为对流经所述狭缝的液体施加超声波，以清洁所述狭缝。2.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，多个所述超声发生器沿所述液刀本体的长度方向等间隔设置且作用范围覆盖所述狭缝。3.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述超声发生器的数量根据所述液刀本体的长度以及所述超声发生器的功率确定。4.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，还包括：限位件，包括用于放置所述超声发生器的凸起部；以及连接件，被配置为连接所述限位件和液刀本体，使得所述超声发生器贴紧所述液刀本体。5.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述超声发生器表面具有聚四氟乙烯涂层。6.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，还包括：采样组件，被配置为采集所述液体经由所述狭缝形成的水帘的状态信息；以及控制组件，被配置为根据所述状态信息控制所述超声发生器的工作状态。7.根据权利要求6所述的液刀，其特征在于，所述采样组件包括：压力探针，被配置为采集所述水帘的水压信息；转向机构，连接所述压力探针且被配置为调整所述压力探针相对所述水帘的流动路径的距离；以及移动机构，连接所述转向机构且被配置为驱动所述转向机构沿所述液刀本体的长度方向移动。8.根据权利要求7所述的液刀，其特征在于，所述转向机构包括第一连接杆、第二连接杆和转向件；所述第一连接杆和所述第二连接杆分别连接所述压力探针和所述移动机构，所述转向件用于调整所述第一连接杆和所述第二连接杆之间的角度。9.根据权利要求7所述的液刀，其特征在于，所述移动机构包括：导轨，延伸方向与所述液刀本体的长度方向平行；以及驱动件，设置于所述导轨上且连接所述转向机构，被配置为驱动所述转向机构沿所述导轨移动。10.一种液刀的清洗方法，其特征在于，所述液刀包括超声发生器和采样组件，所述清洗方法，包括：利用采样组件获取液体经由所述液刀的狭缝形成的水帘的状态信息；根据所述状态信息确定所述液...

【专利技术属性】
技术研发人员：李多，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：