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一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置制造方法及图纸

技术编号:28742057 阅读:6 留言:0更新日期:2021-06-06 16:18
本发明专利技术涉及一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,包括,固定箱、固定板、驱动机构和移动机构,所述驱动机构包括电机、转杆、搅拌组件、从动组件和震动组件,所述移动机构包括气泵、出气管、进气管、单向阀、连杆和抵靠板,该酸洗效果好的单晶硅搅拌装置移动机构和驱动机构实现对主体的多级搅拌,提高搅拌效果,这里当抵靠板与出水管分离时,通过出气管向着固定箱内部顶端的吹气,使得固定箱内部位于固定板上的主体再次的被吹起,使得主体更好的与稀硝酸混合,提高了使用的实用性。提高了使用的实用性。提高了使用的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置


[0001]本专利技术特别涉及一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置。

技术介绍

[0002]单晶硅片在生产过程中需要进行酸洗过程,即通过稀硝酸对单晶硅料进行酸洗,去除表面杂质及提炼时产生的四氯化硅,目前单晶硅酸洗过程中单晶硅料和稀硝酸的接触不够充分,导致酸洗效果低,影响后续工艺。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置。
[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,包括固定箱、固定板、驱动机构和移动机构,所述固定箱竖向设置,所述固定板水平设置在固定箱内,所述驱动机构和移动机构均设置在固定箱内;
[0005]所述驱动机构包括电机、转杆、搅拌组件、从动组件和震动组件,所述电机竖向朝上设置在固定箱内部的底端,所述转杆竖向设置在固定板上,所述转杆的底端通过固定板安装在电机上;
[0006]所述搅拌组件设置在转杆上,所述搅拌组件位于固定板的上方,所述搅拌组件包括搅拌杆、移动环、滑块、轴承和弹簧,所述轴承套设在转杆的顶端,所述移动环套设在转杆上,所述移动环与转杆滑动连接,所述转杆上设有竖向限位槽,所述滑块位于限位槽内,所述滑块与限位槽滑动连接,所述滑块远离限位槽的一端与移动环的内圈连接,所述移动环通过滑块与限位槽滑动连接,所述弹簧设置在轴承和移动环之间,所述弹簧套设在转杆上,所述弹簧的一端与移动环连接,所述弹簧的另一端与轴承的内圈连接,所述搅拌杆有两根,两根搅拌杆分别设置在移动杆的两侧,两根搅拌杆关于转杆的轴线对称设置;
[0007]所述震动组件有两个,两个震动组件分别设置在轴承的两侧,两个震动组件关于轴承的轴线对称设置,所述震动组件包括半圆形滤网板和支杆,所述滤网板的圆心位于转杆上,所述滤网板水平设置在轴承的一侧,所述滤网板靠近转杆的一侧设有半圆形凹槽,所述支杆设置在凹槽和滤网板之间,所述支杆的一端与凹槽的内壁铰接,所述支杆的另一端与轴承的外圈铰接;
[0008]所述从动组件有两个,两个从动组件分别设置在两根搅拌杆上,两个从动组件关于转杆对称设置,所述从动组件包括套环、滑动杆、连接环和从动单元,所述套环套设在搅拌杆上,所述套环与搅拌杆滑动连接,所述连接环设有滤网板远离转杆的一侧,所述滑动杆竖向设置在连接环上,所述滑动杆的底端通过连接环与套环的外圈连接,所述滑动杆与连接环滑动连接;
[0009]所述从动单元设置在固定箱内部的顶端,所述从动单元包括螺纹筒、丝杆、从动杆和轴承座,所述固定箱顶端的内壁上设有环形定位槽,所述定位槽内设有滑动块,所述轴承
座设置在滑块的上,所述轴承座通过滑动块与定位槽滑动连接,所述定位槽的截面为燕尾形,所述螺纹筒竖向设置在轴承座的下方,所述丝杆竖向设置在滑动杆和螺纹筒之间,所述丝杆与滑动杆同轴设置,所述丝杆与螺纹筒同轴设置,所述螺纹筒的底端设有与丝杆相匹配的内螺纹孔,所述丝杆的底端与滑动杆的顶端连接,所述丝杆的顶端位于螺纹孔内,所述丝杆与螺纹孔螺纹连接,所述螺纹筒的顶端通过轴承座与定位槽连接,所述从动杆有若干根,各从动杆沿着螺纹筒的外圈周向均匀设置;
[0010]所述移动机构设置在电机的一侧,所述移动机构包括气泵、出气管、进气管、单向阀、连杆和抵靠板,所述气泵设置在电机的一侧,所述出气管设置在气泵的上方,所述出气管的一端与气泵连通,所述出气管的另一端通过固定板与固定箱的顶端的内部连通,所述进气管设置在固定箱的一侧,所述进气管的一端通过固定箱底端的一侧与气泵连通,所述进气管的另一端通过固定箱顶端的一侧与固定箱内部的顶端连通,所述单向阀设置在出气管远离气泵的一端内,所述抵靠板设置在固定板上,所述抵靠板位于出气管的正上方,所述抵靠板与固定板滑动连接,所述连杆设置在搅拌杆和抵靠板之间,所述抵靠板通过连杆与搅拌杆连接。
[0011]为了实现对内螺纹的保护,所述内螺纹孔内设有牙套。
[0012]为了实现对滤网的回复,所述支杆与轴承的铰接处设有扭簧。
[0013]为了实现对固定箱内壁的清洁,所述搅拌杆远离转杆的一侧设有竖向刮板,所述刮板的一端与固定箱的内壁抵靠,所述刮板的另一端与搅拌杆远离转杆的一端连接。
[0014]为了实现对滑动杆的回复,所述管板和滑动杆之间设有拉绳,所述拉绳的一端与滑动杆连接,所述拉绳的另一端与刮板连接。
[0015]为了减少摩擦,使得抵靠板更好的与固定板滑动,所述抵靠板靠近固定板的一端为镜面。
[0016]为了更好的滑动,所述滑动杆上涂有铬。
[0017]为了增加牢固度,提高使用寿命,所述丝杆和滑动杆为一体成型结构。
[0018]为了便捷,所述电机为伺服电机。
[0019]为了防止腐蚀,提高使用寿命,所述固定箱上涂有防腐镀锌层。
[0020]本专利技术的有益效果是,该酸洗效果好的单晶硅搅拌装置通过移动机构和驱动机构的配合实现对主体的搅拌,与现有的移动机构相比,该移动机构通过电机的转动实现对搅拌杆的转动,实现对主体的一级搅拌,通过移动机构的配合,实现对搅拌杆的上下移动和转动,实现对主体的二级搅拌,同时搅拌杆的移动驱动滑动杆在连接环内移动,从而实现对从动单元的运行,实现对主体的三级搅拌,因这里的滤网板是与轴承铰接的,所以这里滑动杆在连接环内移动时会使得滤网板产生细微的震动,同时驱动滤网板转动,实现对主体的四级搅拌,同时通过转动的离心力防止主体粘附在滤网板上,而且这里当抵靠板与出水管分离时,通过出气管向着固定箱内部顶端的吹气,使得固定箱内部位于固定板上的主体再次的被吹起,使得主体更好的与稀硝酸混合,实现对主体的五级搅拌,提高搅拌效果,提高了使用的实用性。
附图说明
[0021]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。
[0022]图1是本专利技术的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置的结构示意图;
[0023]图2是本专利技术的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置套环和滑块的连接结构示意图;
[0024]图3是图1的A部放大图;
[0025]图4是本专利技术的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置轴承和震动组件的连接结构示意图;
[0026]图5是本专利技术的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置从动单元的结构示意图;
[0027]图中:1.固定箱,2.固定板,3.搅拌杆,4.移动环,5.滑块,6.轴承,7.弹簧,8.滤网板,9.支杆,10.套环,11.滑动杆,12.连接环,13.螺纹筒,14.丝杆,15.从动杆,16.轴承座,17.滑动块,18.气泵,19.出气管,20.进气管,21.单向阀,22.连杆,23.抵靠板,24.刮板,25.拉绳,26.电机,27.转杆。
具体实施方式
[0028]现在结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本专利技术的基本结构,因此其仅显示与本专利技术有关的构成。
[0029]如图1所示,一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,包括固定箱1、固定板2、驱动机构和移动机本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,其特征在于,包括固定箱(1)、固定板(2)、驱动机构和移动机构,所述固定箱(1)竖向设置,所述固定板(2)水平设置在固定箱(1)内,所述驱动机构和移动机构均设置在固定箱(1)内;所述驱动机构包括电机(26)、转杆(27)、搅拌组件、从动组件和震动组件,所述电机(26)竖向朝上设置在固定箱(1)内部的底端,所述转杆(27)竖向设置在固定板(2)上,所述转杆(27)的底端通过固定板(2)安装在电机(26)上;所述搅拌组件设置在转杆(27)上,所述搅拌组件位于固定板(2)的上方,所述搅拌组件包括搅拌杆(3)、移动环(4)、滑块(5)、轴承(6)和弹簧(7),所述轴承(6)套设在转杆(27)的顶端,所述移动环(4)套设在转杆(27)上,所述移动环(4)与转杆(27)滑动连接,所述转杆(27)上设有竖向限位槽,所述滑块(5)位于限位槽内,所述滑块(5)与限位槽滑动连接,所述滑块(5)远离限位槽的一端与移动环(4)的内圈连接,所述移动环(4)通过滑块(5)与限位槽滑动连接,所述弹簧(7)设置在轴承(6)和移动环(4)之间,所述弹簧(7)套设在转杆(27)上,所述弹簧(7)的一端与移动环(4)连接,所述弹簧(7)的另一端与轴承(6)的内圈连接,所述搅拌杆(3)有两根,两根搅拌杆(3)分别设置在移动杆的两侧,两根搅拌杆(3)关于转杆(27)的轴线对称设置;所述震动组件有两个,两个震动组件分别设置在轴承(6)的两侧,两个震动组件关于轴承(6)的轴线对称设置,所述震动组件包括半圆形滤网板(8)和支杆(9),所述滤网板(8)的圆心位于转杆(27)上,所述滤网板(8)水平设置在轴承(6)的一侧,所述滤网板(8)靠近转杆(27)的一侧设有半圆形凹槽,所述支杆(9)设置在凹槽和滤网板(8)之间,所述支杆(9)的一端与凹槽的内壁铰接,所述支杆(9)的另一端与轴承(6)的外圈铰接;所述从动组件有两个,两个从动组件分别设置在两根搅拌杆(3)上,两个从动组件关于转杆(27)对称设置,所述从动组件包括套环(10)、滑动杆(11)、连接环(12)和从动单元,所述套环(10)套设在搅拌杆(3)上,所述套环(10)与搅拌杆(3)滑动连接,所述连接环(12)设有滤网板(8)远离转杆(27)的一侧,所述滑动杆(11)竖向设置在连接环(12)上,所述滑动杆(11)的底端通过连接环(12)与套环(10)的外圈连接,所述滑动杆(11)与连接环(12)滑动连接;所述从动单元设置在固定箱(1)内部的顶端,所述从动单元包括螺纹筒(13)、丝杆(14)、从动杆(15)和轴承座(16),所述固定箱(1)顶端的内壁上设有环形定位槽,所述定位槽内设有滑动块(17),所述轴承座(16)设置在滑块(5)的上,所述轴承座(16)通过滑动块(17)与定位槽滑动连接,所述定位槽的截面为燕尾形,所述螺纹筒(13)竖向设置在轴承座(16)的下方,所述丝杆...

【专利技术属性】
技术研发人员:张斌
申请(专利权)人:张斌
类型:发明
国别省市:

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