【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体工艺中的智能图像跟踪系统
[0001]本专利技术涉及一种半导体工艺中的智能图像跟踪系统，更具体地，涉及一种支持用户能够跟踪从作为半导体工艺的处理对象的晶片、批次等投入到构成半导体装置的子装置中直到半导体工艺完成为止的整个工艺的半导体工艺中的智能图像跟踪系统。
技术介绍
[0002]通常，半导体工艺以连续执行子工艺的方式进行，并且半导体装置可以说是用于构成整个半导体工艺的子工艺的装置的集合。
[0003]由于半导体工艺是多个子工艺的集合，因此有必要与工艺管理相关联地跟踪在整个半导体工艺中的哪个步骤中处理特定晶片或容纳该晶片的批次。
[0004]根据与半导体工艺管理相关联的现有的图像记录方法，在可以捕获构成整个半导体装置的子装置的处理操作的位置处设置多个相机，并且由相机捕获的图像可以仅与相机的ID匹配而进行存储。
[0005]然而，根据现有技术，当用户想要查询作为半导体工艺的对象的特定晶片的当前状态时，如果在多个相机中输入特定相机的ID，则由于图像记录装置只是向用户显示由相应相机捕获的个别图像，因此...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种半导体工艺中的智能图像跟踪系统，所述智能图像跟踪系统包括：图像捕获单元，其包括布置在半导体装置的多个点处的相机，以捕获由所述半导体装置执行的对对象进行的处理过程；装置控制器，其被配置为控制所述半导体装置的操作并发送对象识别信息、所述对象的映射到时间信息的位置信息、以及指示所述半导体装置的当前操作状态的操作状态信息，其中所述对象识别信息是用于识别所述对象的信息；以及网络图像记录设备，其被配置为执行控制以将相机识别信息添加到从所述图像捕获单元接收到的图像信息中并将添加有所述相机识别信息的所述图像信息存储在图像数据库中，并且被配置为执行控制以将从所述装置控制器接收到的包括所述对象识别信息、所述对象的映射到所述时间信息的位置信息以及所述操作状态信息的跟踪信息存储到跟踪数据库中，其中，所述相机识别信息用于识别捕获所述图像信息的相机。2.根据权利要求1所述的半导体工艺中的智能图像跟踪系统，其中，所述网络图像记录设备被配置为执行控制，以通过根据用户输入的搜索条件将存储在所述跟踪数据库中的所述跟踪信息与存储在所述图像数据库中的添加有...
【专利技术属性】
技术研发人员：裵允晟，裵坰洙，洪光珍，李秀昌，金珉成，李昌雨，
申请(专利权)人：格林资讯及通信有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。