【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于自动映射基板上的流动对象的方法和系统
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2018年10月19日提交的美国专利申请No.16/164,990的优先权，该申请的全部内容通过引用并入本文。
[0003]本公开的实施例涉及自动映射基板上的流动对象。
技术介绍
[0004]检查材料的均匀性和异常检测在从制造到科学到生物学的学科范围中是重要的。检查通常采用显微镜检查系统来检验和测量基板(例如，晶片)上的电子对象或安装在载玻片上的生物样品的特征。如本领域普通技术人员所理解的样品是指检验的物品(例如，晶片或生物载玻片)。基板上的电子对象可以包括诸如晶体管、电阻器、电容器、集成电路、微芯片等的器件。生物样品通常被安装在载玻片上以进行显微镜检查。如本领域普通技术人员所理解的，对象具有如说明书中所提供和如权利要求书中所记载的广泛含义，并且可以指基板上的电子对象或在安装在载玻片上的生物样品中发现的诸如细胞、组织等的生物对象等。尽管以下描述涉及检验本质上是电相关的基板上的对象，但是本文描述的自动映射可用于检验...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种使用显微镜检查系统来映射基板上的流动对象的方法，包括：提供包括显微镜系统和计算机分析系统的显微镜检查系统，其中，所述显微镜系统包括光源、成像设备、台以及控制模块，所述台用于移动设置在所述台上的基板，以及其中，所述计算机分析系统包括对象识别模块；以及使用所述显微镜检查系统执行所述基板的扫描；使用包括人工智能与图像处理算法的算法、网络、机器和系统，针对所述基板上的对象中的每个，识别所述基板上的对象位置，所述基板上的对象位置包括一组X、Y和θ坐标，其中，所述对象中的至少一个是流动的，并且已经从先前位置移位或从先前尺寸变形；以及生成反映所述对象中的每个的位置和所述对象中的每个的移位量或变形量的对象映射信息，其中，生成对象映射信息的步骤是使用包括人工智能与图像处理算法的算法、网络、机器和系统自动完成的。2.根据权利要求1所述的方法，还包括：对准所述台、所述成像设备和对象，以反映已经移位的至少一个对象的位置。3.根据权利要求1所述的方法，其中，生成对象映射信息包括：生成对象布局图。4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述对象包括基板上的电子对象或诸如在安装在载玻片上的生物样品中发现的细胞、组织等的生物对象。5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述计算机分析系统还包括对象布局预测模块。6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述显微镜系统还包括低分辨率物镜和高分辨率物镜。7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述对象识别模块被配置为从所述显微镜系统接收所述基板的低分辨率扫描或高分辨率扫描。8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述对象识别模块被配置为使用计算机视觉、一个或更多个人工智能算法和/或计算机算法来检测所接收的低分辨率扫描或高分辨率扫描中的一个或更多个对象。9.根据权利要求7所述的方法，其中，所述对象识别模块能够对所接收的基板扫描应用图像处理算法，并且针对所述基板上的每个对象来：i)检测所述对象、ii)确定对象类型、iii)确定取向、iv)识别成像对准位置、和/或v)识别开始扫描位置，以及其中，所述对象识别模块能够使用与所述基板上的参考点有关的所述对象映射信息来确定以下各项的X、Y、θ坐标：i)所述基板上的每个对象、ii)基板上的每个对象的成像对准位置、和/或iii)所述基板上的每个对象的开始扫描位置。10.一种使用显微镜检查系统来映射基板上的流动对象的方法，包括：提供包括显微镜系统和计算机分析系统的显微镜检查系统，其中，所述显微镜系统包括光源、成像设备、台以及控制模块，所述台用于移动设置在所述台上的基板，以及其中，所述计算机分析系统包括对象识别模块和对象布局预测模块；以及使用所述显微镜检查系统执行所述基板的扫描；
使用包括人工智能与图像处理算法的算法、网络、机器和系统，针对所述基板上的对象中的每个，识别所述基板上的对象位置，所述基板上的对象位置包括一组X、Y和θ坐标，其中，所述对象中的至少一个是流动的，并且已...
【专利技术属性】
技术研发人员：马修，
申请(专利权)人：纳米电子成像有限公司，
类型：发明
国别省市：
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