透光性层叠体、触摸传感器和图像显示装置制造方法及图纸

透光性薄膜1朝着厚度方向的一侧依次具备透光性基材薄膜2和透光性导电层3。透光性导电层3朝着厚度方向的一侧依次具备第一无机氧化物层4、金属层5和第二无机氧化物层。第二无机氧化物层6朝着厚度方向的一侧依次具有含有铟和锌的第一区域31以及不含锌的第二区域32。第一区域31中的锌的摩尔数小于铟的摩尔数。一区域31中的锌的摩尔数小于铟的摩尔数。一区域31中的锌的摩尔数小于铟的摩尔数。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】透光性层叠体、触摸传感器和图像显示装置


[0001]本专利技术涉及透光性层叠体、触摸传感器和图像显示装置。

技术介绍

[0002]以往，已知透明导电体薄膜被用于触摸传感器等光学用途。
[0003]例如，提出了依次具有透明基板、第一折射率调整层组、透明金属层和第二折射率调整层组的透明导电体薄膜(例如参照下述专利文献1)。第一折射率调整层组依次具备第一高折射率层和抗硫化层。第二折射率调整层组依次具备第二高折射率层和第三高折射率层。
[0004]具体而言，专利文献1中公开了一种透明导电体薄膜，其依次具备：由聚对苯二甲酸乙二醇酯形成的透明基板、由ZnSSiO2形成的第一高折射率层、由IGZO形成的抗硫化层、由Ag形成的透明金属层、由IGZO形成的第二高折射率层和由ITO形成的第三高折射率层。专利文献1的透明导电体薄膜中，第一折射率调整层组、透明金属层和第二折射率调整层组在俯视下均图案化成相同的电极形状。
[0005]对于专利文献1所述的透明导电体薄膜，通过抗硫化层和第二高折射率层所含有的Zn，能够抑制经图案化的透明金属层的端面的由Ag的腐蚀引起的变色。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：日本特开2016
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81318号公报

技术实现思路

[0009]专利技术要解决的问题
[0010]然而，对于透明导电体薄膜的电极而言，要求高温高湿气氛下的电阻的变化率受到抑制，即要求优异的耐热耐湿性。
[0011]但是，专利文献1所述的透明导电体薄膜无法满足上述要求。
[0012]本专利技术提供既能够抑制金属层的变色且透光性导电层的耐热耐湿性也优异的透光性层叠体、具备其的触摸传感器和图像显示装置。
[0013]用于解决问题的方案
[0014]本专利技术(1)包括一种透光性层叠体，其朝着厚度方向的一侧依次具备透光性构件和透光性导电层，前述透光性导电层朝着厚度方向的一侧依次具备第一无机氧化物层、金属层和第二无机氧化物层，前述第二无机氧化物层朝着厚度方向的一侧依次具有：含有铟和锌的第一区域、以及不含锌的第二区域，前述第一区域中的锌的摩尔数小于铟的摩尔数。
[0015]本专利技术(2)包括一种透光性层叠体，其朝着厚度方向的一侧依次具备透光性导电层和转印用基材，前述透光性导电层朝着厚度方向的一侧依次具备第一无机氧化物层、金属层和第二无机氧化物层，前述第二无机氧化物层朝着厚度方向的一侧依次具有：含有铟和锌的第一区域、以及不含锌的第二区域，前述第一区域中的锌的摩尔数小于铟的摩尔数。
[0016]本专利技术(3)包括(1)或(2)所述的透光性层叠体，其中，在前述第一区域中，锌相对于铟100摩尔的摩尔数为10摩尔以上且30摩尔以下。
[0017]本专利技术(4)包括(1)～(3)中任一项所述的透光性层叠体，其中，前述第二区域的厚度相对于前述第一区域的厚度之比为0.3以上且5以下。
[0018]本专利技术(5)包括(1)～(4)中任一项所述的透光性层叠体，其中，前述第二区域含有铟和锡。
[0019]本专利技术(6)包括(1)～(5)中任一项所述的透光性层叠体，其中，前述第二区域含有铟
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锡氧化物。
[0020]本专利技术(7)包括(1)～(6)中任一项所述的透光性层叠体，其中，前述第一区域含有铟
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锌氧化物。
[0021]本专利技术(8)包括(1)～(7)中任一项所述的透光性层叠体，其中，前述第一无机氧化物层含有铟和锌。
[0022]本专利技术(9)包括(1)～(8)中任一项所述的透光性层叠体，其中，前述第一无机氧化物层含有铟
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锌氧化物。
[0023]本专利技术(10)包括(1)～(9)中任一项所述的透光性层叠体，其中，前述金属层含有银。
[0024]本专利技术(11)包括(1)～(10)中任一项所述的透光性层叠体，其中，前述透光性导电层进行了图案化。
[0025]本专利技术(12)包括一种触摸传感器，其具备(11)所述的透光性层叠体。
[0026]本专利技术(13)包括一种图像显示装置，其具备(12)所述的触摸传感器。
[0027]专利技术的效果
[0028]本专利技术的透光性层叠体中，金属层进行了图案化，其端面露出，即便呈现金属层的材料会腐蚀的环境，与金属层对应的第一区域中含有的锌也能够抑制金属层的变色。
[0029]此外，在该透光性层叠体中，透光性导电层朝着厚度方向的一侧依次具有含有铟和锌的第一区域以及不含锌的第二区域，第一区域中的锌的摩尔数小于铟的摩尔数。
[0030]因此，能够利用第二区域来抑制由第一区域所含的锌与水的反应引起的透光性导电层的电阻变化。
[0031]其结果，在该透光性层叠体中，既能够抑制金属层的变色，透光性导电层的耐热耐湿性又优异。
[0032]本专利技术的触摸传感器和图像显示装置中，既能够抑制经图案化的金属层的变色，经图案化的透光性导电层的耐热耐湿性又优异。
附图说明
[0033]图1示出本专利技术的透光性层叠体的一个实施方式、即透光性薄膜的剖视图。
[0034]图2A～图2C是对图1所示的透光性薄膜的透光性导电层进行图案化而形成布线的工序的剖视图，图2A是在透光性导电层配置抗蚀层的工序，图2B是对从抗蚀层露出的透光性导电层进行蚀刻来图案化的工序，图2C是剥离抗蚀层，借助第一压敏粘接构件对透光性薄膜贴附透光性保护构件的工序。
[0035]图3示出图1所示的透光性薄膜的变形例(不具备保护层的方式)的剖视图。
[0036]图4示出图1所示的透光性薄膜的变形例(第一层与第二层的区分不明显的方式)的剖视图。
[0037]图5A示出本专利技术的透光性层叠体的变形例的带转印用基材的透光性导电层以及带保护层的透光性基材薄膜的剖视图。图5B示出将带转印用基材的透光性导电层贴附于带保护层的透光性基材薄膜的工序。
[0038]图6A～图6E是说明实施例的“布线的电阻变化”的评价的俯视图和剖视图，图6A是将抗蚀层配置于透光性导电层的俯视图，图6B是对从抗蚀层露出的透光性导电层进行蚀刻来图案化并剥离抗蚀层的俯视图，图6C是配置第二压敏粘接构件的俯视图，图6D是配置银糊剂的俯视图，图6E示出沿着图6D的X
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X线的剖视图。
具体实施方式
[0039]<一个实施方式>
[0040]参照图1来说明作为本专利技术的透光性层叠体的一个实施方式的透光性薄膜。
[0041]如图1所示那样，透光性薄膜1具有与厚度方向相对的一面和另一面，并具有在与厚度方向正交的面方向上延伸的大致薄膜(片)形状。
[0042]透光性薄膜1朝着厚度方向的一侧依次具备透光性基材薄膜2、保护层9和透光性导电层3。具体而言，透光性薄膜1具备透光性基材薄膜2、在其厚度方向的一面配置的保护层9、以及在其厚度方向的一面配置的透光性导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种透光性层叠体，其特征在于，其朝着厚度方向的一侧依次具备透光性构件和透光性导电层，所述透光性导电层朝着厚度方向的一侧依次具备第一无机氧化物层、金属层和第二无机氧化物层，所述第二无机氧化物层朝着厚度方向的一侧依次具有：含有铟和锌的第一区域；以及不含锌的第二区域，所述第一区域中的锌的摩尔数小于铟的摩尔数。2.一种透光性层叠体，其特征在于，其朝着厚度方向的一侧依次具备透光性导电层和转印用基材，所述透光性导电层朝着厚度方向的一侧依次具备第一无机氧化物层、金属层和第二无机氧化物层，所述第二无机氧化物层朝着厚度方向的一侧依次具有：含有铟和锌的第一区域；以及不含锌的第二区域，所述第一区域中的锌的摩尔数小于铟的摩尔数。3.根据权利要求1所述的透光性层叠体，其特征在于，所述第一区域中，锌相对于铟100摩尔的摩尔数为10摩尔以上且30摩尔以下。4.根据权利要求1所述的透光性层叠体，其特征在于，所述第二区域的厚度相对于所述第一区域的...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤野望，片山隆平，米泽秀行，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：