【技术实现步骤摘要】
一种三阶PT对称微机械微扰敏感系统
[0001]本专利技术涉及一种系统，具体涉及一种三阶PT对称微机械微扰敏感系统，属于微电子
技术介绍
[0002]在1998年，美国华盛顿大学的C. M. Bender教授提出了一种PT对称的哈密顿量，该哈密顿量不具有厄米性，但也同样有实解 。这里的P和T分别代表了宇称（Parity）变换和时间（Time）变换。在Bender教授提出PT对称概念后，国际上众多学者和研究机构很快加入到了这种非厄米的PT对称的研究之中。到目前为止，PT对称非厄米量子体系的理论框架已基本形成。除了在量子体系中的研究，PT对称理论也在不同类型的经典物理系统中得到了验证，同时PT对称系统的一些特殊的性质和现象也被逐步发现。
[0003]研究最早、报道最多的PT对称系统是光学系统，然后逐步扩散到电学、声学等多种系统。利用PT对称理论构造的经典物理系统获得了一些特殊性质和有趣现象，例如，单向隐身、完美吸收、磁光非互易性等；特殊性能包括：超灵敏传感、单模激光等。但目前对于PT对称系统的研究主要还是集中在...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述敏感系统包括包括衬底（8）、第一微机械结构（1）、第二微机械结构（2）、第三微机械结构（3）、第一可调耦合结构（4）、第二可调耦合结构（5）、第一可调阻尼电路（6）和第二可调阻尼电路（7）；其中第一微机械结构（1）、第二微机械结构（2）、第三微机械结构（3）、第一可调耦合结构（4）以及第二可调耦合结构（5）设置在衬底（8）上；第三微机械结构（3）设置在第一微机械结构（1）和第二微机械结构（2）之间，其中第三微机械结构（3）和第一微机械结构（1）通过第一可调耦合结构（4）连接，第三微机械结构（3）和第二微机械结构（2）通过第二可调耦合结构（5）连接；第一可调阻尼电路（6）通过引线（9）连接第一微机械结构（1）；第二可调阻尼电路（7）通过引线（9）连接第二微机械结构（2）。2.根据权利要求1所述的三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述第一微机电结构（1）包括第一谐振梁（11）、第一谐振梁上电极和锚区（12）、第一谐振梁下电极和锚区（13）、第一反馈梁（14）、第一反馈上梁（15）、第一反馈上梁电极和锚区（16）、第一反馈下梁（17）、第一反馈下梁电极和锚区（18）、第一平衡梁一（19）、第一平衡梁二（110）、第一左连接梁（111）和第一右连接梁（112）；第一谐振梁（11）的上、下部分分别连接到第一谐振梁上电极和锚区（12）、第一谐振梁下电极和锚区（13）；第一谐振梁（11）的左边通过左连接梁（111）连接第一反馈梁（14）和第一平衡梁一（19）；第一谐振梁（11）的右边通过第一右连接梁（112）连接第一平衡梁二（110）；第一反馈梁（14）和第一反馈上梁（15）相互靠近形成反馈上电容；第一反馈梁（14）和第一反馈下梁（17）相互靠近形成反馈下电容。3.根据权利要求2所述的三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述第二微机电结构（2）包括第二谐振梁（21）、第二谐振梁上电极和锚区（22）、第二谐振梁下电极和锚区（23）、第二反馈梁（24）、第二反馈上梁（25）、第二反馈上梁电极和锚区（26）、第二反馈下梁（27）、第二反馈下梁电极和锚区（28）、第二平衡梁一（29）、第二平衡梁二（210）、第二左连接梁（211）和第二右连接梁（212）；第二谐振梁（21）的上、下部分分别连接到第二谐振梁上电极和锚区（22）、第二谐振梁下电极和锚区（23）；第二谐振梁（21）的左边通过第二左连接梁（211）连接第二反馈梁（24）和第二平衡梁（29）；第二谐振梁（21）的右边通过第二右连接梁（212）连接第二平衡梁一（210）；第二反馈梁（24）和第二反馈上梁（25）相互靠近形成反馈上电容；第二反馈梁（24）和第二反馈下梁（27）相互靠近形成反馈下电容。4.根据权利要求3所述的三阶PT对称微机械微扰敏感系统，其特征在于，所述第三微机电结构（3）包括第三谐振梁（31）、第三谐振梁上电极和锚区（32）、第三谐振梁下电极和锚区（33）、第三平衡梁一（34）、第三平衡梁二（35）,第三谐振梁（31）的上、下部分分别连接到第三谐振梁上电极和锚区（32）、第三谐振梁下电极和锚区（33）；第三谐振梁（31）的左边连接到第三平衡梁一（34），第三谐振梁（31）的右边连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：王立峰，张尚洋，张曼娜，黄庆安，董蕾，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：
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