一种基于帧间作差法的MEMS面内动态特性分析方法技术

本发明专利技术提供了一种基于帧间作差法的MEMS面内动态特性分析方法，包括如下步骤：S1、提取相邻的两帧图像；S2、将其中一帧图像分N次进行平移，分别与另一帧图像作差，形成了N幅差图；S3、分别计算N幅差图的像素值的总和，寻找像素值总和的最小值对应的差图，则该差图所对应的平移量即为两幅相邻视频帧的位移。本发明专利技术所述的基于帧间作差法的MEMS面内动态特性分析方法利用亚像素级定位算法进行面内位移的计算，在保持结果精度的前提下，使得抗干扰能力大幅提升、计算时间大幅度减少，有利于MEMS器件的指导设计制造、产品可靠性和研发效率大大提高，对于成本的降低也具有重要的意义。对于成本的降低也具有重要的意义。对于成本的降低也具有重要的意义。

【技术实现步骤摘要】
一种基于帧间作差法的MEMS面内动态特性分析方法


[0001]本专利技术属于视频检测
，尤其是涉及一种基于帧间作差法的MEMS面内动态特性分析方法。

技术介绍

[0002]MEMS是当今微纳技术研究的重要方向之一，是在微电子基础上发展起来的多学科交叉的新兴学科。MEMS器件的生产流程中，有器件的设计、模拟仿真、制造以及质量控制等诸多重要的环节，其中检测也是极其重要的一步。选择合适的图像运动分析算法是决定测试结果的关键因素。目标在图像中的定位是微视觉技术中最基本和最重要的任务,其分为粗定位(像素级)和精定位(亚像素级)两种。亚像素定位算法主要有矩方法、拟合法和数字相关法等，可以进行高精度面内运动测量，但是计算时间较长。像素级定位算法,如差平方和法、差绝对值法以及协方差等相关法等，运算时间短但精度相对于亚像素级定位来说较低。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，为克服上述缺陷，本专利技术旨在提出一种基于帧间作差法的MEMS面内动态特性分析方法。
[0004]为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于帧间作差法的MEMS面内动态特性分析方法，其特征在于,包括如下步骤：S1、提取相邻的两帧图像；S2、将其中一帧图像分N次进行平移，分别与另一帧图像作差，形成了N幅差图；S3、分别计算N幅差图的像素值的总和，寻找像素值总和的最小值对应的差图，则该差图所对应的平移量即为两幅相邻视频帧的位移。2.根据权利要求1所述的基于帧间作差法的MEMS面内动态特性分析方法，其特征在于：所述步骤S1中，相邻的两帧...

【专利技术属性】
技术研发人员：张云飞，刘婉琪，张岩，王志保，张翰卿，
申请(专利权)人：天地伟业技术有限公司，
类型：发明
国别省市：