一种等离子体发生器及其电极结构制造技术

本发明专利技术涉及等离子体技术领域，尤其涉及一种等离子体发生器及其电极结构。该电极结构包括绝缘基座、电极块、针状电极和顶丝，该电极结构的电极块与绝缘基座相对固定，针状电极通过盲孔和顶丝的配合与电极块连接固定，将针状电极与电极块良好地导通，方便拆装和更换针状电极，电极块通过绝缘基座实现与等离子体发生器装配，做到电极与等离子体发生器间的电绝缘，另外针状电极采用钨材料制成耐高温寿命长。该等离子体发生器的电极结构安装和更换方便，整体体积相对较小，结构布局合理，太赫兹波可以在垂直于石英管轴线方向穿过管壁或沿石英管轴线方向穿过太赫兹波穿透部与腔室内的等离子体发生相互作用，适用于太赫兹波与等离子体相互作用的研究。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体发生器及其电极结构
本专利技术涉及等离子体
，尤其涉及一种等离子体发生器及其电极结构。
技术介绍
电磁波在传播过程中遇到等离子体鞘套时因被其吸收而衰减，并出现偏折、延时、相移等效应，情况严重时出现“黑障”，“黑障”的出现给高速飞行器的测控通信、制导带来极大的困难。等离子体之所以可对雷达波隐身，其根本原因在于微波波段电磁波的电场加速等离子体中带电粒子，带电粒子和中性粒子发生碰撞，从而转移从微波电磁波中吸收的能量。由于太赫兹波的频率远大于等离子体的振荡频率，等离子体中的带电粒子来不及响应太赫兹波电磁场的变化，也就是说等离子体中带电粒子没有受到电场的加速作用而消耗太赫兹波的能量，因此从物理机制上太赫兹波穿透等离子体鞘套的技术途径是可行的。太赫兹光谱产生系统发出的太赫兹波相比微波和激光而言能量较弱，光束直径也较小，为了研究太赫兹波与等离子体的相互作用，需要设计制作一种小型的等离子体发生器，进而将其放入到太赫兹波产生与探测系统内当作样品进行探测，以适应微弱的太赫兹波的传输。因此亟需一种适用于研究太赫兹波与等离子体相互作用的小型的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电极结构，其特征在于，包括：/n绝缘基座，至少在下侧设有凸起，所述凸起的外部轮廓与等离子体发生器的电极安装孔相匹配，所述绝缘基座上还有一电极过孔，所述电极过孔穿过所述凸起贯穿所述绝缘基座；/n电极块，至少在下侧设有与所述电极过孔相匹配的电极柱，所述电极柱的下侧设有盲孔，所述电极柱的下端穿过所述电极过孔并伸出所述凸起外，在所述电极柱伸出所述凸起的部分设有顶丝螺纹孔，所述顶丝螺纹孔与所述盲孔连通；/n针状电极，为钨材料制成，所述针状电极的一端位于所述盲孔，另一端伸出所述盲孔；以及/n顶丝，所述顶丝与所述顶丝螺纹孔配合，用于顶紧所述针状电极。/n

【技术特征摘要】
1.一种电极结构，其特征在于，包括：
绝缘基座，至少在下侧设有凸起，所述凸起的外部轮廓与等离子体发生器的电极安装孔相匹配，所述绝缘基座上还有一电极过孔，所述电极过孔穿过所述凸起贯穿所述绝缘基座；
电极块，至少在下侧设有与所述电极过孔相匹配的电极柱，所述电极柱的下侧设有盲孔，所述电极柱的下端穿过所述电极过孔并伸出所述凸起外，在所述电极柱伸出所述凸起的部分设有顶丝螺纹孔，所述顶丝螺纹孔与所述盲孔连通；
针状电极，为钨材料制成，所述针状电极的一端位于所述盲孔，另一端伸出所述盲孔；以及
顶丝，所述顶丝与所述顶丝螺纹孔配合，用于顶紧所述针状电极。


2.根据权利要求1所述的电极结构，其特征在于：所述电极块与所述绝缘基座之间设有第一密封垫，所述第一密封垫上设有供所述电极柱穿过的过孔。


3.根据权利要求1所述的电极结构，其特征在于：所述电极块通过第一螺钉固定于所述绝缘基座。


4.根据权利要求1所述的电极结构，其特征在于：所述电极块为铜材料制成；和/或
所述绝缘基座为玻璃钢材料制成。


5.根据权利要求1所述的电极结构，其特征在于：所述顶丝的后端设有与所述电极柱的外侧面弧度相匹配的凸起弧部，所述凸起弧部的最大直径与所述顶丝的直径相同，在所述凸起弧部上设有一字形或十字形的拆装凹槽。


6.根据权利要求1所述的电极结构，其特征在于：所述电极块的上侧设有带外螺纹的连接柱，所述连接柱的外侧靠近所述电极块上侧面位置设有用于接线的环形凹槽；
所述连接柱上还设有相...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙金海，郑岩，刘家国，孙新学，
申请(专利权)人：北京环境特性研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11