一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器制造技术

本发明专利技术公开了一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器。它包括N×N个在平面上周期排列的结构单元；每个结构单元包括二维石墨烯纳米层，金属层和柔性介质层，其中二维石墨烯纳米层处于顶层，二维石墨烯纳米层下层为金属层，金属层下层为柔性介质层；金属层中开设有谐振环空气槽、竖矩形空气槽、横矩形空气槽、竖U形空气槽、横U形空气槽。本谐振器件由于使用柔性介质层，通过给器件施加外力，实现器件的形变，从而达到对器件整体谐振特性的调控。本谐振器件的顶层为二维石墨烯纳米层，通过加电改变二维石墨烯纳米层化学势，达到对器件谐振点处反射率的控制。

【技术实现步骤摘要】
一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器
本专利技术涉及太赫兹波应用
，尤其涉及一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器。
技术介绍
太赫兹波是指频率在0.1～10THz，相应波长为3000～30μm范围内的电磁波，位于微波和红外波段之间的电磁辐射，在电磁波频谱中占有很特殊的位置。近年来，随着太赫兹技术在高速通信、成像和雷达等领域引起广泛的关注，从而使得各种太赫兹波开关、太赫兹滤波器、太赫兹波调制器等都有研制的报道。但是通常而言，常规的这些调控器件一旦设计生产以后调控的方法都比较单一和麻烦，且所能够调控的频段也比较局限，严重限制了太赫兹技术应用与发展，因此设计一款可多途径调控、多频段的谐振器具有十分重大意义。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决现有技术中存在的问题，并提供一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器。该谐振器既可以通过改变施加的外部电压来控制石墨烯纳米材料的化学势，又可以通过外部加压形变聚酰亚胺柔性基底来改变器件谐振特性，达到对谐振器的“力/电双可调”。为了实现上述专利技术目的，本专本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器，其特征在于，它包括N×N个在平面上周期排列的结构单元，N为大于0的自然数，每个结构单元呈正方体形状，N×N个结构单元在平面上连续拼接；每个结构单元包括柔性介质层(1)、金属层(2)和二维石墨烯纳米层(8)，其中二维石墨烯纳米层(8)处于顶层，二维石墨烯纳米层(8)下层为金属层(2)，金属层下层为柔性介质层(1)；金属层(2)中开设有谐振环空气槽(3)、竖矩形空气槽(4)、横矩形空气槽(5)、竖U形空气槽(6)和横U形空气槽(7)；在金属层(2)平面中，所述谐振环空气槽(3)为方环形空气槽，其处于金属层(2)正中央且中心对称，竖矩形空气槽(4)和...

【技术特征摘要】
1.一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器，其特征在于，它包括N×N个在平面上周期排列的结构单元，N为大于0的自然数，每个结构单元呈正方体形状，N×N个结构单元在平面上连续拼接；每个结构单元包括柔性介质层(1)、金属层(2)和二维石墨烯纳米层(8)，其中二维石墨烯纳米层(8)处于顶层，二维石墨烯纳米层(8)下层为金属层(2)，金属层下层为柔性介质层(1)；金属层(2)中开设有谐振环空气槽(3)、竖矩形空气槽(4)、横矩形空气槽(5)、竖U形空气槽(6)和横U形空气槽(7)；在金属层(2)平面中，所述谐振环空气槽(3)为方环形空气槽，其处于金属层(2)正中央且中心对称，竖矩形空气槽(4)和横矩形空气槽(5)相互垂直，分别位于谐振环空气槽(3)的左侧和上侧；竖U形空气槽(6)和横U形空气槽(7)大小相等相互垂直，分别位于谐振环空气槽(3)的右侧和下侧；其中竖U形空气槽(6)是在竖向长方形中贴边扣除竖向矩形部分(9)后得到的开口朝向谐振环空气槽(3)的U形空气槽，横U形空气槽(7)是在横向长方形中贴边扣除横向矩形部分(10)后得到的开口朝向谐振环空气槽(3)的U形空气槽；所述谐振器由于使用柔性介质层(1)，通过给器件施加外力，实现器件的形变，从而达到对器件整体谐振特性的调控；同时所述谐振器的顶层为二维石墨烯纳米层(8)，通过加电改变二维石墨烯纳米层(8)化学势，达到对器件谐振点处反射率的控制。


2.根据权利要求1所述的一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器，其特征在于，所述的谐振环空气槽(3)、竖矩形空气槽(4)、横矩形空气槽(5)、竖U形空气槽(6)、横U形空气槽(7)中均填充空气。


3.根据权利要求1所述的一种力/电双可调多频段反射式极化不敏感谐振器，其特征在于，所述谐振环空气槽(3)的外边长为125～13...

【专利技术属性】
技术研发人员：李九生，李达，
申请(专利权)人：之江实验室，中国计量大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33