校准方法、校准装置、校准系统及计算机可读存储介质制造方法及图纸

本申请公开了一种校准方法、校准装置、校准系统及非易失性计算机可读存储介质。校准方法包括：获取承载在运动平台上的工件的图像；识别图像中，工件的多个边缘点；基于预设的坐标轴和边缘点的坐标计算工件相对坐标轴的偏移信息；及根据偏移信息调整运动平台的运动参数，以使得工件位于预设位置，预设位置与预设的坐标轴对应。本申请实施方式的校准方法、校准装置、校准系统及非易失性计算机可读存储介质中，由于预设的坐标轴是根据运动平台的中心建立的，则处理器或计算模块通过计算工件相对坐标轴的偏移信息，以使处理器或调整模块根据偏移信息调整运动平台的运动参数，从而使得工件位于预设位置，以保证工件加工的准确性。

【技术实现步骤摘要】
校准方法、校准装置、校准系统及计算机可读存储介质
本申请涉及半导体制造
，更具体而言，涉及一种校准方法、校准系统、校准装置及非易失性计算机可读存储介质。
技术介绍
在工件制造过程中，如晶圆，会经过切片、圆边、研磨、蚀刻等多道工序以加工完成。当晶圆转变工序后，晶圆在放置在下道工序时，其位置可能并不在预设的用于加工的位置，导致后续进行加工时出现偏差，影响加工效果。因此，如何保证准确的将工件放置在加工的位置是亟需解决的问题。
技术实现思路
本申请实施方式提供一种校准方法、校准装置、校准系统及非易失性计算机可读存储介质。本申请实施方式的校准方法包括：获取承载在运动平台上的工件的图像；识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。本申请实施方式的校准装置包括获取模块、识别模块、计算模块及调整模块，所述获取模块用于获取承载在运动平台上的工件的图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种校准方法，其特征在于，包括：/n获取承载在运动平台上的工件的图像；/n识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；/n基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及/n根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。/n

【技术特征摘要】
1.一种校准方法，其特征在于，包括：
获取承载在运动平台上的工件的图像；
识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；
基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及
根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。


2.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息，包括：
根据多个所述边缘点的坐标绘制拟合图形；
根据所述拟合图形获取所述拟合图形的特征点；及
基于预设的所述坐标轴和所述特征点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息。


3.根据权利要求2所述的校准方法，其特征在于，所述偏移信息包括偏移距离，所述特征点包括所述拟合图形的中心，所述基于预设的所述坐标轴和所述特征点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息，包括：
基于预设的所述坐标轴的原点的坐标与所述中心的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的所述偏移距离。


4.根据权利要求2所述的校准方法，其特征在于，所述偏移信息包括偏移角度，所述特征点包括所述拟合图形的中心和所述拟合图形的标识点，所述基于预设的所述坐标轴和所述特征点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息，包括：
根据所述中心的坐标及所述标识点的坐标，计算所述中心与所述标识点的连线相对所述预设的坐标轴的纵轴的夹角；及
根据所述夹角、所述中心的坐标及所述标识点的坐标计算所述偏转角度。


5.根据权利要求4所述的校准方法，其特征在于，所述工件包括标识缺口，所述标识点根据所述标识缺口对应的多个边缘点确定。


6.根据权利要求1或2所述的校准方法，其特征在于，所述偏移信息包括偏移距离和偏移角度，所述运动参数包括运动坐标和旋转角度，所述根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，包括：
根据所述偏移距离和所述预设的坐标轴的原点坐标计算所述运动坐标；及
根据所述偏移角度计算所述旋转角度。


7.一种校准装置，其特征在于，包括：
获取模块，所述获取模块用于获取承载在运动平台上的工件的图像；
识别模块，所述识别模块用于识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；
计算模块，所述计算模块基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及
调整模块，所述调整模块用...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，祖建成，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44