校准方法、校准装置、校准系统及计算机可读存储介质制造方法及图纸

本申请公开了一种校准方法、校准装置、校准系统及非易失性计算机可读存储介质。校准方法包括：获取承载在运动平台上的工件的图像；识别图像中，工件的多个边缘点；基于预设的坐标轴和边缘点的坐标计算工件相对坐标轴的偏移信息；及根据偏移信息调整运动平台的运动参数，以使得工件位于预设位置，预设位置与预设的坐标轴对应。本申请实施方式的校准方法、校准装置、校准系统及非易失性计算机可读存储介质中，由于预设的坐标轴是根据运动平台的中心建立的，则处理器或计算模块通过计算工件相对坐标轴的偏移信息，以使处理器或调整模块根据偏移信息调整运动平台的运动参数，从而使得工件位于预设位置，以保证工件加工的准确性。

【技术实现步骤摘要】
校准方法、校准装置、校准系统及计算机可读存储介质
本申请涉及半导体制造
，更具体而言，涉及一种校准方法、校准系统、校准装置及非易失性计算机可读存储介质。
技术介绍
在工件制造过程中，如晶圆，会经过切片、圆边、研磨、蚀刻等多道工序以加工完成。当晶圆转变工序后，晶圆在放置在下道工序时，其位置可能并不在预设的用于加工的位置，导致后续进行加工时出现偏差，影响加工效果。因此，如何保证准确的将工件放置在加工的位置是亟需解决的问题。
技术实现思路
本申请实施方式提供一种校准方法、校准装置、校准系统及非易失性计算机可读存储介质。本申请实施方式的校准方法包括：获取承载在运动平台上的工件的图像；识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。本申请实施方式的校准装置包括获取模块、识别模块、计算模块及调整模块，所述获取模块用于获取承载在运动平台上的工件的图像；所述识别模块用于识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；所述计算模块基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及所述调整模块用于根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。本申请实施方式的校准系统包括运动平台、成像装置及处理器。所述运动平台用于承载工件。所述成像装置用于采集承载在所述运动平台上的所述工件的图像。所述处理器用于获取承载在所述运动平台上的所述工件的图像；识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。本申请实施方式的校准方法、校准装置、校准系统及非易失性计算机可读存储介质中，由于预设的坐标轴是根据运动平台的中心建立的，则处理器或计算模块通过计算工件相对坐标轴的偏移信息，以使处理器或调整模块根据偏移信息调整运动平台的运动参数，从而使得工件位于预设位置，以保证工件加工的准确性。本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。附图说明本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是本申请某些实施方式的校准方法的流程示意图；图2是本申请某些实施方式的校准系统的结构示意图；图3是本申请某些实施方式的校准装置的结构示意图；图4是本申请某些实施方式的校准方法的流程示意图；图5是本申请某些实施方式的拟合图像和预设坐标系存在偏移距离的示意图；图6是本申请某些实施方式的校准方法的流程示意图；图7是本申请某些实施方式的拟合图像与预设的坐标系存在偏移角度的示意图；图8是本申请某些实施方式的校准方法的流程示意图；图9是本申请某些实施方式的拟合图像偏移和旋转后的示意图；图10是本申请某些实施方式的校准方法的流程示意图；图11是本申请某些实施方式的计算机可读存储介质和处理器的连接状态示意图。具体实施方式下面详细描述本申请的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中，相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的实施方式的限制。请参阅图1和图2，本申请实施方式提供一种校准方法。该校准方法包括步骤：01：获取承载在运动平台10上的工件20的图像；03：识别图像中，工件20的多个边缘点；05：基于预设的坐标轴和边缘点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息；及07：根据偏移信息调整运动平台10的运动参数，以使得工件20位于预设位置，预设位置与预设的坐标轴对应。请结合图3，本申请实施方式提供一种校准装置200。校准装置200包括获取模块201、识别模块202、计算模块203和调整模块204。本申请实施方式的校准方法可应用于本申请实施方式的校准装置200。其中，获取模块201用于执行步骤01中的方法，识别模块202用于执行步骤03中的方法，计算模块203用于执行步骤05中的方法，调整模块204用于执行步骤07中的方法。即，获取模块201用于获取承载在运动平台10上的工件20的图像，识别模块202用于识别图像中，工件20的多个边缘点。计算模块203用于基于预设的坐标轴和边缘点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息，调整模块204用于根据偏移信息调整运动平台10的运动参数，以使得工件20位于预设位置，预设位置与预设的坐标轴对应。本申请实施方式还提供一种校准系统100。校准系统100包括运动平台10、成像装置30及处理器40。本申请实施方式的校准方法可应用于本申请实施方式的校准系统100。运动平台10用于承载工件20。成像装置30用于采集承载在运动平台10上的工件20的图像。处理器40用于执行步骤01、步骤03、步骤05和步骤07中的方法。即，处理器40用于获取承载在运动平台10上的工件20的图像；识别图像中，工件20的多个边缘点；基于预设的坐标轴和边缘点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息；及根据偏移信息调整运动平台10的运动参数，以使得工件20位于预设位置，预设位置与预设的坐标轴对应。具体地，预设的坐标轴的中心为运动平台10的中心，预设的坐标轴则为以运动平台10的中心为坐标原点建立的坐标轴。工件20承载在运动平台10上，成像装置30与运动平台10相对设置，以拍摄承载在运动平台10上的工件20的图像。当成像装置30或获取模块201获取工件20的图像后，处理器40或识别模块202识别图像以获取工件20的多个边缘点，则处理器40或计算模块203可得出工件20的多个边缘点在预设的坐标轴内的坐标值，并通过多个边缘点的坐标值则可得到工件20的中心的坐标值。例如，当工件20为圆形时，则处理器40或识别模块202可获取工件20的圆形图像上的3个边缘点，并分别记作边缘点1、边缘点2、边缘点3，处理器40或计算模块203通过边缘点1和边缘点2连线的中垂线L1，边缘点2和边缘点3连线的中垂线L2，则可得到中垂线L1和中垂线L2的交点W，则交点W为工件20的中点，处理器40或计算模块203通过计算交点W的坐标和预设的坐标轴的原点的坐标的差值，以得到差值坐标，即偏移信息。其中，差值坐标的X坐标即为工件相对预设的坐标轴的X轴的偏移值，差值坐标的Y坐标即为工件相对预设的坐标轴的Y轴的偏移值。预设位置与预设的坐标轴对应。具体地，预设位置为预设的坐标轴上的一点，例如预设位置可以是预设的坐标轴的原点、坐标为(1，1)的点、坐标为(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种校准方法，其特征在于，包括：/n获取承载在运动平台上的工件的图像；/n识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；/n基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及/n根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。/n

【技术特征摘要】
1.一种校准方法，其特征在于，包括：
获取承载在运动平台上的工件的图像；
识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；
基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及
根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。


2.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息，包括：
根据多个所述边缘点的坐标绘制拟合图形；
根据所述拟合图形获取所述拟合图形的特征点；及
基于预设的所述坐标轴和所述特征点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息。


3.根据权利要求2所述的校准方法，其特征在于，所述偏移信息包括偏移距离，所述特征点包括所述拟合图形的中心，所述基于预设的所述坐标轴和所述特征点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息，包括：
基于预设的所述坐标轴的原点的坐标与所述中心的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的所述偏移距离。


4.根据权利要求2所述的校准方法，其特征在于，所述偏移信息包括偏移角度，所述特征点包括所述拟合图形的中心和所述拟合图形的标识点，所述基于预设的所述坐标轴和所述特征点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息，包括：
根据所述中心的坐标及所述标识点的坐标，计算所述中心与所述标识点的连线相对所述预设的坐标轴的纵轴的夹角；及
根据所述夹角、所述中心的坐标及所述标识点的坐标计算所述偏转角度。


5.根据权利要求4所述的校准方法，其特征在于，所述工件包括标识缺口，所述标识点根据所述标识缺口对应的多个边缘点确定。


6.根据权利要求1或2所述的校准方法，其特征在于，所述偏移信息包括偏移距离和偏移角度，所述运动参数包括运动坐标和旋转角度，所述根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，包括：
根据所述偏移距离和所述预设的坐标轴的原点坐标计算所述运动坐标；及
根据所述偏移角度计算所述旋转角度。


7.一种校准装置，其特征在于，包括：
获取模块，所述获取模块用于获取承载在运动平台上的工件的图像；
识别模块，所述识别模块用于识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；
计算模块，所述计算模块基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及
调整模块，所述调整模块用...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，祖建成，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44