显示面板制程中刻蚀量的检测方法及显示面板母板技术

本发明专利技术公开了一种显示面板制程中刻蚀量的检测方法及显示面板母板，检测方法包括以下步骤：提供显示面板母板半成品，显示面板母板半成品包括：基底；至少一个显示面板第一半成品，显示面板第一半成品包括位于隔断区且呈环状围绕孔区设置的至少一个的待刻蚀部；测试组件包括和待刻蚀部呈相同环状分布的第一测试线，第一测试线的材料与待刻蚀部的材料相同；对待刻蚀部和第一测试线进行同步刻蚀，以形成具有待检测隔断部的显示面板第二半成品和具有第二测试线的测试组件；检测第二测试线的电阻值，根据电阻值确定隔断部的刻蚀量。通过检测第二测试线的刻蚀量可以间接确定器件层的隔断部的刻蚀量，保证显示面板制程工艺的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
显示面板制程中刻蚀量的检测方法及显示面板母板
本专利技术属于电子产品
，尤其涉及一种显示面板制程中刻蚀量的检测方法及显示面板母板。
技术介绍
随着电子设备的快速发展，用户对屏占比的要求越来越高，使得电子设备的全面屏受到业界越来越多的关注。为了提高屏幕占有率，现有技术中在显示屏上用激光打一个相对大小的孔，适用于手机的摄像头，但是水汽容易从孔侵入显示面板内部，损坏显示屏。实际中需要在开孔周围通过刻蚀工艺形成隔断来隔断水汽，刻蚀效果直接影响显示面板的封装效果，但受到现有相关检测设备的局限性，无法准确检测隔断区域的刻蚀情况。因此，亟需一种新的显示面板制程中刻蚀量的检测方法及显示面板母板。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种显示面板制程中刻蚀量的检测方法及显示面板母板，通过第二测试线的刻蚀量的刻蚀量可以间接确定隔断部的刻蚀量，避免隔断部出现过度刻蚀等问题，进而保证显示面板制程工艺的稳定性。本专利技术实施例一方面提供了一种显示面板制程中刻蚀量的检测方法，包括以下步骤：提供显示面板母板半成品，显示面板母板半成品包括：基底，具有显示面板形成区域及与显示面板形成区域相邻的测试区域；至少一个显示面板第一半成品，设于显示面板形成区域的基底一侧，显示面板第一半成品包括显示区、孔区以及位于显示区和孔区之间的隔断区，隔断区围绕至少部分孔区设置，显示面板第一半成品包括位于隔断区且呈环状围绕孔区设置的至少一个待刻蚀部；测试组件，设于测试区域的基底一侧，测试组件包括和待刻蚀部呈相同环状分布的第一测试线，第一测试线的材料与待刻蚀部的材料相同；对待刻蚀部和第一测试线进行同步刻蚀，以形成具有隔断部的显示面板第二半成品和具有第二测试线的测试组件；检测第二测试线的电阻值，根据电阻值确定隔断部的刻蚀量。根据本专利技术的一个方面，提供显示面板母板半成品的步骤中：多个测试组件设于测试区域的基底一侧，且各个测试组件的第一测试线的线宽各不相同，且至少一条第一测试线的线宽等于待刻蚀部的宽度。根据本专利技术的一个方面，相邻两个测试组件的第一测试线的线宽之间的差值为固定值，各个第一测试线的线宽为0.1μm～10μm；优选的，固定值为0.5μm。根据本专利技术的一个方面，提供显示面板母板半成品的步骤中，待刻蚀部为单层金属层结构；或者，待刻蚀部包括层叠设置的第一金属层、第二金属层和第三金属层，其中第一金属层和第三金属层均为耐刻蚀层，第二金属层为待刻蚀层；优选的，第一金属层为Ti层，第二金属层为Al层，第三金属层为Ti层。根据本专利技术的一个方面，对待刻蚀部和第一测试线进行同步刻蚀，以形成具有隔断部的显示面板第二半成品和具有第二测试线的测试组件的步骤中：待刻蚀部的外缘形状和孔区的外缘形状相匹配；隔断部设置有多个，各个隔断部呈同心环状分布。根据本专利技术的一个方面，提供显示面板母板半成品的步骤中：显示面板母板半成品包括绝缘设置的源漏极金属层和栅极金属层，待刻蚀部与源漏极金属层和栅极金属层中的一者通过同一道制程形成。根据本专利技术的一个方面，对待刻蚀部和第一测试线进行同步刻蚀的步骤中：刻蚀为侧向刻蚀，侧向刻蚀采用干法刻蚀技术或湿法刻蚀技术。根据本专利技术的一个方面，检测第二测试线的电阻值，根据电阻值确定隔断部的刻蚀量的步骤中：通过电阻检测部检测第二测试线的电阻值；基于预存的第一测试线的电阻值、第二测试线的电阻值及预设的电阻计算规则确定第二测试线的刻蚀量，从而确定隔断部的刻蚀量。本专利技术实施例另一方面还提供了一种显示面板母板，包括：基底，具有显示面板形成区域及与显示面板形成区域相邻的测试区域：至少一个显示面板第二半成品，设于显示面板形成区域的基底一侧，显示面板第二半成品包括显示区、孔区以及位于显示区和孔区之间的隔断区，隔断区围绕至少部分孔区设置；显示面板第二半成品包括位于隔断区且呈环状围绕孔区设置的至少一个隔断部；测试组件，设于基底的测试区域，测试组件包括和隔断部呈相同环状的第二测试线，测试母线的材料与待刻蚀部的材料相同。根据本专利技术的另一个方面，第二测试线的端部分别设有用于和电阻检测部连接的连接端子。与现有技术相比，本专利技术实施例提供的显示面板制程中刻蚀量的检测方法，在基底的测试区域设置测试组件，并对测试组件的第一测试线和待刻蚀部，同步进行刻蚀，由于第一测试线和待刻蚀部呈相同环状分布，且第一测试线的材料与待刻蚀部的材料相同，之后对待刻蚀部和第一测试线进行同步刻蚀，以形成具有隔断部的显示面板第二半成品和具有第二测试线的测试组件。对第一测试线的刻蚀检测即可以模拟对待刻蚀部的刻蚀检测，通过检测第二测试线的电阻值，根据电阻值先确定第二测试线的刻蚀量，由于第二测试线的分布形状以及材料均和隔断部相同，因而所确定的第二测试线的刻蚀量即隔断部刻蚀量，有效克服了隔断部的刻蚀量测量困难的问题。同时，通过第二测试线的刻蚀量的刻蚀量可以间接确定隔断部的刻蚀量，避免隔断部出现过度刻蚀等问题，进而保证显示面板制程工艺的稳定性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对本专利技术实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例提供的一种显示面板制程中刻蚀量的检测方法的流程图；图2是本专利技术实施例提供的一种显示面板母板半成品的结构示意图；图3是本专利技术实施例提供的图2中E-E处的一种膜层结构图；图4是本专利技术实施例提供的图2中E-E处的另一种膜层结构图；图5是本专利技术实施例提供的待刻蚀部的立体结构图；图6是本专利技术实施例提供的待测试部的立体结构图；图7是本专利技术实施例提供的测试组件的结构示意图。附图中：1-基底；2-器件层；21-待刻蚀部；211-第一金属层；212-第二金属层；213-第三金属层；22-待检测部；3-测试组件；31-第一测试线；32-第二测试线；33-连接端子；4-电阻检测仪器；A-测试区域；B-显示面板形成区域；AA-显示区；TA-孔区；PA-隔断区。具体实施方式下面将详细描述本专利技术的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本专利技术的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本专利技术可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本专利技术的示例来提供对本专利技术的更好的理解。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示面板制程中刻蚀量的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：/n提供显示面板母板半成品，所述显示面板母板半成品包括：/n基底，具有显示面板形成区域及与所述显示面板形成区域相邻的测试区域；/n至少一个显示面板第一半成品，设于所述显示面板形成区域的所述基底一侧，所述显示面板第一半成品包括显示区、孔区以及位于显示区和孔区之间的隔断区，所述隔断区围绕至少部分所述孔区设置，所述显示面板第一半成品包括位于所述隔断区且呈环状围绕所述孔区设置的至少一个待刻蚀部；/n测试组件，设于所述测试区域的所述基底一侧，所述测试组件包括和所述待刻蚀部呈相同环状分布的第一测试线，所述第一测试线的材料与所述待刻蚀部的材料相同；/n对所述待刻蚀部和所述第一测试线进行同步刻蚀，以形成具有隔断部的显示面板第二半成品和具有第二测试线的所述测试组件；/n检测所述第二测试线的电阻值，根据所述电阻值确定所述隔断部的刻蚀量。/n

【技术特征摘要】
1.一种显示面板制程中刻蚀量的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供显示面板母板半成品，所述显示面板母板半成品包括：
基底，具有显示面板形成区域及与所述显示面板形成区域相邻的测试区域；
至少一个显示面板第一半成品，设于所述显示面板形成区域的所述基底一侧，所述显示面板第一半成品包括显示区、孔区以及位于显示区和孔区之间的隔断区，所述隔断区围绕至少部分所述孔区设置，所述显示面板第一半成品包括位于所述隔断区且呈环状围绕所述孔区设置的至少一个待刻蚀部；
测试组件，设于所述测试区域的所述基底一侧，所述测试组件包括和所述待刻蚀部呈相同环状分布的第一测试线，所述第一测试线的材料与所述待刻蚀部的材料相同；
对所述待刻蚀部和所述第一测试线进行同步刻蚀，以形成具有隔断部的显示面板第二半成品和具有第二测试线的所述测试组件；
检测所述第二测试线的电阻值，根据所述电阻值确定所述隔断部的刻蚀量。


2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述提供显示面板母板半成品的步骤中：
多个测试组件设于所述测试区域的所述基底一侧，且各个所述测试组件的所述第一测试线的线宽各不相同，且至少一条所述第一测试线的线宽等于所述待刻蚀部的宽度。


3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，相邻两个所述测试组件的所述第一测试线的线宽之间的差值为固定值，各个所述第一测试线的线宽为0.1μm～10μm；
优选的，所述固定值为0.5μm。


4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述提供显示面板母板半成品的步骤中，所述待刻蚀部为单层金属层结构；或者，
所述待刻蚀部包括层叠设置的第一金属层、第二金属层和第三金属层，其中所述第一金属层和所述第三金属层均为耐刻蚀层，所述第二金属层为待刻蚀层；
优选的，所述第一金属层为Ti层，所述第二金属层为Al层，所述第三金属层为Ti层。


5.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王守坤，秦韶阳，崔立全，赵成雨，郭子栋，
申请(专利权)人：合肥维信诺科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34