【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种统计工艺控制方法,且特别涉及一种。
技术介绍
随着现代集成电路(IC)生产时复杂性与整个工艺时间的增加,透过制造时的变化以保持拥有高产品利润的高品质生产线甚至已成为常态的竞争。一般来说,完成一个集成电路需要数月之久,且在其制造工艺中包含了许多的工具与材料。而且用于IC制造的现行计算机整合制造(Computer Integrated Manufacturing,简称CIM)架构中,统计工艺控制(Statistical Process Control,简称SPC)和警报机组已是必要的构成要素,其作为适时的监控无数的过程与生产机台。像这样的机组,他们扮演了通知工程师和操作者所发生的某些预定状况或状况发生时所采取的预定动作,以防止意外的损失。他们希望可以在造成实际的损失之前,已先行预防及修复。在单一大量生产制造时,许多不同的产品可能同时利用许多不同的机台设备进行处理。而对于一产品的组合,欲记录每一产品与每一机台设备的详细状态,在设定时则需相当大的努力。请参照图1,典型的计算机系统100包括拥有一个或多个数据库104的主计算机(服务器)102、一个或多 ...
【技术保护点】
一种建立新控制图的方法,该方法包括:提供一数据库,其包括复数个统计工艺控制图与复数个表格;判断储存于该些表格中的至少其中之一的一数据已改变与否;如果已改变的该数据能通过该些统计工艺控制图的至少其中之一来描述,则以已改变的该数据更新该些统计工艺控制图的至少其中之一;如果已改变的该数据无法以该些统计工艺控制图的至少其中之一来描述,则建立一新控制图来描述已改变的该数据。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:赖孟正,周世达,
申请(专利权)人:旺宏电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。