【技术实现步骤摘要】
本专利技术一般地涉及用于运行例如自动半导体制造工厂的工业设备的完全自动的系统和方法,具体涉及用于解决在利用自动制造执行系统、物料控制系统以及实时调度系统的制造工厂中出现的错误状态和其他问题的自动系统和方法。
技术介绍
在例如处理200mm或300mm晶片的自动IC制造工厂(fab)中使用的计算机集成制造(CIM)系统可能包括以下项(1)自动制造执行系统(MES),如IBM的SiView Standard MES(来自IBM日本工业解决方案有限公司(iiSC)(IBM Japan IndustrialSolution Co.,Ltd));(2)诸如来自Murata Machinery有限公司的Muratec物料控制系统(MCS)之类的自动物料运送系统(AMHS)和/或自动原版运送系统(ARHS);以及(3)诸如可从IBM SiView或Brooks Automation/AutoSimulation Inc购买的那些自动实时调度器(RTD)。还有其他公司提供可以用于在IC制造工厂中代替上述项中任意一项的MES、AMHS和RTD系统。在所有此类自动工厂中,基本目标 ...
【技术保护点】
一种在进行自动生产并具有多个设计成实现特定任务的自动设备和交互控制系统的自动制造工厂中自动地尝试解决识别出的干扰自动生产的问题的自动解决问题(ISR)系统,该ISR系统包括:用于管理自动解决问题的尝试的自动解决问题管理(ISRM)系 统,该问题包括与自动制造工厂有关的错误状态,该ISRM系统包括多个自动组件,该ISRM系统用于协调该多个自动组件的运行,该多个组件包括:第一组件,该组件用于自动地检查引起其注意的第一报告的问题是否是识别出的自动解决方案看来可用的问题 ;以及第二组件,该组件用于命令由所述自动制造工厂的一部分采取自动纠正操作以响应所报告 ...
【技术特征摘要】
US 2003-10-2 10/678,8221.一种在进行自动生产并具有多个设计成实现特定任务的自动设备和交互控制系统的自动制造工厂中自动地尝试解决识别出的干扰自动生产的问题的自动解决问题(ISR)系统,该ISR系统包括用于管理自动解决问题的尝试的自动解决问题管理(ISRM)系统,该问题包括与自动制造工厂有关的错误状态,该ISRM系统包括多个自动组件,该ISRM系统用于协调该多个自动组件的运行,该多个组件包括第一组件,该组件用于自动地检查引起其注意的第一报告的问题是否是识别出的自动解决方案看来可用的问题;以及第二组件,该组件用于命令由所述自动制造工厂的一部分采取自动纠正操作以响应所报告的由所述第一组件识别出的问题。2.如权利要求1所述的解决问题系统,其中,所述ISRM系统还包括用于确定该自动纠正操作看来是否已解决了被识别出的问题的第三组件;以及用于记录该自动纠正操作看来是否已解决了被识别出的问题的第四组件。3.如权利要求1所述的解决问题系统,其中,所述ISRM系统的第二组件还包括用于确定当前看来是否能采取自动纠正操作的第一子组件;以及与该第一子组件通信,用于通告当前不能执行自动纠正操作的第二子组件。4.如权利要求3所述的解决问题系统,其中,所述第二组件的第二子组件在操作上被安排成通过第一消息通告由于在该第一消息中被具体标识的条件而不能采取自动纠正操作。5.如权利要求4所述的解决问题系统,其中,所述第二组件的第二子组件在操作上被安排成通过第二消息通告由于在该第二消息中被标识的至少一个自动设备没有处于自动模式而不能采取自动纠正操作。6.如权利要求1所述的解决问题系统,其中,所述ISRM系统还至少包括多个第二组件,该多个第二组件中的每个组件分别专用于尝试解决一个不同的被识别出的问题。7.如权利要求1所述的解决问题系统,其中,所述ISRM系统的第二组件还包括用于提供可能的自动纠正操作的至少第一和第二过程的第一子组件,以及用于命令采取可能的自动纠正操作的第一过程,然后如果需要采取可能的自动纠正操作的第二过程的第二子组件。8.如权利要求1所述的解决问题系统,还包括用于确定被命令的自动纠正操作看来是否已解决了所述被识别出的问题的第三组件;并且其中该第三组件包括用于提供第一消息以指出该被命令的自动纠正操作看来是否已解决了该问题的第一子组件,并且该第二组件包括用于提供至少第一和第二可能的自动纠正操作的第一子组件,以及用于命令采取该第一可能的自动纠正操作,然后如果需要则命令采取该第二可能的自动纠正操作的第二子组件,以及用于接收由第三组件提供的所述第一消息并决定该第二子组件是否需要命令采取该第二可能的自动纠正操作的第三子组件。9.如权利要求8所述的解决问题系统,其中,所述ISRM系统还包括至少多个如上所述的第二组件,但每个该第二组件专用于尝试解决一个不同的被识别出的问题;以及用于根据至少多个不同的被识别出的问题提供与可能的纠正操作有关的信息的命令存储器;以及用于根据需要帮助产生至少第一和第二命令以启动序列中的自动纠正操作的命令定序器。10.如权利要求8所述的解决问题系统,其中,所述ISRM系统还包括用于记录被命令的自动纠正操作看来是否已解决了被识别出的问题以供将来参考的第四组件;用于提供消息指出被命令的哪个自动纠正操作看来已解决了被识别出的问题的第五组件,以及在操作上被安排成接收来自该第五组件的消息,用于记录在这样接收的消息中包含的信息的至少一部分以供将来参考的第六组件。11.一种在具有交互控制系统的自动制造工厂中用于自动地尝试解决识别出的干扰自动生产的问题的自动解决问题(ISR)系统,该交互控制系统与实现某些指定任务的自动设备交互,该ISR系统包括第一组件,该组件用于自动地检查报告的引起其注意的第一问题是否是识别出的自动解决方案看来可用的问题;以及第二组件,该组件用于自动命令由该自动制造工厂的一部分采取自动纠正操作以响应所报告的由该第一组件识别出的问题。12.如权利要求11所述的解决问题系统,还包括用于确定所述被命令的自动纠正操作看来是否已解决了所报告的被识别出的问题的第三组件;以及用于记录所述被命令的自动纠正操作看来是否已解决了所报告的被识别出的问题的第四组件。13.如权利要求11所述的解决问题系统,其中,所述第二组件还包括用于确定当前能否采取自动纠正操作的第一子组件;以及与该第一子组件通信,用于通告当前不能执行自动纠正操作的第二子组件。14.如权利要求13所述的解决问题系统,其中,所述第二组件的第二子组件在操作上被安排成通过第一消息通告由于在该第一消息中被具体标识的条件而不能采取所述被命令的自动纠正操作。15.如权利要求14所述的解决问题系统,其中,所述第二组件的第二子组件在操作上被安排成通过第二消息通告由于至少一个自动设备没有处于完全自动模式而不能采取所述被命令的自动纠正操作。16.如权利要求11所述的解决问题系统,其中,所述ISR系统还至少包括多个相似的第二组件,但是该多个相似的第二组件中的每个组件专用于解决一个不同的被识别出的问题。17.如权利要求11所述的解决问题系统,其中,所述ISR系统的第二组件还包括用于提供可能的自动纠正操作的至少第一和第二过程的第一子组件,以及用于命令采取可能的自动纠正操作的第一过程,然后如果需要采取该第二可能的纠正操作过程的第二子组件。18.如权利要求11所述的解决问题系统,还包括用于确定被命令的自动纠正操作看来是否已解决了所述被识别出的问题的第三组件;并且其中该第三组件包括用于提供第一消息以指出所述被识别出的报告的问题看来不再成为问题的第一子组件,并且该第二组件包括用于提供自动纠正操作的至少第一和第二可能过程的第一子组件,以及用于自动地命令采取该可能纠正操作的第一过程,然后如果需要则自动地命令采取该纠正操作的第二过程的第二子组件,以及用于接收来自所述第三组件的所述第一消息并确定所述第二子组件是否需要命令采取所述自动纠正操作的第二过程的第三子组件。19.如权利要求18所述的解决问题系统,还包括至少多个第二组件,该多个第二组件分别专用于尝试解决一个不同的被识别出...
【专利技术属性】
技术研发人员:K加特兰,ZD兰法尔,富田祐司,DL特拉瓦莱恩,
申请(专利权)人:国际商业机器公司,
类型:发明
国别省市:US[美国]
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