自动对焦显微成像系统技术方案

本发明专利技术涉及一种自动对焦显微成像系统，包括成像单元、照明单元、自动对焦单元和与所述自动对焦单元相连接的计算处理单元，所述成像单元包括沿光路依次设置的成像相机、第一分光镜、第二分光镜和物镜，所述照明单元用于投射光线依次经过所述第二分光镜和物镜，所述自动对焦单元用于投射光线依次经过所述第一分光镜、第二分光镜和物镜并接收依次经过物镜、第二分光镜和第一分光镜的反射光线，所述计算处理单元用于控制调整所述物镜焦面位置。本发明专利技术的自动对焦显微成像系统对于不透明物体或具有多层特征的物体仍然具有对焦精度高的优点，适用性更广。

【技术实现步骤摘要】
自动对焦显微成像系统
本专利技术涉及光学
，尤其涉及一种自动对焦显微成像系统。
技术介绍
随着对产品品质要求不断提高，生产环节中采用人工检查方式的弊端越发凸显，特别是需要在显微镜下进行高放大倍率下的检查需求。现有技术中，一般通过手动或自动的方式进行对焦操作，手动对焦的方式存在效率低、准确度低、判断标准因为而异等缺陷。自动对焦的方式，相比于手动调焦，能够大大提升对焦效率，但是在被测物体是透明物体、被测物体表面存在多层特征时，无法保证对焦精度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决上述问题，提供一种高对焦精度的自动对焦显微成像系统。为实现本专利技术的目的，本专利技术提供一种自动对焦显微镜成像系统，包括成像单元、照明单元、自动对焦单元和与所述自动对焦单元相连接的计算处理单元，所述成像单元包括沿光路依次设置的成像相机、第一分光镜、第二分光镜和物镜，所述照明单元用于投射光线依次经过所述第二分光镜和物镜，所述自动对焦单元用于投射光线依次经过所述第一分光镜、第二分光镜和物镜并接收依次经过物镜、第二分光镜和第一分光镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动对焦显微成像系统，其特征在于，包括成像单元(1)、照明单元(2)、自动对焦单元(3)和与所述自动对焦单元(3)相连接的计算处理单元(4)，所述成像单元(1)包括沿光路依次设置的成像相机(11)、第一分光镜(12)、第二分光镜(13)和物镜(14)，所述照明单元(2)用于投射光线依次经过所述第二分光镜(13)和物镜(14)，所述自动对焦单元(3)用于投射光线依次经过所述第一分光镜(12)、第二分光镜(13)和物镜(14)并接收依次经过物镜(14)、第二分光镜(13)和第一分光镜(12)的反射光线，所述计算处理单元(4)用于控制调整所述物镜(14)焦面位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动对焦显微成像系统，其特征在于，包括成像单元(1)、照明单元(2)、自动对焦单元(3)和与所述自动对焦单元(3)相连接的计算处理单元(4)，所述成像单元(1)包括沿光路依次设置的成像相机(11)、第一分光镜(12)、第二分光镜(13)和物镜(14)，所述照明单元(2)用于投射光线依次经过所述第二分光镜(13)和物镜(14)，所述自动对焦单元(3)用于投射光线依次经过所述第一分光镜(12)、第二分光镜(13)和物镜(14)并接收依次经过物镜(14)、第二分光镜(13)和第一分光镜(12)的反射光线，所述计算处理单元(4)用于控制调整所述物镜(14)焦面位置。


2.根据权利要求1所述的自动对焦显微成像系统，其特征在于，所述自动对焦单元(3)包括对焦传感器(31)和对焦驱动组(32)，所述对焦传感器(31)用于投射光线依次经过所述第一分光镜(12)、第二分光镜(13)、物镜(14)到达被测物体表面，并接收由所述被测物体表面的反射光线产生信号传递至所述计算处理单元(4)。


3.根据权利要求2所述的自动对焦显微成像系统，其特征在于，所述对焦驱动组(32)与所述成像单元(1)连接，所述计算处理单元(4)接收所述对焦传感器(31)传递的信号获得所述被测物体的位置信息并计算出所述被测物体与所述物镜(14)焦面的位置关系，产生控制信号控制所述对焦驱动组(32)动作使所述被测物体位置与所述物镜(14)的焦面重合。


4.根据权利要求2所述的自动对焦显微成像系统，其特征在于，所述对焦传感器(31)投射的光线为激光平行光。


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【专利技术属性】
技术研发人员：陈旭琼，毛海科，楼科军，
申请(专利权)人：宁波舜宇仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33