一种微电子机械系统MEMS加速度计技术方案

本发明专利技术涉及电子机械测量技术领域，尤其涉及一种微电子机械系统MEMS加速度计，采用了低成本MEMS传感器作为惯性参数敏感元器件，能够实时采集传感器的工作环境温度，并实现陀螺仪惯性参数和温度信号的数字量输出，可降低温度对MEMS器件精度影响，避免了加速度计与陀螺仪数模转换的信号干扰，具有体积小、成本低、功耗小、输出参数全面的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种微电子机械系统MEMS加速度计
本专利技术涉及电子机械测量
，尤其涉及一种微电子机械系统MEMS加速度计。
技术介绍
MEMS惯性测量组合采用MEMS加速度计和MEMS陀螺仪作为惯性参数敏感器件，具有体积小、质量轻、易于集成化、价格低、功耗小等优点，广泛应用于航空航天、智能手机、汽车控制、辅助导航等领域。MEMS器件较激光、光纤等惯性测量传感器具有精度低、对温度变化敏感的特点，因此控制MEMS传感器的环境温度是提高MEMS惯性测量组合精度的重要方法。现有技术中加速度信号与陀螺仪信号在数模转换时容易产生相互干扰，且占用空间较大，质量较重，成本较高，复杂的结构不利于电气部分的精细化管理，容易出现电装混乱的状况。
技术实现思路
为克服现有技术不足，提供一种微电子机械系统MEMS加速度计，通过增加陀螺仪AD信号处理电路将陀螺仪惯性参数及工作环境温度参数以数字量形式输出，将陀螺仪AD信号处理电路安装固定在基座底部的密闭腔体内，实现物理隔离，防止加速度信号与陀螺仪信号在数模转换时相互干扰。本专利技术的技术解决方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，包括MEMS加速度计电路板、MEMS陀螺仪电路板、陀螺AD信号处理电路板和基座，基座为传感器提供三轴正交安装的基准及陀螺仪AD信号处理电路板安装空间，MEMS加速度计电路板为X、Y、Z三轴正交设置的单轴MEMS加速度计电路板，感应并输出组合的线加速度模拟信号及加速度计温度模拟信号，MEMS陀螺仪电路板为X、Y、Z三轴正交设置的单轴MEMS陀螺仪电路板，感应并输出组合的角速率模拟信号及陀螺仪温度模拟信号，陀螺AD信号处理电路板为MEMS陀螺仪电路板供电，同时实时采集角速率模拟信号及陀螺仪温度模拟信号，并将模拟信号转换成数字量信号后对外输出。/n

【技术特征摘要】
1.一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，包括MEMS加速度计电路板、MEMS陀螺仪电路板、陀螺AD信号处理电路板和基座，基座为传感器提供三轴正交安装的基准及陀螺仪AD信号处理电路板安装空间，MEMS加速度计电路板为X、Y、Z三轴正交设置的单轴MEMS加速度计电路板，感应并输出组合的线加速度模拟信号及加速度计温度模拟信号，MEMS陀螺仪电路板为X、Y、Z三轴正交设置的单轴MEMS陀螺仪电路板，感应并输出组合的角速率模拟信号及陀螺仪温度模拟信号，陀螺AD信号处理电路板为MEMS陀螺仪电路板供电，同时实时采集角速率模拟信号及陀螺仪温度模拟信号，并将模拟信号转换成数字量信号后对外输出。


2.根据权利要求1所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，MEMS陀螺仪电路板安装平面的垂直度误差在20μm以内。


3.根据权利要求1所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：王福杰，秦毅，郭芳，任斌，姜鸣，胡耀华，姚智伟，
申请(专利权)人：东莞理工学院，
类型：发明
国别省市：广东;44