内表面图像检查装置制造方法及图纸

本申请的目的在于提供一种内表面图像检查装置，能够灵活应对内径不同的各种检查对象。内表面图像检查装置(1)，对检查对象的孔的内表面进行检查，具有：摄像部(2)，镜筒(3)，被安装在摄像部(2)的前方，并收纳有光学系统的透镜(4、5)，光源单元(6)，能够相对于镜筒(3)装卸，分光镜(10)，将来自光源单元(6)的照明光向与光学系统的光轴平行的方向反射，筒形状的插入部(11)，被安装在镜筒(3)的前端，且被插入检查对象的孔中，反射镜(15)，以使反射面相对于光学系统的透镜(4、5)的光轴倾斜的方式被配置在插入部(11)的内部，以及直动机构(16)，以与光轴平行的方式移动反射镜(15)。

【技术实现步骤摘要】
内表面图像检查装置
本申请涉及一种内表面图像检查装置。
技术介绍
对作为检查对象的例如圆筒构件的内表面进行检查的内表面图像检查装置具有摄像部、光学系统、光源以及反射镜，该反射镜被设置于在检查时被插入圆筒构件中的插入部。来自光源的照明光被反射镜反射，并照射到圆筒构件的内表面上。在圆筒构件的内表面反射的反射光穿过光学系统而入射到摄像部，对内表面图像进行摄像。能够从内部图像来检查圆筒构件的内表面的表面特性等。然而，光学系统分别将从物镜(或其玻璃盖片)到对象的距离即动作距离(WD)确定为固有值，因而需要根据圆筒构件的内径准备动作距离WD不同的多种内表面图像检查装置，或者需要具有能够改变动作距离WD的光学系统。
技术实现思路
专利技术要解决的问题期望获得一种能够灵活应对内径不同的各种检查对象的内表面图像检查装置。用于解决问题的手段本公开的一形态为一种内表面图像检查装置，对检查对象的孔的内表面进行检查。内表面图像检查装置具有：摄像部，镜筒，被安装在摄像部的前方，且收纳有光学系统，光源单元，能够相对于镜筒装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种内表面图像检查装置，对检查对象的孔的内表面进行检查，所述内表面图像检查装置的特征在于，具有：/n摄像部，/n镜筒，被安装在所述摄像部的前方，并收纳有光学系统，/n光源单元，能够相对于所述镜筒装卸，/n分光镜，将来自所述光源单元的照明光向与所述光学系统的光轴平行的方向反射，/n筒形状的插入部，被安装在所述镜筒的前端，且被插入所述检查对象的孔中，/n反射镜，以使反射面相对于所述光学系统的光轴倾斜的方式被配置在所述插入部的内部，以及/n直动机构，以与所述光轴平行的方式移动所述反射镜。/n

【技术特征摘要】
20191127 JP 2019-2145231.一种内表面图像检查装置，对检查对象的孔的内表面进行检查，所述内表面图像检查装置的特征在于，具有：
摄像部，
镜筒，被安装在所述摄像部的前方，并收纳有光学系统，
光源单元，能够相对于所述镜筒装卸，
分光镜，将来自所述光源单元的照明光向与所述光学系统的光轴平行的方向反射，
筒形状的插入部，被安装在所述镜筒的前端，且被插入所述检查对象的孔中，
反射镜，以使反射面相对于所述光学系统的光轴倾斜的方式被配置在所述插入部的内部，以及
直动机构，以与所述光轴平行的方式移动所述反射镜。


2.根据权利要求1所述的内表面图像检查装置，其特征在于，
还具有直动控制部，所述直动控制部控制所述直动机构，以从所述光学系统的透镜前表面到所述检查对象的孔的内表面为止的距离保持恒定而与所述检查对象的孔的内径无关的方式，使所述反射镜移动。


3.根据权利要求2所述的内表面图像检查装置，其特征在于，
所述距离与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：沼津匡俊，
申请(专利权)人：发那科株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP