一种气体输送系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种气体输送系统，涉及气体输送技术领域，其包括气体输送支路，气体输送支路包括依次连接的气体输入段、气体调压段和气体输出段，气体输入段上依次连接有气体输入端口和输入开关阀，气体调压段上依次连接有调压阀和第一压力表，气体输出段上依次连接有输出开关阀和气体输出端口，气体输入段和气体调压段之间连接有惰性气体输入支路，气体调压段与气体输出段之间连接有抽空支路，惰性气体输入支路上依次连接有惰性气体输入端口和吹扫进口阀；抽空支路上依次连接有抽空开关阀和抽空排气部。本实用新型专利技术利用惰性气体输入支路和抽空支路对气体调压段进行置换和吹扫作业，进而提高气体调压段中的清洁度，提高输出气体的纯度。

【技术实现步骤摘要】
一种气体输送系统
本技术涉及气体输送
，尤其是涉及一种气体输送系统。
技术介绍
在工艺输送中，通常是将工艺气体利用管道和各类阀件，实现工艺气体的调压和输出。现有技术中，对于工艺气体的输送，常常采用在连接管上依次设置有开关阀和调压阀。采用上述方案，利用开关阀和调压阀，控制气体的输出和输出气压；然而，当该输送系统输送不同的气体时，连接管中会存在之前残留的气体，进而导致两种不同气体出现混合，影响输出气体的纯度，存在待改进之处。
技术实现思路
针对上述技术问题，本技术目的在于提出一种气体输送系统，利用惰性气体输入支路和抽空支路对气体调压段进行置换和吹扫作业，进而提高气体调压段中的清洁度，提高输出气体的纯度。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种气体输送系统，包括气体输送支路，气体输送支路包括依次连接的气体输入段、气体调压段和气体输出段，所述气体输入段上依次连接有气体输入端口和输入开关阀，所述气体调压段上依次连接有调压阀和第一压力表，所述气体输出段上依次连接有输出开关阀和气体输出端口，所述气体输入段和气体调压段之间连接有惰性气体输入支路，所述气体调压段与气体输出段之间连接有抽空支路，所述惰性气体输入支路上依次连接有惰性气体输入端口和吹扫进口阀；所述抽空支路上依次连接有抽空开关阀和抽空排气部。通过采用上述技术方案，实际使用中，在输入工艺气体之前，先利用惰性气体输入支路的惰性气体输入端口，向气体调压段内输入惰性气体，然后，利用抽空支路中的抽空排气部，将气体调压段内的惰性气体和残留气体进行置换抽空排出处理，另外，再次重复上述步骤，对气体调压段进行一次或多次吹扫作业，进一步提高气体调压段中的清洁度，在置换吹扫之后，关闭吹扫进口阀和抽空开关阀，打开输入开关阀，将工艺气体依次流入气体输入段、气体调压段和气体输出段并向与气体输出端口相连的仪器进行供气；即利用惰性气体输入支路和抽空支路对气体调压段进行置换和吹扫作业，进而提高气体调压段中的清洁度，提高从气体输送支路上流通工艺气体的纯度。本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述气体输入段位于输入开关阀的后端依次连接有第二压力表和调压前端阀。通过采用上述技术方案，在输送工艺气体时，打开输入开关阀，关闭调压前端阀，此时，通过观察第二压力表中的示数，直至第二压力表中的数值达到稳定状态，一方面，对气体输入段进行保压处理，之后预留一段时间，再次观察第一压力表中的示数，进而检测气体输入段处的气密性；另一方面，在进行吹扫置换时便可通入工艺气体，使其滞留在气体输入段，有助于缩短流通时间，提高输送效率。本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述气体输入段位于气体输入端口与输入开关阀之间并联有扩充预留阀。通过采用上述技术方案，利用扩充预留阀，可根据需要在气体输入端口与输入开关阀之间增加和扩充另一个输送系统，实现多气路输送，提高输送效率。本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述惰性气体输入支路位于吹扫进口阀的后端依次连接有第三压力表和吹扫开关阀。通过采用上述技术方案，实际通入惰性气体时，打开吹扫进口阀关闭吹扫开关阀，使得惰性气体流经第二压力表然后被吹扫开关阀截住，有助于提高惰性气体输入支路中气流达到稳压状态，另外，使得惰性气体输入支路处于保压状态，通过对第二压力表的观察，可检查惰性气体输入支路的气密性。本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述惰性气体输入支路位于吹扫进口阀和第三压力表之间连接有单向阀。通过采用上述技术方案，利用单向阀，以防止流经第二压力表的惰性气体反向流过吹扫开关阀，以保证惰性气体的流向。本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述抽空排气部设置为真空发生器。通过采用上述技术方案，将抽空排气部设置为真空发生器，对气体调压段中的气体具有抽真空和排放的作用。本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述气体输入段位于第三压力表的后端并联有多个第一输入支路，任一所述第一输入支路的另一端均连接有所述气体调压段，且任一所述第一输入支路上均连接有所述调压前端阀，所述惰性气体输入支路位于第三压力表的后端对应第一输入支路并联有多个第二输入支路，任一所述第二输入支路的另一端与气体调压段相连接，且任一所述第二输入支路上均连接有所述吹扫开关阀，任一所述气体输送支路的气体调压段与气体输出段之间均连接有所述抽空支路，且相邻所述抽空支路位于抽空开关阀的后端呈并联设置。通过采用上述技术方案，实际使用中，打开吹扫进口阀，关闭吹扫开关阀，惰性气体便会流入惰性气体输入支路中，通过第三压力表确认惰性气体的压力，确认压力稳定后，打开每条第二输入支路上的吹扫开关阀，再调节气体调压段上的调压阀，并通过第一压力表观察，使得气体调压段内压力小于惰性气体输入支路内的压力，压力确定后，关闭每条第二输入支路上的吹扫开关阀；打开每条抽空支路上的抽空开关阀，利用一个真空发生器，对每条抽空支路进行抽空排气作业；之后，观察第一压力表在气体调压段中的真空度，当真空度达到后，关闭每条抽空支路上的抽空开关阀，再次打开每条第二输入支路上的吹扫开关阀，继续向气体调压段通入惰性气体，当惰性气体充满后，关闭吹扫开关阀，再次打开抽空开关阀进行抽空排气作业；吹扫保压置换结束后，打开输入开关阀和每条第一输入支路上的调压前端阀，气体至气体输送支路均匀地分流至每一条第一输入支路中，并流通对应的气体调压段和气体输出段，实现多支路分流控制，独立实现调压、保压、置换、吹扫和抽真空功能。本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述惰性气体输入端口设置为氮气输入端口。通过采用上述技术方案，将惰性气体输入端口设置为氮气输入端口，利用氮气进行置换，将容器及管道内的氧气置换到低于爆炸极限，防止输入的工艺气体与管路中的残留气体或空气混合而发生爆炸。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：利用惰性气体输入支路和抽空支路对气体调压段进行置换和吹扫作业，进而提高气体调压段中的清洁度，提高输出气体的纯度；通过第一压力表和调压前端阀、第二压力表和吹扫开关阀，实现对其气体输入段和惰性气体输入支路进行保压和检测气密性的作用；综合利用气体输送支路、第一输入支路、第二输入支路和抽空支路，实现一端入气多端供气的作用，且每条分流支路均可独立完成调压、保压、置换、吹扫和抽真空功能。附图说明图1为本实施例主要体现气体输送系统整体的气路布局示意图；图2为本实施例主要体现气体输送系统结构进行单线输送吹扫置换抽空时的气路布局示意图。附图标记：1、气体输送支路；11、气体输入段；111、气体输入端口；112、输入开关阀；113、第二压力表；114、第一输入支路；115、调压前端阀；12、气体调压段；121、调压阀；122、第一压力表；13、气体输出段；131、输出开关阀；132、气体输出端口；2、惰性气体输入支路；21、惰性气体输入端口；22、吹扫进口阀；23、单本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体输送系统，其特征在于，包括气体输送支路（1），气体输送支路（1）包括依次连接的气体输入段（11）、气体调压段（12）和气体输出段（13），所述气体输入段（11）上依次连接有气体输入端口（111）和输入开关阀（112），所述气体调压段（12）上依次连接有调压阀（121）和第一压力表（122），所述气体输出段（13）上依次连接有输出开关阀（131）和气体输出端口（132），所述气体输入段（11）和气体调压段（12）之间连接有惰性气体输入支路（2），所述气体调压段（12）与气体输出段（13）之间连接有抽空支路（3），所述惰性气体输入支路（2）上依次连接有惰性气体输入端口（21）和吹扫进口阀（22）；所述抽空支路（3）上依次连接有抽空开关阀（31）和抽空排气部。/n

【技术特征摘要】
1.一种气体输送系统，其特征在于，包括气体输送支路（1），气体输送支路（1）包括依次连接的气体输入段（11）、气体调压段（12）和气体输出段（13），所述气体输入段（11）上依次连接有气体输入端口（111）和输入开关阀（112），所述气体调压段（12）上依次连接有调压阀（121）和第一压力表（122），所述气体输出段（13）上依次连接有输出开关阀（131）和气体输出端口（132），所述气体输入段（11）和气体调压段（12）之间连接有惰性气体输入支路（2），所述气体调压段（12）与气体输出段（13）之间连接有抽空支路（3），所述惰性气体输入支路（2）上依次连接有惰性气体输入端口（21）和吹扫进口阀（22）；所述抽空支路（3）上依次连接有抽空开关阀（31）和抽空排气部。


2.根据权利要求1所述的一种气体输送系统，其特征在于，所述气体输入段（11）位于输入开关阀（112）的后端依次连接有第二压力表（113）和调压前端阀（115）。


3.根据权利要求2所述的一种气体输送系统，其特征在于，所述气体输入段（11）位于气体输入端口（111）与输入开关阀（112）之间并联有扩充预留阀（4）。


4.根据权利要求2所述的一种气体输送系统，其特征在于，所述惰性气体输入支路（2）位于吹扫进口阀（22）的后端...

【专利技术属性】
技术研发人员：任如，徐正军，
申请(专利权)人：上海栎智机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31