加热器和载物台制造技术

一种加热器具有：折叠的加热器线；第一绝缘体，其设置于加热器线；金属护套，其被设置成与第一绝缘体的至少一部分接触；第一绝缘部件，其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行；第二绝缘部件，其被配置为与所述第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行；第三绝缘部件，其被配置为与第一绝缘部件以及第二绝缘部件的至少一部分平行，且被设置为束缚第一绝缘部件以及第二绝缘部件；以及，圆筒部件，其被配置为与金属护套以及第三绝缘部件的至少一部分平行。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】加热器和载物台
本专利技术的实施方式涉及加热器以及具备加热器的载物台。
技术介绍
半导体器件几乎搭载于所有的电子设备，在电子设备的功能中起着重要的作用。半导体器件是利用硅等所具有的半导体特性的器件。半导体器件通过在基板上层叠半导体膜、绝缘膜及导电膜，并图案化这些膜而构成。这些膜利用蒸镀法、溅射法、化学气相沉积(CVD)法或基板的化学反应等而进行层叠，通过光刻工艺来图案化这些膜。光刻工艺包括：在用于图案化的膜上形成抗蚀剂膜；曝光抗蚀剂膜；通过显影形成抗蚀剂掩模；通过蚀刻来去除膜的一部分；以及去除抗蚀剂掩模。上述膜的特性很大程度上取决于形成膜的条件或图案化的条件。所述条件之一是基板的温度。在大多数情况下，通过调节用于设置基板的载置台(以下记为载物台)的温度来控制基板的温度。为了加热基板并将基板内的温度分布抑制得均匀，加热载物台的加热器之一种是护套加热器。例如，在专利文献1中公开了具备多个护套加热器的载物台，其中，在金属护套内配置有电热丝(加热器线)。(现有技术文献)(专利文献)专利文献1：日本特开2009-91660本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热器，具备：/n折叠的加热器线；/n第一绝缘体，其设置于所述加热器线；/n金属护套，其被设置成与所述第一绝缘体的至少一部分接触；/n第一绝缘部件，其被配置为与从所述金属护套的第一端部取出的所述加热器线的一方的至少一部分平行；/n第二绝缘部件，其被配置为与所述第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从所述金属护套的第一端部取出的所述加热器线的另一方的至少一部分平行；/n第三绝缘部件，其被配置为与所述第一绝缘部件以及所述第二绝缘部件的至少一部分平行，且被设置为束缚所述第一绝缘部件以及所述第二绝缘部件；以及/n圆筒部件，其被配置为与所述金属护套以及所述第三绝缘部件的至少一部分平行。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181017 JP 2018-1959431.一种加热器，具备：
折叠的加热器线；
第一绝缘体，其设置于所述加热器线；
金属护套，其被设置成与所述第一绝缘体的至少一部分接触；
第一绝缘部件，其被配置为与从所述金属护套的第一端部取出的所述加热器线的一方的至少一部分平行；
第二绝缘部件，其被配置为与所述第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从所述金属护套的第一端部取出的所述加热器线的另一方的至少一部分平行；
第三绝缘部件，其被配置为与所述第一绝缘部件以及所述第二绝缘部件的至少一部分平行，且被设置为束缚所述第一绝缘部件以及所述第二绝缘部件；以及
圆筒部件，其被配置为与所述金属护套以及所述第三绝缘部件的至少一部分平行。


2.根据权利要求1所述的加热器，其中，
所述圆筒部件具有规定厚度，且由圆筒状的一个部件构成。


3.根据权利要求1所述的加热器，其中，
所述圆筒部件的内径与所述金属护套的外径大致相同。


4.根据权利要求1所述的加热器，其中，
所述第一绝缘部件、所述第二绝缘部件以及所述第三绝缘部件相对于所述圆筒部件而向与设置了所述金属护套的方向相反的方向突出。


5.根据权利要求1所述的加热器，其中，
所述金属护套的一部分为圆筒状，
还具有绝缘管，所述绝缘管具有沿所述金属护套的圆筒轴方向配置在所述第一绝缘体和所述第三绝缘部件之间，并具有第一通孔和第二通孔。


6.根据权利要求4所述的加热器，其中，
所述加热器线的一方的端部以及所述加热器线的另一...

【专利技术属性】
技术研发人员：花待年彦，巽新，关谷健二，相川尚哉，高梨雅也，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP