载置台和检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够抑制载置被检查体的载置台因载荷而产生的移位的载置台和检查装置。提供如下载置台：该载置台载置具有电子器件的被检查体，以对该电子器件施加载荷的方式按压检查装置的探针卡的接触端子，其中，该载置台包括：第1冷却板，其形成有第1制冷剂流路；加热源，其搭载于所述第1冷却板，该加热源具有多个发光元件，用于加热所述被检查体；透过构件，其设于所述加热源之上，使所述加热源所输出的光透过；第2冷却板，其设于所述透过构件之上，保持所述被检查体，并形成有第2制冷剂流路；以及透明树脂层，其以覆盖所述加热源的方式填充在所述第1冷却板和所述透过构件之间。

【技术实现步骤摘要】
载置台和检查装置
本公开涉及载置台和检查装置。
技术介绍
专利文献1公开了具有以下构件的技术：加热源，其具有对处理室内的晶圆照射光的多个发光元件；光透过构件，其使发光元件的光透过；冷却构件，其与加热源直接接触；以及冷却机构，其用于对冷却构件进行冷却。专利文献1：日本特开2008-227435号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本公开提供能够抑制载置被检查体的载置台因载荷而产生的移位的技术。用于解决问题的方案根据本公开的一技术方案，提供如下载置台：该载置台载置具有电子器件的被检查体，以对该电子器件施加载荷的方式按压检查装置的探针卡的接触端子，其中，该载置台包括：第1冷却板，其形成有第1制冷剂流路；加热源，其搭载于所述第1冷却板，该加热源具有多个发光元件，用于加热所述被检查体；透过构件，其设于所述加热源之上，使所述加热源所输出的光透过；第2冷却板，其设于所述透过构件之上，保持所述被检查体，并形成有第2制冷剂流路；以及透明树脂层，其以覆盖所述加热源的方式填充在所述第1冷却板和所述透过构件之间。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载置台，其载置具有电子器件的被检查体，以对该电子器件施加载荷的方式按压检查装置的探针卡的接触端子，其中，/n该载置台包括：/n第1冷却板，其形成有第1制冷剂流路；/n加热源，其搭载于所述第1冷却板，该加热源具有多个发光元件，用于加热所述被检查体；/n透过构件，其设于所述加热源之上，使所述加热源所输出的光透过；/n第2冷却板，其设于所述透过构件之上，保持所述被检查体，并形成有第2制冷剂流路；以及/n透明树脂层，其以覆盖所述加热源的方式填充在所述第1冷却板和所述透过构件之间。/n

【技术特征摘要】
20191125 JP 2019-2126541.一种载置台，其载置具有电子器件的被检查体，以对该电子器件施加载荷的方式按压检查装置的探针卡的接触端子，其中，
该载置台包括：
第1冷却板，其形成有第1制冷剂流路；
加热源，其搭载于所述第1冷却板，该加热源具有多个发光元件，用于加热所述被检查体；
透过构件，其设于所述加热源之上，使所述加热源所输出的光透过；
第2冷却板，其设于所述透过构件之上，保持所述被检查体，并形成有第2制冷剂流路；以及
透明树脂层，其以覆盖所述加热源的方式填充在所述第1冷却板和所述透过构件之间。


2.根据权利要求1所述的载置台，其中，
该载置台还包括反射部，该反射部设于所述透过构件的侧部，用于向所述透过构件的内部反射所述加热源所输出的光。


3.一种载置台，其载置具有电子器件的被检查体，以对该电子器件施加载荷的方式按压检查装置的探针卡的接触端子，其中，
该载置台包括：
第1冷却板，其形成有第1制冷剂流路；
加热源，其搭载于所述第1冷却板，该加热源具有多个发光元件，用于加热所述被检查体；
第2冷却板，其设于所述第1冷却板之上，保持所述被检查体，并形成有第2制冷剂流路；以及
透明树脂层，其以覆盖所述加热源的方式填充在所述第1冷却板和所述第2冷却板之间，使所述加热源所输出的光透过。


4.根据权利要求3所述的载置台，其中，
该载置台还包括反射部，该反射部设于所述透明树脂层的侧部，用于向所述透明树脂层的内部反射所述加热源所输出的光。


5.根据权利要求4所述的载置台，其中，
所述反射部延伸至所...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林大，中山博之，秋山直树，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP