痕量元素的测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了痕量元素的测量装置及方法，所述痕量元素的测量装置包括分析仪器；切换模块用于使第一多通阀的端口选择性连通待测液、标液和清洗液；第一储液部件的两端连通第一多通阀的端口；第二储液部件的两端连通第二多通阀的端口；第三储液部件的两端连通第三多通阀的端口；通过第二多通阀的切换，第二泵经过和不经过第三储液部件地连通所述分析仪器；多个泵，第一泵连通所述第一多通阀的端口，第二泵连通所述第三多通阀的端口，第三泵连通所述第二多通阀；第四泵和第五泵用于提供液体并连通所述第二多通阀的端口。本发明专利技术具有检测准确等优点。

【技术实现步骤摘要】
痕量元素的测量装置及方法
本专利技术涉及元素检测，特别涉及痕量元素的测量装置及方法。
技术介绍
半导体器件制造需要严格控制污染源，业内人士估计，污染造成了约50％的产量损失。碱金属与碱土金属(Li,Na,K,Ca,Mg,Ba等)污染可造成元器件漏电，造成低击穿；过渡金属与重金属(Fe,Cr,Ni,Cu,Au,Mn,Pb等)污染可使元器件寿命缩短或元件工作时暗电流增大；渗透元素(S,P,Si,As,Sb,B,Al等)污染有扩散作用，影响电子和空穴的数量。而制程中化学品种类较多，无机类的有盐酸、双氧水、硫酸、氢氟酸等强酸及清洗液SC-1和SC-2混合溶液，有机类的有甲醇、异丙醇等。每种化学品的基体不一致，所需检测元素浓度在ng/L级别，虽然当前检测手段为精密仪器电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)，但是前处理如样品稀释、标液的配制过程均有可能引入污染。当前做法为使用外标法，外标法为按梯度添加一定量的标准品于空白溶剂中制成标准样品，与未知试样平行地进行样品处理并检测，这种做法适用于标准样品与样品基体基本相同的情况，但当基体复杂时很难获得准确本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.痕量元素的测量装置，所述痕量元素的测量装置包括分析仪器；其特征在于，所述痕量元素的测量装置还包括：/n切换模块，所述切换模块用于使第一多通阀的端口选择性连通待测液和标液；/n第一多通阀和第一储液部件，所述第一储液部件的两端连通所述第一多通阀的端口；通过第一多通阀的切换，使得第二多通阀经过和不经过第一储液部件地连通切换模块，以及使第一泵经过和不经过第一储液部件地连通所述分析仪器；/n第二多通阀和第二储液部件，所述第二储液部件的两端连通所述第二多通阀的端口；通过第二多通阀的切换，使得第一多通阀经过和不经过第二储液部件地连通第三泵，以及使第三多通阀经过第二储液部件地连通第四泵，使第三多通阀不经过...

【技术特征摘要】
1.痕量元素的测量装置，所述痕量元素的测量装置包括分析仪器；其特征在于，所述痕量元素的测量装置还包括：
切换模块，所述切换模块用于使第一多通阀的端口选择性连通待测液和标液；
第一多通阀和第一储液部件，所述第一储液部件的两端连通所述第一多通阀的端口；通过第一多通阀的切换，使得第二多通阀经过和不经过第一储液部件地连通切换模块，以及使第一泵经过和不经过第一储液部件地连通所述分析仪器；
第二多通阀和第二储液部件，所述第二储液部件的两端连通所述第二多通阀的端口；通过第二多通阀的切换，使得第一多通阀经过和不经过第二储液部件地连通第三泵，以及使第三多通阀经过第二储液部件地连通第四泵，使第三多通阀不经过第二储液部件地连通第五泵；
第三多通阀和第三储液部件，所述第三储液部件的两端连通所述第三多通阀的端口；通过第二多通阀的切换，第二泵经过和不经过第三储液部件地连通所述分析仪器；
多个泵，第一泵连通所述第一多通阀的端口，第二泵连通所述第三多通阀的端口，第三泵连通所述第二多通阀；第四泵和第五泵用于提供液体并连通所述第二多通阀的端口。


2.根据权利要求1所述的痕量元素的测量装置，其特征在于，当第三多通阀依次经过第二多通阀的公共端口和第二储液部件地连通第四泵的同时，第三多通阀经过所述公共端口但不经过第二储液部件地连通第五泵。


3.根据权利要求1所述的痕量元素的测量装置，其特征在于，所述切换模块包括：
第一切换部件，所述第一切换部件用于使所述第一多通阀的端口选择性地连通第二切换部件和第三切换部件；
第二切换部件，所述第二切换部件用于使所述第一切换部件选择性地连通各种标液、清洗液和空气；
第三切换部件，所述第三切换部件用于使所述第一切换部件选择性地来通各种待测样品。


4.根据权利要求1所述的痕量元素的测量装置，其特征在于，所述多个泵采用注射泵。


5.根据权利要求1所述的痕量元素的测量装置，其特征在于，所述第三泵和其连通的第二多通阀的端口间设置液体传感器。


6.应用权利要求1-5任...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢水淼，夏晓峰，许志贤，韩乃旭，胡建坤，俞晓峰，李鹰，
申请(专利权)人：杭州谱育科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33