【技术实现步骤摘要】
二维平面位移微型控制平台
本专利技术属于精密加工
，涉及一种二维平面位移微型控制平台。
技术介绍
传统的机械传动式微位移装置，主要有如下几种：1)采用电机为驱动元件，以丝杠作为连接件，以滑动导轨作为支承平台。电机和丝杠的精度直接影响其传动精度性能，导轨的精度直接影响其直线度与承载能力。2)利用压电陶瓷作为致动元件的微位移装置，其柔性饺链结构形式的限制，这种微位移装置工作范围有限，通常在几微米到几十微米范围内，并且切向无承载能力，应用环境比较严格。3)直线电机弥补了前两种微位移装置的不足，同时具有高的精度和大的行程。但是直线电机也存在着不足之处，主要体现在以下两个方面：第一、与同容量旋转电机相比，直线电机(主要是感应式直线电机)的效率和功率因数较小，尤其在低速时比较明显。这一方面是因为直线电机的初次级气隙一般都比旋转电机大，因此所需的磁化电流就较大，损耗增加；另一方面，由于直线电机初级铁心两端开断，产生了所谓的端部效应，从而引起波形畸变等问题，其结果也导致损耗增加。但从整个装置或系统来看，采用直线...
【技术保护点】
1.一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：/n包括支撑框架(1)、载物台(2)、滚动支撑机构、x方向驱动机构和y方向驱动机构；/n所述载物台(2)位于支撑框架(1)上，滚动支撑机构支撑载物台(2)，x方向驱动机构带动载物台(2)在x方向平移，y方向驱动机构带动载物台(2)在y方向平移；/n所述载物台(2)上设有弹性平衡机构，所述弹性平衡机构保证载物台(2)处于水平面，以及保证载物台(2)能够跟随x方向和y方向驱动机构中的丝杆螺母往复运动。/n
【技术特征摘要】
1.一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
包括支撑框架(1)、载物台(2)、滚动支撑机构、x方向驱动机构和y方向驱动机构；
所述载物台(2)位于支撑框架(1)上，滚动支撑机构支撑载物台(2)，x方向驱动机构带动载物台(2)在x方向平移，y方向驱动机构带动载物台(2)在y方向平移；
所述载物台(2)上设有弹性平衡机构，所述弹性平衡机构保证载物台(2)处于水平面，以及保证载物台(2)能够跟随x方向和y方向驱动机构中的丝杆螺母往复运动。
2.根据权利要求1所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述x方向驱动机构包括第一传动机构和第一动力机构(5)；所述第一动力机构(5)驱动第一传动机构带动载物台(2)沿x方向移动；
所述y方向驱动机构包括第二传动机构和第二动力机构(8)；所述第二动力机构(8)驱动第二传动机构带动载物台(2)沿y方向移动。
3.根据权利要求2所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述第一传动机构包括第一丝杆(3)、第一丝杆螺母(4)；所述第一动力机构(5)驱动第一丝杆(3)转动，第一丝杆螺母(4)与第一丝杆(3)配合后，带动载物台(2)沿x方向移动；
所述第二传动机构包括第二丝杆(6)、第二丝杆螺母(7)；所述第二动力机构(8)驱动第二丝杆(6)转动，第二丝杆螺母(7)与第二丝杆(6)配合后，带动载物台(2)沿y方向移动；
所述载物台(2)在x方向和y方向分别开设有第一条形孔(9)和第二条形孔(10)，第一条形孔(9)和第二条形孔(10)处于不同平面；第一条形孔(9)上设有沿y方向的第一滑槽(11)，第二条形孔(10)上设有沿x方向的第二滑槽(12)；
所述第一丝杆(3)穿过第一条形孔(9)，第一丝杆螺母(4)可沿第一滑槽(11)在y方向移动；所述第二丝杆(6)穿过第二条形孔(10)，第二丝杆螺母(7)可沿第二滑槽(12)在x方向移动。
4.根据权利要求3所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述第一丝杆螺母(4)通过第一滑块沿第一滑槽(11)在y方向移动，第二丝杆螺母(7)通过第二滑块沿第二滑槽(12)在x方向移动。
5.根据权利要求4所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述第一滑槽(11)、第二滑槽(12)为燕尾槽或T型槽结构。
6.根据权利要求3所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述第一丝杆(3)和第二丝杆(6)的末端通过轴承安装在支撑框架(1)上。
7.根据权利要求1-6任一所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜学敏，刘聪，王芳，刘美金，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44
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