具有保护设备数据功能的处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种具有保护设备数据功能的处理装置，其包括处理单元、储存单元、控制单元、以及认证单元。该储存单元是用以储存该处理单元的生产设备所需数据。该控制单元接收一第一数据要求，其中该第一数据要求是要求该生产设备所需数据，其并包含一识别数据。该认证单元确认该识别数据，当该识别数据被确认，使得该控制单元从该储存单元撷取对应的生产设备所需数据。本发明专利技术所述具有保护设备数据功能的处理装置，可以有效地保护生产设备所需的数据。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于数据保护，特别是有关于具有保护设备数据功能的处理装置和方法。
技术介绍
一至多个晶圆通常被合并成一个“批次”，用以通过一连串制造机台的制程，最后制作成为集成电路。每一制造机台通常会在一个指定批次的晶圆上，执行单一一道晶圆制造作业。例如，一个特定的制造机台可执行薄膜(layering)、图案化(patterning)、掺杂(doping)作业或热处理(thermal treatment)。薄膜作业通常为添加一个金属层至晶圆表面上。图案化作业通常去掉一或多个薄膜作业所形成特定部分的薄膜。掺杂作业通常直接将杂质经由晶圆表面掺入到硅中，用以产生p-n接面。加热作业通常将晶圆加热以达到特定目标水准。每一制造机台通常会根据已定义的生产设备所需数据(例如，已先行决定的一系列步骤或制程配方)执行晶圆制造作业。而这些用来设定处理装置运作的数据，在不同的装置制造厂商的处理装置有不同的设定。生产设备所需数据的设计相当复杂，其并经过制程工程师进行装置调整以达到预期的运作结果，使得各个处理装置所使用的生产设备所需数据可能大不相同。当进行不同的半导体产品/液晶显示装置的制造时，所需要的操作指示也可能不同，其包括不同的制程配方、执行步骤的设定、或不同制程步骤的组合、其亦可能具有不同的装置参数设定以及检测数据等。这些制程和检测数据对于制程步骤的执行至关重要，而且，为了使得处理装置的设定达到最佳化，往往需要耗费相当多的人力和时间来进行各种试验和摸索。因此，经过适当调整后的生产设备所需数据，是晶圆或液晶屏幕等精密产品的制造厂里相当珍贵的资产之一。然而，这些珍贵的资产，却缺乏适当的保护，而可能被窃取使用。以图1为例，其显示传统的半导体制造系统的示意图。在此是以半导体制造厂为例，其他如液晶显示装置等精密产品的制造厂也会发生类似的问题。制造系统10包括一机台11和一主机系统15。机台11包含一储存单元113、一处理单元111、以及一控制单元115。储存单元113是用以储存处理单元111的生产设备所需数据。处理单元111是依据该生产设备所需数据运作，以处理至少一晶圆(或者集成电路(IC)晶片、及液晶显示板等产品)。在此所谓的“处理”是泛指执行制造步骤及/或检测步骤等制造中涉及的程序。控制单元115提供机台11和主机系统15其他外部系统19之间沟通的界面。任何使用者都可以通过控制单元115提供的界面要求机台11中储存的生产设备所需数据，使得该生产设备所需数据在未经保护的情况下被撷取及传送出去。一般而言，生产设备所需数据是以其原始状态(没有加密等保护)传送至主机系统15。只要可以接取到机台11，任何人都可以取得该生产设备所需数据的电子文件，并可以通过任何具有存储器的装置，将该生产设备所需数据散播给其他使用者。同样的，任何可以接取主机系统15的使用者，可以撷取/复制该生产设备所需数据，并将之散播给其他使用者。
技术实现思路
本专利技术是有关于数据保护，特别是有关于具有用以保护生产设备所需数据的处理装置和方法。本专利技术提供一种具有保护设备数据功能的处理装置，其包括处理单元、储存单元、控制单元、以及认证单元。该储存单元是用以储存该处理单元的生产设备所需数据。该控制单元接收一第一数据要求，其中该第一数据要求是要求该生产设备所需数据，其并包含一识别数据。该认证单元确认该识别数据，当该识别数据被确认，使得该控制单元从该储存单元撷取对应的生产设备所需数据。本专利技术所述的具有保护设备数据功能的处理装置，该处理单元用以处理下列中之一晶圆、集成电路晶片、及液晶显示板。本专利技术所述的具有保护设备数据功能的处理装置，该生产设备所需数据包含下列中至少一制程配方数据、装置参数设定数据、制程程序、以及制程记录数据。本专利技术所述的具有保护设备数据功能的处理装置，该储存单元以加密型态储存该生产设备所需数据。本专利技术所述的具有保护设备数据功能的处理装置，该控制单元进一步将该加密的生产设备所需数据传送至一外部系统。本专利技术所述的具有保护设备数据功能的处理装置，该外部系统包含一外部储存装置或一制造环境中的现场生产管制系统。本专利技术所述的具有保护设备数据功能的处理装置，进一步包含一加密单元，其是用以将该生产设备所需数据加密处理。本专利技术所述的具有保护设备数据功能的处理装置，该控制单元进一步将该加密的生产设备所需数据传送至一外部系统。本专利技术所述的具有保护设备数据功能的处理装置，该外部系统包含一外部储存装置或一制造环境中的现场生产管制系统。本专利技术所述的具有保护设备数据功能的处理装置，该认证单元进一步接收并确认一第二数据要求，其中该第二数据要求是包含该生产设备所需数据的一解密金钥数据的要求。本专利技术所述的具有保护设备数据功能的处理装置，该认证单元进一步记录该第一数据要求及该第二数据要求。本专利技术所述的具有保护设备数据功能的处理装置，该认证单元进一步当该第一数据要求或第二数据要求无法得到确认时，产生一警报信号。本专利技术所述的具有保护设备数据功能的处理装置，进一步包含一解密单元，其是用以将该加密的生产设备所需数据解密。本专利技术并提供一种制造系统，其包括处理装置以及认证单元。其中该处理装置包含处理单元、储存单元、及控制单元。该储存单元是用以储存该处理单元的生产设备所需数据。该控制单元接收一第一数据要求，其中该第一数据要求是要求该生产设备所需数据，其并包含一识别数据。该认证单元确认该识别数据，当该识别数据被确认，使得该控制单元从该储存单元撷取对应的生产设备所需数据。本专利技术并提供一种具有保护设备数据功能的处理装置，其包括处理单元、储存单元、控制单元、及加密单元。该储存单元是用以储存该处理单元的生产设备所需数据。该控制单元接收一第一数据要求，其中该第一数据要求是要求该生产设备所需数据，其并包含一识别数据。该加密单元是用以将该生产设备所需数据加密处理。本专利技术并提供一种制造系统，其包括处理装置及加密单元。该处理装置包含处理单元、储存单元、及控制单元。其中该储存单元是用以储存该处理单元的生产设备所需数据。该控制单元，其接收一第一数据要求，其中该第一数据要求是要求该生产设备所需数据。该加密单元是用以将该生产设备所需数据加密处理。本专利技术并提供一种电子装置，其是依据具有生产设备所需数据保护的一第一处理装置的制程数据处理而成，其中该第一处理装置包含处理单元、储存单元、控制单元、及认证单元。该储存单元是用以储存该处理单元的生产设备所需数据。该控制单元接收一第一数据要求，其中该第一数据要求是包含传送该生产设备所需数据的要求及一识别数据。该认证单元，其确认该识别数据，当该识别数据被确认，使得该控制单元从该储存单元撷取对应的生产设备所需数据。本专利技术并提供一种电子装置，其是依据一第一处理装置的制程数据处理而成，其中该第一处理装置包含处理单元、储存单元、控制单元、及加密单元。该储存单元，其是用以储存该处理单元的生产设备所需数据。该控制单元，其接收一第一数据要求，其中该第一数据要求是包含传送该生产设备所需数据的要求。该加密单元，其是用以将该生产设备所需数据加密处理。本专利技术并提供一种用以管理生产设备所需数据散播的方法。该方法首先提供一处理装置，其具有一储存单元以储存该处理装置的生产设备所需数据。继之，接收一第一数据要求，其中该第一数据要本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有保护设备数据功能的处理装置，所述具有保护设备数据功能的处理装置包括：处理单元；储存单元，其是用以储存该处理单元的生产设备所需数据；控制单元，其接收一第一数据要求，其中该第一数据要求是包含撷取该生产设备所需数据 的要求以及一识别数据；以及认证单元，其确认该识别数据，当该识别数据被确认，使得该控制单元从该储存单元撷取对应的生产设备所需数据。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄建中，黄怡霖，郭文章，林炳宏，李月青，杨惠雯，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]